1.一种采用锆钎料对氧化铝陶瓷直接钎焊的方法,其特征在于,所述钎焊方法包括以下步骤:
(a)采用物理气相沉积镀膜法,在氧化铝陶瓷的待钎焊表面镀覆涂层,所述涂层为锆基涂层;
(b)将步骤(a)镀覆完成的两片氧化铝陶瓷以涂层面相对紧贴放置,后进行真空加热钎焊,得到钎焊接头,所述钎焊接头为锆基钎缝同氧化铝陶瓷直接连接的钎焊接头。
2.根据权利要求1所述的一种采用锆钎料对氧化铝陶瓷直接钎焊的方法,其特征在于,步骤(a)中,所述物理气相沉积镀膜法选自真空蒸发镀膜、溅射镀膜或离子镀膜中的一种或多种。
3.根据权利要求1所述的一种采用锆钎料对氧化铝陶瓷直接钎焊的方法,其特征在于,步骤(a)中,氧化铝陶瓷在镀覆之前,先经过抛光处理。
4.根据权利要求1或3所述的一种采用锆钎料对氧化铝陶瓷直接钎焊的方法,其特征在于,步骤(a)中,在镀覆锆基涂层时,先在氧化铝陶瓷的表面镀覆锆单质底层,再在锆单质底层上镀覆锆基涂层。
5.根据权利要求4所述的一种采用锆钎料对氧化铝陶瓷直接钎焊的方法,其特征在于,所述锆单质底层的厚度不小于100nm,所述锆基涂层的厚度为300nm~40μm。
6.根据权利要求1所述的一种采用锆钎料对氧化铝陶瓷直接钎焊的方法,其特征在于,步骤(a)中,所述锆基涂层选自锆单质涂层、锆合金涂层或混合涂层中的一种或多种,所述混合涂层为合金元素层和锆单质层组成的涂层。
7.根据权利要求6所述的一种采用锆钎料对氧化铝陶瓷直接钎焊的方法,其特征在于,所述锆合金涂层为二元合金涂层或三元合金涂层或四元合金涂层,所述二元合金涂层中的二元合金为锆和第二合金元素的混合物,所述三元合金涂层中的三元合金为锆、第二合金元素和第三合金元素的混合物,所述四元合金涂层中的四元合金为锆、第二合金元素、第三合金元素和第四合金元素的混合物,所述第二合金元素为铜、镍、硅或锗中的一种,所述第三合金元素为镍、钛、铬、锶或钒中的一种,所述第四合金元素为铬。
8.根据权利要求7所述的一种采用锆钎料对氧化铝陶瓷直接钎焊的方法,其特征在于,所述二元合金涂层或三元合金涂层或四元合金涂层中,铜的含量≤15at.%,镍的含量≤10at.%,硅的含量≤12at.%,锗的含量≤20at.%,
所述三元合金涂层中,第三合金元素的含量≤2at.%,
所述四元合金涂层中,第四合金元素的含量≤16at.%。
9.根据权利要求6所述的一种采用锆钎料对氧化铝陶瓷直接钎焊的方法,其特征在于,所述合金元素层中的合金元素选自铜、镍、硅或锗中的一种或多种。
10.根据权利要求1所述的一种采用锆钎料对氧化铝陶瓷直接钎焊的方法,其特征在于,步骤(b)中,真空加热钎焊过程中,真空度为0~10-1pa,钎焊温度为t~(t+80)℃,所述t为采用的锆基涂层的熔化温度,钎焊时间为5~15min。