蓝宝石炉石墨加热装置的制作方法

文档序号:12521350阅读:632来源:国知局

本实用新型涉及导模法蓝宝石单晶生产领域,特别是一种蓝宝石炉石墨加热装置。



背景技术:

蓝宝石是一种简单配位型氧化物晶体。具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性,被广泛的应用于民用航天、半导体衬底、红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料等,同时晶体生长设备-单晶生长炉也随之得到了飞速的发展。

蓝宝石单晶生长炉行业,国内导模法都是采用线圈感应线圈为加热源,由于线圈形状的稳定性,长期生产的变形等因素,对温度场的稳定性带来变化,不利于工艺稳定性。我公司的导模法蓝宝石炉为多片式,对温度场的稳定性尤其要求更高。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种蓝宝石炉石墨加热装置,对温度场的稳定性能提供更好的保证。

为解决上述技术问题,本实用新型包括:石墨电阻加热器和一对正、负石墨电极,其中:石墨电阻加热器形状为圆筒形,圆筒形展开后的模拟中心线为矩形波形状,矩形波形状的波峰和波谷为加厚结构,正、负石墨电极对称设置于石墨电阻加热器的两端。

所述的正、负石墨电极通过螺纹与石墨电阻加热器连接。

本实用新型高温下形状稳定性好,长期使用也能很好保证稳定形状,本实用新型对多片式导模法蓝宝石炉,能提供更稳定的加热源,对温度场的稳定性能提供更好的保证。

附图说明

图1为本实用新型的结构图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

如图1所示,本实施例包括:石墨电阻加热器1和一对正、负石墨电极2,其中:石墨电阻加热器1形状为圆筒形,圆筒形展开后的模拟中心线为矩形波形状,矩形波形状的波峰和波谷为加厚结构,正、负石墨电极2对称设置于石墨电阻加热器1的两端。

所述的正、负石墨电极2通过螺纹与石墨电阻加热器1连接。

以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明,但本实用新型创造并不限于所述的实施例,熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型创造精神的前提下还可以作出种种的等同的变型或替换,这些等同变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

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