技术总结
本实用新型涉及一种直拉重掺锑硅单晶锑源提纯装置，包括支架、设置在支架上的提纯管和用于持续通入氩气的进气管，所述提纯管顶部设置有开口，所述开口处盖设有上盖，所述上盖中心位置处上下贯穿设置有通孔，所述提纯管内底部填充有若干锑源，该若干锑源中心位置处插设有籽晶，所述籽晶远离锑源的一端穿过通孔并延伸至上盖上方，所述进气管的出气端贯穿上盖后延伸至提纯管内部，所述上盖上且位于开口的一侧设置有用于排出提纯管内部空气的出气管，所述提纯管下方设置有用于加热提纯管的加热组件。本实用新型提供了一种掺杂源纯度高、掺准率高且成晶率高的直拉重掺锑硅单晶锑源提纯装置。
技术研发人员：张向东;王林;毛荣昌;俞顺根;章斌;程龙柱
受保护的技术使用者：衢州晶哲电子材料有限公司
技术研发日：2018.12.27
技术公布日：2019.08.20