一种蓝宝石长晶炉的吹气装置及蓝宝石长晶炉的制作方法

文档序号:18490063发布日期:2019-08-21 00:48阅读:462来源:国知局
一种蓝宝石长晶炉的吹气装置及蓝宝石长晶炉的制作方法

本实用新型涉及蓝宝石单晶长晶制造装备领域,尤其是适用于大尺寸蓝宝石长晶炉的吹气装置及长晶炉。



背景技术:

蓝宝石单晶由于其具备优良的力学、光学性能,以及耐高温、耐腐蚀等优良特性,在工程、光学、医学等领域有着广泛的应用。随着蓝宝石行业的迅速发展,蓝宝石的应用,已从传统的LED行业,迅速发展到光学仪器、航空航天、军用民用窗口片、导弹整流罩、可穿戴设备等方面。

随着市场环境的影响,蓝宝石行业对成本要求越来越高,这就要求蓝宝石长晶炉向着大尺寸方向发展。而随着晶体尺寸的增大,对蓝宝石热场材料的要求就越来越高。由于蓝宝石长晶温度很高,超过2000℃,高温环境对热场材料的损耗很大。这就要求对炉内吹惰性气体来保护热场。

在传统蓝宝石长晶设备上,并无吹气管装置,由于设备不可能完全隔绝空气,空气中的氧气和氮气进入到高温的热场环境内,会和炉内热场材料发生反应,造成热场氧化或挥发,随着设备使用时间变长,使热场的使用寿命大幅度缩短。虽然部分蓝宝石长晶炉开始尝试用吹惰性气体来保护热场,但都仅仅从炉盖或者波纹管处通入,无法直接保护到高温热场部分,由于挥发物是从热的地方向冷的地方扩散,并在冷区沉积,如果气流量偏大反而会将挥发物吹回到高温热场部位,造成不必要的打火,导通等现象的出现,严重时,会直接吹到熔化的晶体里,造成原料污染,导致晶体质量下降,甚至长晶失败。

故,需要一种新的技术方案以解决上述问题。



技术实现要素:

实用新型目的:本实用新型的目的在于提供一种吹气装置,用以解决如何将氩气直接通到长晶炉内的高温区域挥发严重的部位的问题,同时又需要解决如何避免高温区域的热量通过吹气管导到炉体位置的技术问题。

本实用新型同时提供了具有该吹起装置的蓝宝石长晶炉。

技术方案:一种蓝宝石长晶炉的吹气装置,包括气管接头、与气管接头连接的炉体接头、连接气管接头并穿过炉体接头的石英管、连接石英管的吹气管;所述气管接头为中空的,且气管接头的一端设有进气口,所述石英管的一端穿过炉体接头并插入气管接头中而与进气口连通。

进一步的,所述吹气管为钼管。

进一步的,所述吹气管的内部中空,吹气管的一端通过连接头与石英管连接,而另一端为盲端,该盲端侧面有气孔。

进一步的,石英管双头均为螺纹,一端与气管接头连接,另一头通过连接头与吹气管连接。

本实用新型的蓝宝石长晶炉的吹气装置具有以下有益效果:

1、炉体接头用以与炉体连接后,石英管及吹气管从炉体接头直接能够通向炉内,可将氩气直接通到炉体内的高温区域,抑制高温区域热场的挥发、并使气流从内向外流动,防止热场挥发物进入熔体。

2、而将氩气通入的进气管采用热导性差的石英管和吹气管(钼管)组合的方式,防止高温区域的热量通过吹气管导到炉体位置。

3、吹气管盲端侧面有气孔,即可采用侧面均匀吹气的方式,气流避开晶体的位置。

本实用新型提供的蓝宝石长晶炉可采用以下技术方案。

一种包括上述吹气装置的蓝宝石长晶炉,所述吹气装置的吹气管直接通到蓝宝石长晶炉的炉体内部。

该蓝宝石长晶炉设置的吹气装置,直接将石英管及气管从炉体接头通向炉内,可将氩气直接通到炉体内的高温区域,抑制高温区域热场的挥发、并使气流从内向外流动,防止热场挥发物进入熔体。

附图说明

图1为本实用新型中吹气装置的侧视图。

图2为本实用新型中吹气装置的剖视图。

图中:1、气管接头 2、炉体接头 3、石英管 4、连接头 5、吹气管。

具体实施方式

下面,结合附图对本实用新型做进一步详细说明。

请结合图1及图2所示,本实用新型提供一种蓝宝石长晶炉的吹气装置,包括气管接头1、与气管接头1连接的炉体接头2、连接气管接头1并穿过炉体接头2的石英管3、连接石英管3的吹气管5。石英管3双头均为螺纹,一端与气管接头1连接,另一头通过连接头4与吹气管5连接。所述气管5接头为中空的,且气管接头1的一端设有进气口,所述石英管3的一端穿过炉体接头2并插入气管接头1中而与进气口连通。所述吹气管5的内部中空,吹气管5的一端通过连接头4与石英管3连接,而另一端为盲端,该盲端侧面有气孔。吹气管5采用导热性能差的钼管。

石英管3两个端面均有螺纹,安装时,将石英管3一端的螺纹拧入气管接头1内部的螺纹中,使石英管2与气管接头1紧密连接。吹气管5一端为盲端,侧面有吹气孔,另一端有外螺纹。连接头4内部有全通螺纹,通过连接头4将石英管3和吹气管5紧密连接。

而蓝宝石长晶炉的实施例,可以选择现有的蓝宝石长晶炉,并在炉体上开设供炉体接头安装的开口,使气管接头1及炉体接头2用卡箍固定在该开口中。吹气装置的石英管3及吹气管5通过炉体接头2插入炉体内,将氩气管理接在气管接头1上,向炉内通入氩气。石英管及气管从炉体接头直接能够通向炉内,可将氩气直接通到炉体内的高温区域,抑制高温区域热场的挥发、并使气流从内向外流动,防止热场挥发物进入熔体。同时,将氩气通入的进气管采用热导性差的石英管和吹气管(钼管)组合的方式,防止高温区域的热量通过吹气管导到炉体位置。

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