一种快速有选择性的降低SiC晶体中微管和位错密度的方法与流程

文档序号:15182618发布日期:2018-08-17 06:13阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种快速有选择性的降低SiC晶体中微管和位错密度的方法,本发明利用微管密度<1cm‑2、位错密度小等于于5000cm‑2的SiC区域覆盖微管和位错密度较高区域,从而阻断位错和微管的延伸,有效的减小了位错和微管的遗传,可以获得特定微管和位错密度的SiC体块单晶,具有高度选择性,仅通过一次生长即可获得低微管和位错的体块单晶,大大缩短优化时间。

技术研发人员:彭燕;陈秀芳;杨祥龙;徐现刚;胡小波;张用;张磊
受保护的技术使用者:山东大学;国网山东省电力公司电力科学研究院
技术研发日:2018.06.11
技术公布日:2018.08.17
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