一种槽体的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种槽体。

背景技术：

现有的晶体硅太阳能电池的制备工艺如下：清洗制绒→扩散→刻蚀→PECVD→丝网印刷→烧结→测试分档→分选→包装。其中，制绒是为了在硅片表面形成绒面，以提高硅片的陷光作用。现有技术中，制绒一般在槽体中进行，槽体一般包括槽体本体以及药液循环系统，槽体本体的上端口敞开以便于取放盛放硅片的花篮，药液循环系统用于循环药液，以使药液保持均匀的浓度。

然而，药液循环系统的进液口一般设置在槽体的侧壁上，由于药液不能均匀的喷洒，使得药液在槽体内腔中的循环路径比较单一，一定程度上影响了药液中硅片反应的均匀度，而且在槽体的侧壁设置通孔，对槽体的强度有一定的破坏，在意外情况时，还可能导致化学药液溢出。

因此，亟需一种槽体，以解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种槽体，能够提高槽体内药液的均匀度。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种槽体，包括本体及设置于所述本体的上端开口处的盖板，所述本体的底部设置有出液口，所述槽体还包括药液循环系统，所述药液循环系统包括喷淋管路及循环管路，所述喷淋管路设置于所述盖板内部，所述循环管路连接于所述出液口和所述喷淋管路之间，所述盖板的底部设置有多个与所述喷淋管路连通的进液口。

作为优选，所述喷淋管路呈环形。

作为优选，所述循环管路的至少一部分管路为柔性管。

作为优选，所述进液口设置有伸入所述本体内的进液管。

作为优选，所述进液管的管壁和/或底壁设置有若干用于进液的小孔。

作为优选，所述药液循环系统还包括循环泵，所述循环泵连接于所述循环管路，所述循环泵被配置为将所述出液口流出的药液泵至所述进液口。

作为优选，所述循环管路上设置有调节阀。

作为优选，所述盖板设置有两个，两个所述盖板均对应设置有一个所述药液循环系统，两个所述药液循环系统均与所述出液口连通。

作为优选，所述槽体还包括过滤装置，所述过滤装置设置于所述出液口处。

作为优选，所述过滤装置为滤网。

本实用新型的有益效果：本实用新型提供了一种槽体。该槽体设置有药液循环系统，药液循环系统包括喷淋管路及循环管路，喷淋管路设置于所述盖板内部，循环管路连接于出液口和喷淋管路之间，盖板的底部设置有多个与喷淋管路连通的进液口。药液从出液口流出后经循环管路流至喷淋管路，再从多个进液口喷射在本体内，多个位置向本体内喷淋药液，药液充分循环，保证硅片在槽体内反应的均匀性。

附图说明

图1是本实用新型提供的槽体的结构示意图；

图2是本实用新型提供的槽体的剖视图。

图中：

1、本体；11、出液口；2、盖板；21、进液口；3、药液循环系统；31、喷淋管路；32、循环管路；33、循环泵；34、调节阀；4、进液管；41、小孔；5、滤网。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

本实施例提供了一种槽体，作为太阳能电池片制备过程中的制绒等工序的反应槽。本实施例以制绒为例进行介绍，硅片放置于花篮内，并将花篮放置于槽体内，槽体内具有没过硅片的反应药液，通过反应药液与硅片接触，在硅片表面制出绒面。

如图1和图2所示，槽体包括本体1及设置于本体1的上端开口处的盖板2，本体1具有容纳花篮的容纳腔，容纳腔内充入药液。在制绒时，由于硅片周围的药液优先与硅片发生反应，导致靠近硅片的药液与远离硅片的药液之间浓度不均。为了使药液浓度均匀，槽体还包括药液循环系统3，本体1的底部设置有出液口11，药液循环系统3与出液口11连接。通过药液循环系统3将药液从本体1的底部抽出后，再从一进液口21送入本体1内，通过设置药液循环系统3，是药液在本体1内具有流动性，能够混合均匀。

进液口21在送入药液时，由于进液口21处的药液与本体1内其余药液浓度不同，通过一个进液口21送入药液会导致药液不能均匀的喷洒，使得药液在槽体内腔中的循环路径比较单一，一定程度上影响了药液中硅片反应的均匀度。为此，本实施例中，药液循环系统3包括喷淋管路31、循环管路32及循环泵33，喷淋管路31设置于盖板2内部，循环管路32连接于出液口11和喷淋管路31之间，盖板2的底部设置有多个与喷淋管路31连通的进液口21。循环泵33连接于循环管路32，循环泵33被配置为将出液口11流出的药液泵至进液口21。循环管路32上设置有调节阀34，用于调节循环管路32内药液的流量。

药液从出液口11流出后经循环管路32流至喷淋管路31，再从多个进液口21喷射在本体1内，多个位置向本体1内喷淋药液，药液从盖板2向下多点喷淋，药液能够均匀地分布在本体1内，药液充分循环，保证硅片在槽体内反应的均匀性。

为了合理地分布进液口21，本实施例中，喷淋管路31呈环形。例如为圆环形、矩形环(参照图1所示)等，喷淋管路31分布于盖板2的四周，并在盖板2底部间隔设置多个与喷淋管路31连通的进液口21。当喷淋管路31为矩形环时，可以在矩形的每个侧边设置数量相等的进液口21，例如每侧设置两个。通过合理布置喷淋管路31及进液口21，能够使各个喷淋位置分布均匀，药液能够均匀地分布在本体1内。

由于在放入花篮时，盖板2需要打开，在硅片进行反应时，盖板2需要关闭，本实施例中，盖板2与本体1铰接。为避免盖板2在开合过程中对循环管路32造成干涉，本实施例中，循环管路32的至少一部分管路为柔性管。循环管路32能够在盖板2开合时适应性地调整，避免造成损坏。

由于进液口21直接开设于盖板2上，药液流经进液口21时，会有部分药液从进液口21的边缘延伸至盖板2的底面，造成盖板2上有药液残留，在制绒结束打开盖板2时，盖板2底部的药液容易发生流动而流至本体1外。为此，如图2所示，本实施在进液口21设置有伸入本体1内的进液管4。通过进液管4的传递作用将药液从进液口21送入本体1内。

为进一步分散药液，进液管4的管壁和/或底壁设置有若干用于进液的小孔41。通过小孔41能够使每个进液管4产生多束水流，药液朝进液管4的四周扩散，有效地分散了药液，使得药液在进入本体1时更均匀。

本实施例中，盖板2设置有两个，两个盖板2均对应设置有一个药液循环系统3，两个药液循环系统3均与出液口11连通。出液口11流出的药液可分散至两个药液循环系统3内，并分别输送到两个盖板2的出液口11处。两个盖板2全面覆盖本体1上方的区间，有效地将药液进行分散，有利于药液在本体1内混合均匀。

由于药液在反应后容易混入杂质，杂质流经药液循环系统3会对药液循环系统3造成堵塞或一定程度的损坏，为此，该槽体还包括过滤装置，过滤装置设置于出液口11处。具体地，过滤装置为滤网5。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。