一种高效节能的流体除杂灭活装置，属于流体除杂技术领域。
背景技术：
臭氧是氧元素的同素异形体，在常温下，臭氧是一种有特殊臭味的蓝色气体，臭氧的用途很多，能够对工业污水、生活污水及医院污水进行深度处理，可除掉水中各种杂质，可消毒灭菌；臭氧可以除去水垢，防止阻塞管道；利用臭氧消毒灭菌不存在任何对人体有害的残留物（如用氯消毒有致癌的卤化有机物产生），对提高饮用水的消毒质量问题非常有效。而目前臭氧的应用还在加速扩大，在半导体生产制造领域的高品质氧化膜形成过程、光刻胶膜腐蚀清洗过程，还有臭氧冰制取、医疗卫生方面等等都离不开超高浓度超高纯度的臭氧。臭氧的以上各种用途，是建立在臭氧达到一定浓度和一定的高纯度条件下，所以，臭氧技术的发展都以高浓度高纯度低消耗为追求目标。
人工制造臭氧技术的发展也有一百多年的历史了，目前应用比较广泛的是臭氧发生器对气隙中氧气或空气进行电晕放电产生臭氧。现在工业上生产臭氧的原料通常采用工业氧气，由于工业氧气中含有一氧化碳、甲烷、乙炔等杂质，导致生产出的臭氧中含有一氧化碳、甲烷、乙炔等杂质，由于一氧化碳、甲烷、乙炔等可燃性气体的存在，影响了臭氧的使用。一般去除这些杂质采用常用的过滤、吸收、低温贵金属催化、分子筛吸附等手段，去除杂质的成本很高，而且去除效果无法保证。这主要是因为像分子筛、低温催化剂这样物质其工作的有效性无法定量评价。目前工业上对杂质含量小的化学气、液体如何去除，尚无系统理论和评价指标体系，一个生产系统内虽设置了除杂设备，但除杂质效果很差，除杂设备常常形同摆设。这导致了目前国际国内化学加工设备工作周期不长，有的大型设备往往工作周期不满一年就要停产维修。目前的臭氧生产设备也如此，工作周期极短一般为一年左右，达到这个工作周期就要对设备进行拆卸清扫维护。这造成了用户使用不便和成本提升。
目前在国内外的化工行业、空分行业及臭氧行业对原料气体如何去除杂质问题，没有一个理想和可行的技术工艺装置，暴露的问题有除杂效果一般并且能耗较大，还要定期更换除杂元件。这对臭氧发生器装置的运行带来了极大的挑战。从臭氧行业看，从诞生起到现在的100多年间，都没有解决杂质对设备和生产的影响干扰问题。这是一个严峻的问题，一直困扰着这个行业。这需要我们在理论和实践上付出极大的努力，探索和研究并开发出一套装置彻底解决这一难题。
技术实现要素：
本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种既能够除去氧气中混入的可燃性杂质、而且节能的高效节能的流体除杂灭活装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：该高效节能的流体除杂灭活装置，其特征在于：包括除杂罐、换热模块以及设置在除杂罐的加热装置，换热模块内设置有流体输入腔和流体输出腔，流体输入腔的输入口连接除杂进气口，流体输入腔的输出口与加热装置的输入口连通，流体输出腔的输入口与加热装置的输出口连通，流体输出腔的输出口连接除杂出气口。
优选的，所述的加热装置包括设置在除杂罐的上部的圆筒以及设置在圆筒内的加热器，圆筒下端密封设置形成加热腔，加热装置设置在加热腔内。
优选的，所述的加热装置的输入口和输出口均设置在下部，加热装置的中部内设置有导流板。
优选的，所述的导流板包括水平设置的环形板以及设置在环形板上下两侧的圆板，环形板设置加热装置中部，环形板的侧部与加热装置中部密封连接，环形板上下两侧的圆板均水平且与环形板间隔设置，环形板的内径小于或等于圆板的直径。
优选的，所述的换热模块为换热器，换热器的壳程入口与除杂进气口连通，换热器的壳程出口与加热装置输入口连通，换热器的管程入口与加热装置的输出口连通，换热器的管程出口与除杂出气口连通。
优选的，所述的换热模块为设置在除杂罐内的换热盘管，换热盘管的输入端与加热装置的输入端连通，换热盘管的输出端与除杂出气口连通，除杂进气口和加热装置的输入端均与除杂罐内腔连通。
优选的，所述的除杂罐的内壁设置有保温层。
与现有技术相比，本实用新型所具有的有益效果是：
1、本高效节能的流体除杂灭活装置的加热装置能够除去工业氧气中的可燃性杂质气体，从而避免利用工业氧气生产的臭氧中含油一氧化碳、甲烷、乙炔等可燃性气体杂质，继而避免杂质影响臭氧的灭菌效果或污水处理效果，还能够避免杂质气体直接排放污染环境，还可对气、液体进行高温彻底灭活，达到或高于卫生级标准要求；除杂后的流体与进入换热模块内的流体进行自换热，基本不带走加热装置产生的热能，理论上进出流体温差越小，带走的能量越小，温差趋于零，带走的热能也趋于零。利用这一宝贵特性，在大流量流体下具有重大节能意义。
2、环形板能够与圆板相配合，延长了气体的行程，使气体在加热装置内形成紊流，延长了气体加热时间，进而能够保证气体达到指定温度，除杂彻底。
3、换热模块为换热器，换热器的壳程即为流体输入腔，换热器的管程即为流体输出腔，从而实现了进入的流体和排出的流体的换热。
4、换热模块为换热盘管，换热盘管即为流体输出腔，除杂罐的内腔即为流体输入腔，而且换热盘管设置为流体输出腔，能够保证热量回收充分，且保证排出的流体的温度即为常温。
5、除杂罐内壁设置有保温层，避免了热量的散失，进而降低了能量的消耗。
附图说明
图1为高效节能的流体除杂灭活装置的主视剖视示意图。
图2为图1中A处的局部放大图。
图3为臭氧发生装置的主视结构示意图。
图4为图3中B处的局部放大图。
图5为臭氧管的主视剖视示意图。
图6为图5中C处的局部放大图。
图中：1、发生器主体 2、内冷却液进液管 3、外冷却液进液管 4、出气管 5、进气管 6、外冷却液出液管 7、内冷却液出液管 8、臭氧管 9、内管 10、中间管 11、外管 12、内冷却液出液口 13、气体进气口 14、外冷却液出液口 15、气体出气口 16、内冷却液进液口 17、端盖 18、连接套 19、除杂罐 20、保温层 21、进气端 22、加热腔 23、加热器 24、接线口 25、接线盒 26、出气端 27、除杂进气口 28、除杂出气口 29、导流板 30、换热器。
具体实施方式
图1~6是本实用新型的最佳实施例，下面结合附图1~6对本实用新型做进一步说明。
一种高效节能的流体除杂灭活装置，包括除杂罐19、换热模块以及设置在除杂罐19的加热装置，换热模块内设置有流体输入腔和流体输出腔，流体输入腔的输入口连接除杂进气口27，流体输入腔的输出口与加热装置的输入口连通，流体输出腔的输入口与加热装置的输出口连通，流体输出腔的输出口连接除杂出气口28。本高效节能的流体除杂灭活装置的加热装置能够除去工业氧气中的可燃性杂质气体，从而避免利用工业氧气生产的臭氧中含油一氧化碳、甲烷、乙炔等可燃性气体杂质，继而避免杂质影响臭氧的灭菌效果或污水处理效果，还能够避免杂质气体直接排放污染环境，换热模块将除杂后的气体与进入换热模块内的气体换热，即实现了热量的回收，节约了能量，使除杂后的气体温度较低直接即可通入臭氧发生装置中生产臭氧，不需要对气体冷却后再通入臭氧发生装置，又能够对进入加热装置的气体进行预热，使气体在加热装置内能够快速达到指定温度。
下面结合具体实施例对本实用新型做进一步说明，然而熟悉本领域的人们应当了解，在这里结合附图给出的详细说明是为了更好的解释，本实用新型的结构必然超出了有限的这些实施例，而对于一些等同替换方案或常见手段，本文不再做详细叙述，但仍属于本申请的保护范围。
实施例1
如图1~2所示：除杂罐19竖向设置，除杂罐19的下侧设置有支撑腿，从而使除杂罐19与地面间隔设置，方便了管道的设置，又能够避免除杂罐19与地面接触导致热量散失。
除杂罐19内腔由上至下依次设置有加热腔22以及换热腔，加热装置设置在换热腔22内，换热模块设置在换热腔内。除杂罐19的下侧同轴设置有除杂出气口28，除杂罐19的底端一侧设置有径向的除杂进气口27。在本实施例中，换热模块为换热器30，换热器30的管程入口与除杂进气口27连通，换热器30的壳程出口通过加热进气管26与加热腔22连通，加热腔22还通过加热出气管21与换热器30的管程入口连通，换热器30的管程出口与除杂出气口28连通，即换热器的壳程为流体输入腔，换热器的管程为流体输出腔。进入的气体与排出的气体在换热器30内实现了换热，从而实现了对排出气体热量的回收，避免了能量的浪费，还实现了对进入的气体的预热，使气体在加热腔22内能够尽快升温至指定温度，从而能够使氧气中混有的一氧化碳、甲烷或乙炔等可燃性气体燃烧，除去气体内的杂质，且操作方便，并且能量消耗少。换热器30的管程和壳程内通入的气体可以根据需要设置，也可以进入的气体经过管程进入到加热腔22内，加热后的气体经过壳程后排出。本除杂灭活装置的除杂出气口28连接臭氧发生装置的进气管5。
加热装置包括设置在除杂罐19上部的以及加热器23，圆筒与除杂罐19同轴设置，且圆筒的底端封闭，形成加热腔22，加热器23设置在圆筒内，且加热出气管21与加热进气管26均与通过圆筒底部与圆筒连通，圆筒上侧设置有接线盒25，接线盒25下侧密封设置，圆筒上端与接线盒25底部间隔设置，除杂罐19的上端一侧设置有径向的接线口24，电源线通过接线口24进入到除杂罐19内并与接线盒25连接。在本实施例中，加热器23为集束式加热器，对气体的加热速度快。加热器23还可以替换为电热管或电阻丝。
加热腔22的中部设置有水平的导流板29，导流板29的侧部与加热腔22密封设置。导流板29包括水平设置的环形板以及环形板上下两侧的圆板，除杂罐19内腔上部设置下端封闭的圆筒，形成加热腔22，环形板水平设置在圆筒中部，环形板的侧部与圆筒的中部密封设置，上下两侧的圆板均与环形板间隔设置，且圆板的直径等于或稍小于环形板的内径，从而能够使进入到加热腔22内的气体形成紊流，增加了气体在加热腔22内的行程，延长了气体的加热时间，使气体加热充分并达到指定温度，进而保证了气体除杂彻底。
如图3~4所示：本实用新型还提供一种与上述高效节能的流体除杂灭活装置配合使用的臭氧发生装置，臭氧发生装置包括发生器主体1以及设置在发生器主体1内的至少一个臭氧发生模块，每个臭氧发生模块的臭氧产量为0.5~3kg/h；每个臭氧发生模块均包括多根臭氧管8，每个臭氧管8的冷却液通道两端分别连接有进液管和出液管，每个臭氧管8的气体通道两端分别连接进气管5和出气管4，气体通道的内侧和外侧绝缘设置，且气体通道的内侧连接电源的放电电极，气体通道外侧连接电源地极。本臭氧发生装置的每个臭氧发生模块包括多根臭氧管8，能够根据需要调整臭氧发生模块的数量，进而调节臭氧的产量，直接在发生器主体1内增加或减少臭氧发生模块的数量即可实现臭氧产量的调节，方便调节，每个臭氧发生模块的臭氧产量为0.5~3kg/h，从而能够满足绝大部分臭氧产量要求，不会出现臭氧发生装置的产量与实际需求差距较大，导致产能过剩的问题。
发生器主体1为长方体箱体，臭氧发生模块设置在臭氧发生器内。每个臭氧管8的冷却液通道均包括内冷却液通道和外冷却液通道，气体通道环绕内冷却液通道设置，外冷却液通道环绕气体通道设置。进液管包括内冷却液进液管2和外冷却液进液管3，出液管包括内冷却液出液管7和外冷却液出液管6。
进气管5、内冷却液出液管7和外冷却液出液管6均水平设置在发生器主体1的上部，且进气管5、内冷却液出液管7和外冷却液出液管6的左端均伸出发生器主体1，进气管5、外冷却液出液管6和内冷却液出液管7由下至上依次间隔设置。
出气管4、内冷却液进液管2和外冷却液进液管3均水平设置在发生器主体1的下部，且出气管4、内冷却液进液管2和外冷却液进液管3的左端均伸出发生器主体1，出气管4、外冷却液进液管3和内冷却液进液管2由上至下依次间隔设置。
每个臭氧管8均竖向设置，臭氧管8气体通道的上端通过管道与进气管5相连通，气体通道的下端通过管道与出气管4连通，在本实施例中，进气管5内通入的是氧气。内冷却液通道的上端与内冷却液出液管7连通，内冷却液通道的下端与内冷却液进液管2连通，从而使内冷却液通道内的内冷却液实现循环，外冷却液通道的上端与外冷却液出液管6连通，外冷却液通道的下端与外冷却液进液管3连通，从而能够使外冷却通道内的外冷却液循环，进而保证了对气体通道的冷却效果，避免气体通道内的气体温度过高，从而导致产生的臭氧在高温条件下分解。此外，由于气体的流向与内冷却液和外冷却液的流向均相反，能够使温度较低的内冷却液和外冷却液与臭氧浓度较高的气体接触，避免臭氧浓度较高的气体的温度升高，进而避免了臭氧分解，使经臭氧发生装置输出的气体中臭氧的浓度高，进而能够达到更好地灭菌或污水处理的效果。
气体通道的内侧与电源的放电电极相连，气体通道的外侧与电源的地极相连，电源地极与地面相连通，从而在气体通道内放电，进而使氧气转换为臭氧。在本实施例中，气体通道内侧与外侧之间的电压为3000V，气体通道内通入的为氧气，且氧气的流量为6m3/h，从而保证了氧气经臭氧管8后的气体中臭氧的浓度达到500g/m3以上，能够很好的满足污水处理以及杀菌等的要求。
如图5~6所示：臭氧管8包括同轴设置的外管11、中间管10以及内管9，内管9为两端敞口的圆管，内管9内形成内冷却液通道，中间管10内壁与内管9外壁间隔设置，从而在中间管10和内管9之间形成环绕内冷却液通道设置的气体通道，外管11内壁与中间管10的外壁间隔设置，从而在外管11和中间管10之间形成环绕气体通道设置的外冷却液通道。加工方便。在本实施例中，外管11、中间管10以及内管9均为不锈钢材质，既能够防止氧化，又能够起到导电作用。
内管9的上端设置有内冷却液出液口12，下端设置有内冷却液进液口16。内冷却液出液口12的下端同轴设置在内管9的上端内，内冷却液出液口12的下端与内管9的内壁之间密封设置，内冷却液进液口16的上端同轴设置在内管9的下端内，内冷却液进液口16的上端也与内管9的内壁之间密封设置，从而形成内冷却液通道。内冷却液出液口12的上端与内冷却液出液管7连通，内冷却液进液口16的下端与内冷却液进液管2连通，且内冷却液出液口12与内冷却液出液管7之间绝缘连接，内冷却液进液口16与内冷却液进液管2之间也绝缘连接，即内冷却液出液口12与内冷却液出液管7之间以及内冷却液进液口16与内冷却液进液管2之间均不导电。内冷却液出液口12的中部外侧套设有用于连接电源的高压电极，即与电源放电电极相连，在本实施例中，电源为高压电源。
内管9的两端均伸出中间管10，且内管9两端位于中间管10外的部分的长度相等；中间管10的两端均伸出外管11，且中间管10的两端位于外管11外的部分的长度相等。在本实施例中，内冷却液为冷却油，外冷却液为冷却水。
臭氧管8还包括设置在上下两端的连接套18以及端盖17。每个臭氧管8上均设置有两个连接套18和端盖17。连接套18套设在外管11外并与外管11同轴连接，连接套18的内端的内径小于外端的内径，连接套18的内端与套设在外管11的外端并与外管11的外壁密封设置，连接套18的内端与中间管10的外壁密封设置，从而形成外冷却液通道。端盖17为圆筒状，端盖17的内端伸入连接套18和内管9之间，且端盖17与连接套18和内管9均密封连接，形成气体通道。
环绕每个连接套18外端的内壁设置有气体通道槽，位于臭氧管8上端的连接套18的气体通道槽与气体通道上端连通，位于臭氧管8下端的连接套18的气体通道槽与气体通道下端连通。臭氧管8上端的连接套18上设置有径向的气体进气口13，气体进气口13与连接套18螺纹连接，气体进气口13的内端通过上端的连接套18的气体通道槽与气体通道上端连通；臭氧管8下端的连接套18上设置有径向的气体出气口15，气体出气口15与连接套18螺纹连接，气体出气口15的内端通过下端的连接套18的气体通道槽与气体通道上端连通。气体进气口13与进气管5连通，且气体进气口13与进气管5之间绝缘，气体出气口15与出气管4连通，且气体出气口15与出气管4之间绝缘。
环绕每个连接套18的内端内壁设置有冷却液槽，位于臭氧管8上端的连接套18的冷却液槽与外冷却液通道的上端连通，位于臭氧管8下端的连接套18的冷却液槽与外冷却液通道下端的冷却液槽连通。臭氧管8上端的连接套18上设置有径向的外冷却液出液口14，外冷却液出液口14与连接套18螺纹连接，且外冷却液出液口14通过上端的连接套18的冷却液槽与外冷却液通道上端连通；臭氧管8下端的连接套18上设置有径向的外冷却液进液口，外冷却液出液口与连接套18螺纹连接，外冷却液出液口14通过下端的连接套18的冷却液槽与外冷却液通道下端连通。外冷却液出液口14与外冷却液出液管6连通，外冷却液进液口与外冷却液进液管3连通，外冷却液出液口14与外冷却液出液管6之间绝缘，外冷却液进液口与外冷却液进液管3之间绝缘。
在本实施例中，外冷却液进液口设置在气体出气口15的外侧，外冷却液出液口14设置在气体进气口13的内侧，既避免了连接时气体通道和外冷却液通道相互妨碍，又方便区分避免组装时连接错误，影响冷却效果。
在本实施例中，每个臭氧发生模块的臭氧产量为2kg/h。每个臭氧发生模块的臭氧的产量根据每根臭氧管8的产量以及臭氧管8的数量来设置。如每个臭氧管8的臭氧产量40g/h，每个臭氧发生模块包括50根臭氧发生管，即可满足每个臭氧发生模块的臭氧产量为2kg/h。十个模块并联可实现20kg/h的臭氧产量，通过多模块并联能够实现任意产量需求，十分方便。
位于臭氧管8上端的连接套18和端盖之间设置有接地电极，接地电极与电源地极，接地电极还与中间管10相连。
本实用新型还提供了一种用于臭氧流量检测的方法，进气管4和出气管5上均设置有质量流量计，且两个质量流量计均连接PLC控制器。
新的理论和实验证明，过高的折合电场强度Td，施能当电子获得平均能量大于20ev时，再施加过大能量将以发热的方式转移，并会对臭氧产生热力分解作用，对氧分子的电离激发成活性粒子，经碰撞形成臭氧分子不会有太大的帮助。从微观上说，氧气分子获得20ev以下时的能量其电场强度不是太高。依据新理论本发明设计了一种条件，采用相对较低电场强度，其值300-700Td。保持物理空间上的分子平均距离≤10Å ， 通道长度为800mm。并提供大量活性自由电子的均匀放电通道，将微放电柱直径减小，电柱密度提高2~3倍，等效大幅度提高放电面积，可极大的提高氧分子离解的动力作用。氧分子离解、电离经三体碰撞生成臭氧等离子体反应过程由下式表示：
O2(x³∑g-)+e→O2（A³∑u+）+e
→O（3P）+O（3P）+e
O2(x³∑g-)+e→O2(B3∑u-)+e
→O(1D)+O(3P)+e
O2(x³∑g-)+e→O2（A³πu+）+e
→O（3P）+O+（1S0）+2e
O+ O2+M→O3+M→O3+M
电子能量约为20ev时氧分子具有最大离解截面积。20ev电子能量是O2(x³∑g-)→O2(B3∑u-)所需2倍多，是禁阻跃迁O2 (x³∑g-)→O2（A³∑u+）的3倍多。实验表明：20ev的电子能量应是高浓度低功率的边界值。
放电通道内电介质和气隙电场的电场强度表达式分别为
（1）
（2）
上式中U为施电压峰值，为电介质的介电常数，为介质厚度，为气隙距离，为气隙介电常数。由式（2）可看出，气隙电场强度随U的增大而增大，随的减小而增大，随的减小而增大。
20ev的电子平均能量700Td的折合电场强度即可满足。值得指出的是，以上仅是氧分子转化臭氧的基本条件，但不是全部条件。研究表明，电场施能也不是活性粒子的唯一提供者，也不是全部活性粒子最优动力,冷态非平衡热力等离子体更需要除此之外的其它活化的诱导。而上述所设定的条件也验证了这种推断的正确性。
根据上述设计条件，设计开发了精密的气隙放电臭氧大容量工业发生装置，结果生成660 g/Nm3（40wt%）的超高臭氧浓度，达到了由臭氧发生器直接产生臭氧浓度的国际上前所未有的最高值， 电耗≤，在此超高浓度下功耗也是目前国际上最低的。该超高浓度和低功耗的出现，充分证明了自创微观放电理论和建模的正确性，使臭氧放电理论与技术跨跃式的迈出一大步。实现了浓度上升的同时与电耗的同步下降，为臭氧的低成本制备打开了方便之门。达到了本发明的预期效果。
本发明还提供了一种用于臭氧流量检测的方法，进气管5和出气管4上均设置有质量流量计，且两个质量流量计均连接PLC控制器。具体包括如下步骤：
步骤1），在相同的条件下，实时测量发生化学反应前气体的体积流量Q1以及发生化学反应后气体的体积流量Q2；
在本实施例中，发生的化学反应为氧气转化为臭氧的化学反应。在相同的温度条件和压力条件下，实时测量进入的气体的体积流量Q1，实时测量排出的气体的体积流量Q2，Q2中包括臭氧体积流量O3和未反应的氧气流量Q4。还可以实时测量反应前气体的质量流量，并根据测量好的质量流量，依据气体的密度，计算出体积流量。
步骤2），计算化学反应前后流体实时的体积流量差∆Q，
∆Q=|Q1- Q2|；
氧气转变为臭氧的化学方程式如下：3O2=2O3。由于本化学反应反应后气体的体积缩小，因此，∆Q= Q1- Q2。如果化学反应后气体的体积增大，则∆Q= Q2- Q1。
步骤3），计算反应后待检测流体的体积流量Q3；
由上述化学方程式可以看出，每3L的氧气可以转换为2L的臭氧，即转换比为1.5:1，由此可得出以下关系式：
Q1=1.5Q3+Q4； （3）
其中，Q4为相同条件下未参加反应的Q2的体积流量。
排出的气体为臭氧和未参加反应的氧气的混合气体，可得：
Q2= Q3+ Q4； （4）
将式（3）代入式（4）可得：
Q3=2（Q1- Q2）； （5）
步骤4）计算计算待检测流体的臭氧质量百分比浓度C：
。 （6）
将式（5）带入式（6）得：
。
实施例2
实施例2与实施例1的区别在于：气体通道内侧与外侧的电压为2000V，气体流量为4m3/h，从而使氧气经过臭氧管8后含有的臭氧浓度在500g/m3以上。内冷却液为冷却水，外冷却液为冷却油。
实施例3
实施例3与实施例1的区别在于：气体通道内侧与外侧的电压为1500V，气体流量为1m3/h，从而使氧气经过臭氧管8后含有的臭氧浓度在500g/m3以上。内冷却液和外冷却液均为冷却油。
实施例4
实施例4与实施例1的区别在于：每个臭氧发生模块的臭氧产量为0.5kg/h，即每增加或减少一个臭氧发生模块，每小时的臭氧产量增加或减少0.5kg。内冷却液和外冷却液均为冷却水。
实施例5
实施例5与实施例1的区别在于：每个臭氧发生模块的臭氧产量为1.5kg/h，即每增加或减少一个臭氧发生模块，每小时的臭氧产量增加或减少1.5kg。
实施例6
实施例6与实施例1的区别在于：每个臭氧发生模块的臭氧产量为2.5kg/h，即每增加或减少一个臭氧发生模块，每小时的臭氧产量增加或减少2.5kg。
实施例7
实施例7与实施例1的区别在于：每个臭氧发生模块的臭氧产量为3kg/h，即每增加或减少一个臭氧发生模块，每小时的臭氧产量增加或减少3kg。
实施例8
实施例8与实施例1的区别在于：换热装置为换热盘管，换热盘管的输入端与加热出气管21连通，换热盘管的输出端与除杂出气口28连通，除杂进气口27与除杂罐19内腔下部连通，加热进气管26将除杂罐19内腔与圆筒底部连通，即换热盘管即为流体输出腔，除杂罐19内腔为流体输入腔，能够保证输出的气体的热量完全回收。换热盘管还可以作为流体输入腔，除杂罐19内腔作为流体输出腔。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例。但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。