一种热能利用率高的多晶硅铸锭炉的制作方法

本实用新型涉及多晶硅加工制造技术领域，具体为一种热能利用率高的多晶硅铸锭炉。

背景技术：

常见的多晶硅铸锭炉一般包括炉室、置于炉室内并用于放置坩埚的热交换台以及分别用于对坩埚加热的顶部加热器和侧部加热器。顶部加热器设置于坩埚的顶部，侧部加热器设置于坩埚的侧部，顶部加热器和侧部加热器均对坩埚进行加热。然而，在铸锭过程中高温阶段的有气体将从坩埚顶部流出，并直接排出，造成了热量的流失，进而使得铸锭炉的热量利用率降低，浪费了资源，并且坩埚的内部没有进行对热量的散发做处理，容易造成热量的散发等缺点。

技术实现要素：

本实用新型解决的技术问题在于克服现有技术的热量利用率低和热量易散发等缺陷，提供一种热能利用率高的多晶硅铸锭炉。所述一种热能利用率高的多晶硅铸锭炉具有热量利用率高和热量不易散发等特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括铸锭炉和坩埚，所述坩埚的内腔固定安装有铸锭炉，所述铸锭炉的外壁设置有内壳，所述内壳的底部开设有若干个进气孔，所述铸锭炉的顶部外壁开设有若干个通孔管，且所述铸锭炉的顶部外壁固定安装有连管，每个所述通孔管通过连管相互接通，所述连管的顶部对称开设有两个烟气管，所述铸锭炉的上方设置有烟气仓，两个所述烟气管的顶部接通烟气仓，所述烟气仓的顶部开孔安装有排出管，所述排出管的外壁固定安装有真空阀，所述坩埚的内壁固定安装有保温结构。

优选的，所述烟气仓包括若干个安装块，每个所述安装块的后壁均固定连接烟气仓的内壁，且每个所述安装块均活动连接滚轴，每个所述滚轴均对称安装有导流片,所述烟气仓的内壁安装有若干个风轮。

优选的，所述保温结构的内腔设置有若干个球体，且所述保温结构的内腔填充有石棉。

优选的，两个所述导流片呈外弧形设置，且两个所述导流片的开口朝下，所述风轮在烟气仓内呈线性等分排列安装，每个所述安装块均设置在风轮的上下。

优选的，所述保温结构设置在坩埚的左右内腔侧壁。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过烟气仓内的导流片的旋转来控制导流程度，并且风轮可以在热烟气低流速时增大导流程度，最大化的利用热烟气的热能，从而减少烟气的排出的热量，提高了热量的重新利用，提高了热能的利用率；通过内壳内的进气孔，以及内壳的内部循环，提高了铸锭炉的工作效果；通过保温结构，可以防止热量直接通过坩埚向外散发，防止热量丧失和做到了一个保温的作用。

附图说明

图1为本实用新型的内部结构示意图；

图2为本实用新型图1处A的放大图；

图3为本实用新型保温结构内部示意图；

图中标号：1、铸锭炉，11、通孔管，12、连管，13、烟气管，2、内壳，3、坩埚，4、保温结构，41、石棉，42、球体，5、进气孔，6、烟气仓，61、安装块，62、滚轴，63、导流片，64、风轮，7、排出管，8、真空阀。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种热能利用率高的多晶硅铸锭炉，包括铸锭炉1和坩埚3，坩埚3的内腔固定安装有铸锭炉1，铸锭炉1的外壁设置有内壳2，内壳2的底部开设有若干个进气孔5，铸锭炉1的顶部外壁开设有若干个通孔管11，且铸锭炉1的顶部外壁固定安装有连管12，每个通孔管11通过连管12相互接通，连管12的顶部对称开设有两个烟气管13，铸锭炉1的上方设置有烟气仓6，两个烟气管13的顶部接通烟气仓6，两个导流片 63呈外弧形设置，且两个导流片63的开口朝下，风轮64在烟气仓6 内呈线性等分排列安装，每个安装块61均设置在风轮64的上下，烟气仓6的顶部开孔安装有排出管7，排出管7的外壁固定安装有真空阀8，真空阀8提高了排出管7排出烟气时的稳定性，坩埚3的内壁固定安装有保温结构4，保温结构4设置在坩埚3的左右内腔侧壁，保温结构4的内腔设置有若干个球体42，球体42的材料为聚氨酯发泡材料，且保温结构4的内腔填充有石棉41，球体42的材料为聚氨酯发泡材料，可以很好的保持坩埚3内的温度，且石棉41可以很好的防止热量丧失。

工作原理，本实用新型当铸锭炉1工作时，铸锭炉1发出热量，首先通过可以通过内壳2的底部开设有若干个进气孔5，进气孔5可以通过空压机，向内壳2内倒入高压空气，使得空气在内壳2的内腔循环，提高了铸锭炉1的工作效果，并且同时铸锭炉1产生的烟气通过每个通孔管11和烟气管13排进烟气仓6中，此时，通过导流片 63和滚轴63的旋转来控制导流程度，并且风轮64可以在热烟气低流速时增大导流程度，最大化的利用热烟气的热能，从而减少烟气的排出的热量，提高了热量的重新利用，提高了热能的利用率。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。