三氯硅烷制备用硅粒料及相关生产方法与流程

文档序号:22322843发布日期:2020-09-23 01:59阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种三氯硅烷制备用硅粒料,其尺寸为10至500微米,并且包括:

·掺杂剂,其包括磷或硼且质量分数小于5ppm;

·至少一种助催化剂,其选自铁、铝和钙且质量分数为1至2500ppm;

·金属杂质,其不包括所述至少一种助催化剂且质量分数小于50ppm。

2.根据前述权利要求之一所述的硅粒料,其中,氧的质量分数小于100ppm。

3.一种粉状制剂,其包括根据前述权利要求之一所述的硅粒料,其中,所述粒料的平均尺寸为50至400微米。

4.根据前述权利要求所述的粉状制剂,其中,所述硅粒料的尺寸大于50微米。

5.根据权利要求1和2中任一项所述的硅粒料的生产方法,其包括:

a)用金刚线切割光伏品质锭来供应硅废料的步骤,所述废料包括覆盖有氧化层并在水性介质中与杂质混合的硅颗粒;

b)对所述废料进行化学处理以将硅颗粒与全部或部分所述杂质分离并干燥硅颗粒以形成粉末的步骤;

c)对所述粉末进行冶金处理以熔化硅颗粒并形成液体硅浴的步骤;

d)将至少一种助催化剂引入所述液体硅浴中的步骤,其引入量使得粒料中所述助催化剂的质量分数为1至2500ppm;

e)使液体硅凝固以形成所述硅粒料的步骤。

6.根据前述权利要求所述的生产方法,其中,步骤e)包括快速冷却液体硅的液滴的造粒步骤。

7.根据权利要求5所述的生产方法,其中,步骤e)包括将所述液体硅注入构造成能够快速冷却的锭模中以形成凝固硅块。

8.根据前述权利要求所述的生产方法,其中,将所述凝固硅块粉碎以形成硅粒料。

9.根据前述四项权利要求中一项所述的生产方法,其包括通过筛分或通过飞行进行分离以按尺寸对硅粒料进行分类的步骤f)。

10.根据前述五项权利要求中一项所述的生产方法,其中,在步骤d)中,将选自铁、铝和钙中的所述至少一种助催化剂以金属或金属合金的形式引入所述液体硅浴中。

11.根据前述六项权利要求中一项所述的生产方法,其中,步骤a)包括供应来自基于甲硅烷分解的流化床反应器的尺寸小于400微米的硅晶粒,所述晶粒与硅废料混合。

12.根据前述七项权利要求中一项所述的生产方法,其中,在步骤c)中,将来自基于甲硅烷分解的流化床反应器的尺寸小于400微米的硅晶粒与所述硅颗粒的粉末一起熔化。

13.根据前述八项权利要求中一项所述的生产方法,其中,步骤a)包括供应来自微电子或光伏工业的降级基板,粉碎并与用金刚线切割光伏品质锭所产生的硅废料混合。

14.根据前述九项权利要求中一项所述的生产方法,其中,在步骤c)中,将来自微电子或光伏工业的降级基板的碎片与所述硅颗粒的粉末一起熔化。

15.一种使用根据权利要求3和4中一项所述的粉状制剂通过氯化或通过氢氯化获得三氯硅烷(tcs)的方法。


技术总结
本发明涉及硅粒料,特别是用于制备三氯硅烷的硅粒料,其尺寸为10至500微米,并且包括:质量分数小于5ppm的掺杂剂;至少一种助催化剂,其选自铁、铝和钙且质量分数为1至2500ppm;金属杂质,其不包括所述至少一种助催化剂且质量分数小于50ppm。

技术研发人员:D·巴若莱
受保护的技术使用者:罗西
技术研发日:2018.11.30
技术公布日:2020.09.22
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