1.一种多晶硅还原炉用硅芯的制作工艺,其特征在于,包括以下步骤:
(1)装料:将多晶硅原料放入置于单晶炉内的石英坩埚内;
(2)加热:在低真空条件下,均匀加热原料至完全熔融后,调节液位高度和液面温度到指定工艺值;
(3)熔接:充入氩气,将炉压缓慢升高,形成正向气体,带出硅料中高温挥发的杂质;待液面温度和液面震荡趋于平稳后,将硅芯籽晶缓慢下降,侵入液面1-2cm进行熔接;
(4)拉晶:降低液面温度5-10℃后,缓慢提拉硅芯籽晶,使融化的硅液在表面张力作用下,随着硅芯籽晶缓慢提升,脱离液面后,逐步凝固,形成连续的圆柱状硅芯;
(5)长晶:设定硅芯籽晶提升速度,根据工艺曲线设定加热器功率、坩埚上升速率,确保硅芯等径生长;
(6)收尾:当硅芯生长至所需长度后,结束所述的拉晶步骤,快速提升硅芯籽晶,使硅芯与液面连接处断开,获取硅芯,关闭隔离阀,旋转上炉体,将硅芯取出;
(7)停炉。
2.根据权利要求1所述的制作工艺,其特征在于,
所述的步骤(2)中,加热过程中,石英坩埚的转速为15-25r/min;
原料完全熔融后,石英坩埚的转速为4-6r/min。
3.根据权利要求2所述的制作工艺,其特征在于,
所述的步骤(2)中,加热过程中,石英坩埚的转速为20r/min;
原料完全熔融后,石英坩埚的转速为5r/min。
4.根据权利要求3所述的制作工艺,其特征在于,
所述的步骤(2)中,真空度为30pa。
5.根据权利要求1所述的制作工艺,其特征在于,
所述的步骤(3)中,炉压升高至600pa,正向气体流速为40slpm。
6.根据权利要求1所述的制作工艺,其特征在于,
所述的步骤(3)中,100-150根所述的硅芯籽晶被硅芯籽晶夹头夹持,且硅芯籽晶引晶端面在一个水平面,硅芯籽晶夹头悬挂在提拉机构上,通过控制提拉机构来控制硅芯籽晶。
7.根据权利要求1所述的制作工艺,其特征在于,
所述的步骤(5)中,拉晶速度为6-12mm/min。
8.根据权利要求1所述的制作工艺,其特征在于,
所述的步骤(6)还包括二次加料:取出硅芯,重新修整硅芯籽晶后,将多晶硅原料通过二次加料装置投入坩埚中,重复步骤(1)-(6),完成二次拉制。