本发明涉及光刻机带有镀膜标记面光学玻璃加工技术领域,特别是一种用于容易划伤的镀膜面光学玻璃加工的粘接方法。
背景技术:
目前欧美国家对中国芯片进行恫吓,而加工芯片需要高精度的光刻机设备,本专利涉及到的光学玻璃加工,大量应用在光刻机的核心部件上,尤其是带镀膜面的标记板常用其定位,信号增大的的功能上,如果镀膜面标记区域出现污染和划伤等表面质量问题,会导致零件性能衰减或导致昂贵的零件报废。目前加工的产品精度要求越来越高,对表面的质量也要求越高,而现在行业内加工这些产品的门槛要求比较高,加工难度比较大,报废率偏高,且多数处于让步接收的尴尬局面,这样很不利于芯片行业的健康发展。
技术实现要素:
本发明的目的在于克服上述现有技术中的不足,提出一种用于镀膜标记面光学玻璃加工的粘接方法,解决镀膜标记面光学玻璃与垫块玻璃胶合时容易污染和划伤表面,两玻璃中间存在气泡,加工通的孔和外形时底部容易出现崩边等问题。
本发明的技术解决方案如下:一种用于光学镀膜标记板玻璃加工的粘接方法,具体步骤如下:
步骤一、选择垫块玻璃并擦拭干净,所述垫块玻璃的边长大于待加工光学玻璃,且垫块玻璃需粘接面的平面度优于0.01mm;
步骤二、确认待加工光学玻璃无损伤;
步骤三、将光学级保护胶倒在干净的容器内;
步骤四、选取羊毛刷,使用清洁的羊毛刷,蘸着保护胶均匀涂在待加工光学玻璃需粘接的表面上;保证被涂的表面没有气泡,凸起。
步骤五、等待加工光学玻璃上的保护胶自然风干后,放在恒温加热炉上,与垫块玻璃一起缓慢加热至75-85度;
步骤六、用纯净的黄蜡涂满垫块玻璃的粘接面和有保护胶的待加工光学玻璃面;
步骤七、将待加工光学玻璃和垫块玻璃胶合,排除两者之间的气泡;以防加工中出现的崩边。
步骤八、调整好两块玻璃的位置,缓慢降温至室温。
进一步的,步骤二中所述确认待加工光学玻璃无损伤;具体步骤如下:在超净工作台,带上洁净手套和口罩,过程中放在100w的灯光下观看表面灰尘,如果有灰尘,用保持0.4-0.6mpa压力的去离子水冲刷,后用丙酮冲刷待加工光学玻璃的光学面的表面。有利于工件表面快速挥发。
进一步的,步骤二中,若光学镀膜标记板玻璃上镀的膜是铝膜,则不要擦拭。否则表面会出现划伤。
进一步的,步骤四中所述羊毛刷长度大于待加工光学玻璃边长。这样刷时比较均匀。而且要挑选质量好,不容易掉毛的羊毛刷、选择羊毛是因为羊毛比较柔软,细腻。
进一步的,步骤五中所述自然风干时间为25-35分钟。
进一步的,所述恒温加热炉为台式双联封闭式控温电炉。
本发明的有益效果是:提供一种用于镀膜标记面光学玻璃加工的粘接方法,包括选择合适的垫块玻璃并擦拭;确认待加工镀膜标记面光学玻璃无损伤;光学保护胶和粘接用的黄蜡保持干净;选用的毛刷要用不容易掉毛的羊毛,其长度大于待加工的玻璃,本发明后能有效的控制零件加工后表面质量,控制零件镀膜面不被污染和划伤,杜绝外形加工和打孔底部崩边现象。
具体实施方式
一种用于光学镀膜标记板玻璃加工的粘接方法,该方法包括如下步骤:
1、选择合适的垫块玻璃并擦拭,该垫块玻璃的边长大于待加工光学玻璃,且垫块玻璃需粘接面的平面度优于0.01mm。
2、确认待加工光学玻璃无损伤:在超净工作台,带上洁净手套和口罩,过程中放在100w的灯光下仔细观看表面灰尘,如果有,用保持0.4-0.6mpa压力去离子水冲刷,后用丙酮冲刷待加工光学玻璃的光学面的表面,有利于工件表面快速挥发;切记,如果是是铝膜,请勿擦拭,否则表面会出现划伤。
3、把光学级保护胶倒在干净的容器内。
4、挑选质量好,不容易掉毛的羊毛刷、选择羊毛是因为羊毛比较柔软,细腻。刷子的长度最好大于待加工的玻璃,这样刷时比较均匀。
5、使用清洁的毛刷,蘸着保护胶均匀涂在待加工光学玻璃需粘接的表面上。保证被涂的表面没有气泡,凸起。
6、等待加工光学玻璃上的保护胶自然风干后,放在恒温加热炉上,与垫块玻璃一起缓慢加热至75-85度。
7、用纯净的黄蜡涂满垫块玻璃的粘接面和有保护胶的待加工光学玻璃面。
8、将待加工光学玻璃和垫块玻璃胶合,排除两者之间的气泡,以防加工中出现的崩边。
9、调整好两块玻璃的位置,缓慢降温至室温。
该粘接方法,包括选择合适的垫块玻璃并擦拭;确认待加工镀膜标记面光学玻璃无损伤;光学保护胶和粘接用的黄蜡保持干净;选用的毛刷要用不容易掉毛的羊毛,其长度大于待加工的玻璃,本发明后能有效的控制零件加工后表面质量,控制零件镀膜面不被污染和划伤,杜绝外形加工和打孔底部崩边现象。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。