一种半导体外延片生长的CVD石墨托盘的制作方法

本实用新型涉及半导体延片制作设备技术领域，尤其涉及一种半导体外延片生长的CVD石墨托盘。

背景技术：

碳化硅(SiC)是继Si、GaAs之后的第三代半导体材料。作为一种宽带隙半导体材料，SiC具有宽禁带、击穿电压高、电子饱和漂移速度高、热导率高、抗辐射能力强、化学稳定性好等优良的物理电子性质以及与硅集成电路工艺兼容等特点，是目前已知最为理想的半导体材料，将给短波长光电器件、射频和微波器件、大功率半导体电力转换模块的发展带来革命性的突破。作为半导体器件的理想材料，需要有高品质的碳化硅外延片，目前主要的碳化硅外延片生产方式是化学气相沉积法(CVD)。

现有的CVD石墨托盘都是单层结构，一次生产所得到的半导体外延片数量不多，另外现有的托盘都是整体式，培养槽和托盘没有分开，加工效率低。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种半导体外延片生长的CVD石墨托盘。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种半导体外延片生长的CVD石墨托盘，包括支架及培养盘，所述支架顶部胶接有第一托盘，所述第一托盘材质为石墨，第一托盘顶部开设有第一槽口，第一槽口内胶接有顶杆，所述顶杆顶部中心轴处焊接有空心管，所述空心管内壁底部中心轴处焊接有转动杆，所述转动杆顶部设置有第二圆锥齿轮，所述空心管横截面为正方形，且空心管一侧开设有第一通孔，第一通孔内部设置有第一连杆，所述第一连杆一端延伸至空心管内部，且第一连杆一端焊接有第一圆锥齿轮，所述第一圆锥齿轮与第二圆锥齿轮相互啮合；

所述第二圆锥齿轮顶部中心轴处焊接有螺管，螺管内部通过螺纹连接有第一螺杆，所述第一螺杆顶部焊接有顶杆，且顶杆一端穿过空心管。

优选的，所述顶杆一端设置有第二托盘，且第二托盘底部开设有第二槽口，顶杆一端延伸至第二槽口内部，所述第二托盘在第一托盘的正上方。

优选的，所述第一托盘及第二托盘顶部均开设有圆形放置槽，圆形放置槽内放置有培养盘，所述培养盘外侧开设有凹槽。

优选的，所述第一托盘及第二托盘底部胶接有固定板，所述固定板底部焊接有固定块，所述固定块一侧开设有通孔，通孔内设置有第二连杆，所述第二连杆两端分别焊接有第二螺杆及第三螺杆。

优选的，所述第二螺杆及第三螺杆外侧通过螺纹连接有卡杆，所述第一托盘及第二托盘底部均开设有长方形槽口，卡杆一端穿过长方形槽口，且卡杆一端延伸至第一托盘及第二托盘内部。

优选的，所述转动杆外侧焊接有凸块，所述第二圆锥齿轮一侧开设有第三槽口，第三槽口内壁开设有凹槽，凸块一端延伸至第三槽口内壁凹槽内部，所述第一托盘及第二托盘内壁均开设有通气槽，且通气槽数量为二十个，所述第二螺杆一端焊接有第二旋钮，所述第一连杆一端焊接有第一旋钮。

本实用新型的有益效果是：

1、此实用新型通过第一圆锥齿轮、第二圆锥齿轮、螺管、第一螺杆、顶杆等零部件组成结构，此结构可以改变第一托盘与第二托盘之间的距离，方便科研人员进行操作。

2、此实用新型通过卡杆、第二螺杆、第三螺杆、固定块、培养盘等零部件组成结构，此结构可以方便科研人员迅速更换培养盘，提高科研制作半导体外延片的效率。

3、综上所述，此实用新型分为上下两层结构，便于工作科研人员一次培养数量较多的产品，且装置所占空间不是很大，可以调节高度，且此装置培养盘可快速更换，提高了生产效率，另外此装置使用寿命长，且装置外形可根据客户要求定制。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种半导体外延片生长的CVD石墨托盘的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种半导体外延片生长的CVD石墨托盘的俯视结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种半导体外延片生长的CVD石墨托盘的固定块与第二连杆结构示意图。

图中：1支架、2第一托盘、3通气槽、4第一旋钮、5空心管、6顶杆、7第一螺杆、8螺管、9第一连杆、10第一圆锥齿轮、11第二圆锥齿轮、12转动杆、13第二旋钮、14第二螺杆、15固定块、16第三螺杆、17第二连杆、18培养盘、19卡杆、20第二托盘、21固定板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，一种半导体外延片生长的CVD石墨托盘，包括支架1及培养盘18，其特征在于，所述支架1顶部胶接有第一托盘2，所述第一托盘2材质为石墨，第一托盘2顶部开设有第一槽口，第一槽口内胶接有顶杆6，所述顶杆6顶部中心轴处焊接有空心管5，所述空心管5内壁底部中心轴处焊接有转动杆12，所述转动杆12顶部设置有第二圆锥齿轮11，所述空心管5横截面为正方形，且空心管5一侧开设有第一通孔，第一通孔内部设置有第一连杆9，所述第一连杆9一端延伸至空心管5内部，且第一连杆9一端焊接有第一圆锥齿轮10，所述第一圆锥齿轮10与第二圆锥齿轮11相互啮合；所述第二圆锥齿轮11顶部中心轴处焊接有螺管8，螺管8内部通过螺纹连接有第一螺杆7，所述第一螺杆7顶部焊接有顶杆6，且顶杆6一端穿过空心管5，顶杆6一端设置有第二托盘20，且第二托盘20底部开设有第二槽口，顶杆6一端延伸至第二槽口内部，所述第二托盘20在第一托盘2的正上方，第一托盘2及第二托盘20顶部均开设有圆形放置槽，圆形放置槽内放置有培养盘18，所述培养盘18外侧开设有凹槽，第一托盘2及第二托盘20底部胶接有固定板21，所述固定板21底部焊接有固定块15，所述固定块15一侧开设有通孔，通孔内设置有第二连杆17，固定块15内部开设有第二凹槽，第二连杆17外侧焊接有凸块，凸块一端延伸至第二凹槽内部，所述第二连杆17两端分别焊接有第二螺杆14及第三螺杆16，第二螺杆14及第三螺杆16外侧通过螺纹连接有卡杆19，所述第一托盘2及第二托盘20底部均开设有长方形槽口，卡杆19一端穿过长方形槽口，且卡杆19一端延伸至第一托盘2及第二托盘20内部，转动杆12外侧焊接有凸块，所述第二圆锥齿轮11一侧开设有第三槽口，第三槽口内壁开设有凹槽，凸块一端延伸至第三槽口内壁凹槽内部，所述第一托盘2及第二托盘20内壁均开设有通气槽3，且通气槽数量为二十个，所述第二螺杆14一端焊接有第二旋钮13，所述第一连杆9一端焊接有第一旋钮4。

本实施例中，将外延基片放置在培养盘18顶部，然后将培养盘18放置在第一托盘2及第二托盘20顶部第一槽口内部，放置的时候，使培养盘18底部表面与第一托盘2及第二托盘18第一槽口内壁底部平齐，转动第二旋钮13，第二旋钮13带动第二螺杆14转动，第二螺杆14带动第三螺杆16转动，因第二螺杆14与第三螺杆16外侧螺纹方向相反，所以第二螺杆14及第三螺杆16转动时，使卡杆19同时向着固定块15方向运动，卡杆19一端穿过第一槽口内壁通孔，并且卡杆19一端延伸至培养盘18外侧凹槽内部，使培养盘18更加稳固的被固定在第一托盘2及第二托盘20顶部第一槽口内部；

为了制作需要，有时需要调整第一托盘2距离第二托盘20之间的距离，旋转第一旋钮4，第一旋钮4带动第一连杆9运动，第一连杆9带动第一圆锥齿轮10转动，第一圆锥齿轮10带动第二圆锥齿轮11转动，第二圆锥齿轮11带动螺管8转动，螺管8带动第一螺杆7向上运动，第一螺杆7带动顶杆6向上运动，顶杆6带动第二托盘20远离第一托盘2。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。