一种多晶硅还原炉用石英陶瓷隔热罩的制作方法

文档序号:14979475发布日期:2018-07-20 19:50阅读:510来源:国知局

本实用新型涉及一种隔热罩,具体涉及一种多晶硅还原炉用石英陶瓷隔热罩。



背景技术:

近年来,随着传统化石能源的短缺和环境保护之间矛盾的日益突出,太阳能得到了广泛的发展和利用,多晶硅原料制备技术也得到了长足的发展进步。目前,多晶硅生产的工艺技术主要有改良西门子法、硅烷法、流化床法和冶金法(物理法)等,其中改良西门子法作为最成熟的工艺,产量占75%以上。多晶硅还原炉是改良西门子法的关键设备,主要发生氢气还原三氯氢硅沉积生成太阳能级硅的化学反应。还原炉启动方式为硅芯击穿启动,主要采用高压启动工艺,硅芯电极主要包括电极体、加热石墨头硅芯、电极座,其中电极座与电极体之间采用隔热罩进行绝缘,否则造成电击穿,导致生产事故。

因此,有人使用用石英陶瓷隔热罩代替现有的熔融石英玻璃,但是由于石英陶瓷比较脆,在使用时,很容易出现因为碰撞而损坏的问题,由于是一体式的结构,因此防震能力较差,且由于使用环境的温度较高,虽然耐高温能力强,但是不易拿捏,外壁的温度值较高,散热性能较差,无法长时间作业。



技术实现要素:

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种多晶硅还原炉用石英陶瓷隔热罩,采用内外两层的结构,有效解决现有技术中的不足。

本实用新型是通过以下技术方案来实现的:一种多晶硅还原炉用石英陶瓷隔热罩,包括采用石英陶瓷材料制成的隔热罩,隔热罩的外部设置有一个外被层,隔热罩的上端设置有一连接耳,外被层呈圆柱形,其上下端均开口,中间具有一个容纳腔,隔热罩装入于容纳腔中,所述容纳腔内壁以及隔热罩外壁均设置有一组以上的密封槽,每组密封槽内均装入一密封支撑环,密封支撑环两侧分别扣入于两侧的环形凹槽中。

作为优选的技术方案,所述密封槽以及密封支撑环设置有两组,两组密封支撑环呈上下端分布设置。

作为优选的技术方案,两组密封支撑环之间形成一个冷却腔,所述冷却腔内填充冷却液。

作为优选的技术方案,所述密封支撑环采用硅胶材料制成。所述外被层采用隔热材料制成,所述隔热罩的中间具有一个隔热腔,隔热腔的底面设置一个通孔。

本实用新型的有益效果是:本实用新型的隔热罩包括内外两部分组成,其在使用时具有非常好的防摔能力以及隔热能力,中间的冷却腔能够实现对内侧隔热罩的快速降温,增加整体使用寿命,可长时间重复作业。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的整体结构示意图。

具体实施方式

本说明书中公开的所有特征,或公开的所有方法或过程中的步骤,除了互相排斥的特征和/或步骤以外,均可以以任何方式组合。

本说明书(包括任何附加权利要求、摘要和附图)中公开的任一特征,除非特别叙述,均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即,除非特别叙述,每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。

如图1所示,包括采用石英陶瓷材料制成的隔热罩7,隔热罩的外部设置有一个外被层4,隔热罩7的上端设置有一连接耳5,外被层4呈圆柱形,其上下端均开口,中间具有一个容纳腔,隔热罩7装入于容纳腔中,容纳腔内壁以及隔热罩外壁均设置有一组以上的密封槽,每组密封槽内均装入一密封支撑环2,密封支撑环2两侧分别扣入于两侧的环形凹槽中。

其中,密封槽以及密封支撑环2设置有两组,两组密封支撑环呈上下端分布设置。两组密封支撑环之间形成一个冷却腔3,冷却腔3内填充冷却液。密封支撑环2采用硅胶材料制成。外被层4采用隔热材料制成,隔热罩7的中间具有一个隔热腔6,隔热腔6的底面设置一个通孔1。

由于外部设置了外被层,因此外部具有了缓冲的能力,不会再出现因为碰撞而损坏一体式的隔热罩,减少损失,且由于设置了外被层,因此方便拿捏,隔热效果好,中间形成了一个冷却腔,实现对隔热罩的快速吸热,因此可重复移动使用,增加了整个隔热罩的使用寿命。

本实用新型的有益效果是:本实用新型的隔热罩包括内外两部分组成,其在使用时具有非常好的防摔能力以及隔热能力,中间的冷却腔能够实现对内侧隔热罩的快速降温,增加整体使用寿命,可长时间循环作业。

以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何不经过创造性劳动想到的变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。

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