1.本发明属于陶瓷基片的加工技术领域，尤其涉及一种陶瓷基片的制备方法。
背景技术：
2.钛酸钡(batio3)是一致性熔融化合物，其熔点为1618℃，具有五种结晶变形：六方晶型、立方晶型、四方晶型、正方晶型、三方晶型，室温下以正方晶型稳定。当batio3受到高电流电场作用时，在居里点120℃以下会产生持续的极化效应。极化的钛酸钡有两个重要的性质：铁电性和压电性。钛酸钡陶瓷是一种新型多功能电子陶瓷材料，具有高介电常数、低介质损耗、优良的铁电压电性能，以及良好的绝缘性能等特点，广泛应用于电子陶瓷工业，用来制备正温度系数(ptc)热敏电阻器、多层陶瓷电容器(mlcc)、动态随机存储器(dram)、节点放大器和光电原件，被誉为“电子陶瓷的支柱”。随着电子设备及其元器件的小型、轻量、可靠和薄型化的发展，使得对高纯超细钛酸钡粉体的要求越来越迫切，也对介电性能、高温稳定性等提出了更高的要求，而且钛酸钡的居里温度区较窄，影响了其介电性能的使用温度范围，而这些不仅与钛酸钡陶瓷的组份有关，还与其制备工艺息息相关。
3.由于钛酸钡陶瓷材料的微观结构具有不均匀性和较高的孔隙率，现在一般采用掺杂对其进行改性，以便获得更优的介电性能、较宽的居里温度区等。目前，钛酸钡陶瓷的制备方法主要有固相法、共沉淀法、溶胶
‑
凝胶法和水热法。固相法的成本低，技术成熟，产量高，但是陶瓷粉表面、纯度不高、颗粒度不均匀、形貌不规整等，不适用现代电子陶瓷的需求；沉淀法制得的陶瓷粉体杂质含量低，且易掺杂改性，但是粉体团聚严重，热处理温度较高，影响陶瓷的强度和介电性；溶胶
‑
凝胶法采用金属醇盐或无机盐为原料，热处理温度较低，可获得高纯的陶瓷粉体，粉体颗粒尺寸较小，粒度分布范围窄，不易聚结，且大小易控制，但是该方法掺杂改性较困难，产率低，生产成本较高；水热法可直接得到分散和结晶性良好的微粒，无需高温处理，但是获得的产品纯度不够，且杂质含量高。因此，本发明主要研究的方向是选择一种合适的制备工艺对钛酸钡陶瓷进行掺杂，获得一种高介电性能、高介电强度、较宽的居里温度区等性能的钛酸钡陶瓷。
4.钛酸钡电子陶瓷用来制作高性能微电子元器件的衬底，尤其是用于制作电路板，一方面要求电子陶瓷基片本身具有高性能、表面组织致密且均匀性一致；另一方面规定一定的电子陶瓷基片尺寸，厚度一般要达到0.1mm左右、厚度均匀、表面平坦光滑、表面无损伤。钛酸钡陶瓷在无压烧结过程中，易导致基片表面凹凸不平，基片厚度薄，翘曲严重，基片材质脆而软等，必须进行陶瓷表面精密磨粒加工，而其最终加工精度、表面加工质量和损伤层的深度都直接决定了其作为微波电路和微波元器件时的性能。
技术实现要素：
5.本发明的主要目的是提供了一种陶瓷基片的制备方法，该方法成本较低，制备简单易操作，制得的钛酸钡基陶瓷粉体的纯度高、颗粒尺寸较小且均匀，并具有高介电常数、低的介电损耗、较高的居里温度和较宽的居里温度区域；陶瓷基片表面平整、光滑、无损伤，
且不易脆断。
6.为了实现本发明的目的，本发明提供了一种陶瓷基片的制备方法，具体包括以下步骤：
7.(1)将一定量的碳酸钡加入冰醋酸中溶解，搅拌均匀，然后将适量的异丙醇钛溶解于无水乙醇中，搅拌均匀，直到碳酸钡和异丙醇钛分别形成澄清透明的溶胶。
8.此处，冰醋酸作为碳酸钡的溶剂，并对碳酸钡有良好的溶解性，还可利用其电离出的h
+
发生亲核攻击加速水解，并可取代异丙醇钛中的烷氧基，对整个溶胶的水解和聚合起到调制的作用。无水乙醇对异丙醇钛有较好的溶解性能，而且不易与
‑
or进行交换，并且不易残余，易去除。
9.(2)在室温下将异丙醇钛溶胶加入到碳酸钡溶胶中，搅拌30
‑
60min，形成非晶相的钛酸钡前驱物凝胶。本发明采用溶胶
‑
凝胶法使异丙醇钛溶胶和碳酸钡溶胶在常温下形成非晶相的钛酸钡前驱物凝胶，该凝胶的杂质较少，溶剂较易去除，则碳酸钡凝胶的纯度较高，为本发明后续制得纯度高的钛酸钡陶瓷提供了基础。
10.(3)将甲基硅酸钠、五水硝酸铋和异丙醇钇以适量的比例加入到钛酸钡前驱物凝胶中，然后加入质量浓度为30
‑
50％的冰醋酸溶液，再加入表面活性剂和分散剂混合均匀，在90
±
5℃下搅拌2
‑
3h，制得混合凝胶。
11.在形成混合凝胶的过程中，本技术通过加入适量的甲基硅酸钠、五水硝酸铋和异丙醇钇与钛酸钡混合，在适宜的温度(90℃左右)下搅拌反应，形成凝胶。该过程中，若温度太高，则溶剂蒸发较快，不能形成冻状的凝胶，而是形成胶状物质，并且不能生成分散的凝胶颗粒，而长链状大分子，从而颗粒间分散不均匀，易团聚，影响钛酸钡基陶瓷的品质。表面活性剂和分散剂的加入，能够提高各组分间的润湿性、结合力和分散效果，从而使各组分不易团聚、分散均匀，又能结合紧密，减少钛酸钡陶瓷的孔隙率，提高了钛酸钡陶瓷的强度和韧性。
12.(4)往混合凝胶中加入氢氧化钠溶液调节ph值至10，在温度150
‑
170℃下搅拌反应8
‑
12h，冷却至室温，过滤，用乙醇洗涤干净，烘干，得钛酸钡基陶瓷粉末。
13.现在水热法合成钛酸钡必须在高碱介质中进行，但是高碱环境会对粉体的纯度产生很大的影响，若oh
‑
浓度过高，则溶液在反应过程中会强烈地吸收空气中的co2，进行形成的co
32
‑
与ba
2+
反应生成碳酸钡沉淀，使钛酸钡陶瓷粉体的杂质量增大，影响碳酸钡陶瓷的纯度和质量；若oh
‑
浓度过低，在其他条件不变的情况下，碳酸钡晶粒发育不完全，易在钛酸钡晶粒形成孔隙，使碳酸钡陶瓷的强度和介电性能较差。本发明ph值为10时，由于有si、na、bi和y的掺杂，降低了碱性使用条件，并且使本发明的氧八面体结构的双氧化物晶体的晶粒较小，促进了晶粒均匀稳定的长大，减少了杂质的产生，减少了钛酸钡晶粒的孔隙率，提高了钛酸钡基陶瓷的纯度，并提高了钛酸钡基陶瓷的强度和韧性，减少了脆断机率。
14.(5)将钛酸钡基陶瓷粉末、烧结助剂、粘结剂和六偏磷酸钠按一定重量配比混合，加入到适量的无水乙醇中，球磨，将磨好的浆料真空脱泡，过400
‑
600目筛网。
15.(6)将过完筛网的浆料进行流延成型，脱模成素坯基片，排胶，将素坯基片置于排胶炉中，于200
‑
300℃下，排胶2h，然后升温至400
‑
500℃，排胶3h，再升温至600
‑
700℃，排胶4
‑
6h；将排胶后的素坯基片送入烧结炉中，在1050
‑
1200℃下烧结2h，退火，切割，得所需尺寸的钛酸钡基陶瓷片材。
16.(7)将钛酸钡基陶瓷片材加入到配制有研磨液的双面研磨机中进行粗磨和精磨，取出，用去离子水进行洗涤，干燥，制得表面平滑的陶瓷基片。
17.进一步的，所述步骤(1)中的所述碳酸钡和异丙醇钛中的ba：ti的摩尔比1：(1
‑
1.14)，所述碳酸钡中的ba与醋酸的比值为0.5
‑
0.75mol/l，所述异丙醇钛中的ti与无水乙醇的比值为0.4
‑
0.8mol/l。
18.进一步的，所述步骤(3)中所述甲基硅酸钠、五水硝酸铋和异丙醇钇中的si、bi和y分别与混合凝胶中的ba的摩尔比值为(0.2
‑
0.32)：1、(0.15
‑
0.25)：1、和(0.09
‑
0.15)：1；所述冰醋酸溶液的加入量为所述钛酸钡前驱物凝胶质量的0.5倍。
19.进一步的，所述步骤(3)中所述表面活性剂为阴离子表面活性剂，所述阴离子表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠、烷基聚氧乙烯醚硫酸钠或烷基磺酸钠中的一种，所述分散剂为氧化聚乙烯蜡。
20.进一步的，所述步骤(5)中，所述浆料的原料重量份数的配比为：钛酸钡基陶瓷粉末90
‑
95份，烧结助剂3
‑
5份，粘结剂1
‑
3份，六偏磷酸钠1
‑
2份，无水乙醇80
‑
150份。
21.进一步的，所述步骤(6)中，所述流延成型过程中，在流延机上进行刮片成0.1
‑
4mm厚的基片素坯。
22.进一步的，所述粗磨的研磨液是由以下重量份数的原料组成：w20氧化铝磨料20
‑
30份、甘油10
‑
15份、苯甲酸钠10
‑
15份、聚丙烯酸钠1
‑
3份、二乙醇单异丙醇胺2
‑
4份和余量为去离子水。
23.本发明使用氧化铝作为磨料，主要是由于的氧化铝磨料相对于钛酸钡而言，硬度适中，其具有较佳的材料去除率，且不会对基片表面产生较大的划伤，有较好的加工效果。选用w20的氧化铝磨料进行粗磨，能快速消除基片自身的翘曲，获得高平面度和低厚度的基片。聚丙烯酸钠和二乙醇单异丙醇胺的加入，使氧化铝能均匀的分散在研磨液中，并对氧化铝悬浮液有较好的稳定性，从而提高了研磨液的研磨效果。二乙醇单异丙醇胺还能作为助磨剂使用，能进一步提高研磨的研磨效果。
24.进一步的，所述精磨的研磨液是由以下重量份数的原料组成：w7氧化铝磨料20
‑
30份、甘油10
‑
15份、苯甲酸钠10
‑
15份、聚丙烯酸钠1
‑
3份、二乙醇单异丙醇胺2
‑
4份和余量为去离子水。采用w7的氧化铝磨料，可消除粗磨料阶段产生的划伤，进一步提高了基片的加工厚度精度和加工表面质量，使其表面平整光滑。
25.进一步的，所述粗磨的研磨液和精磨的研磨液的制备方法为：将各原料按重量份数称取，混合均匀后，经超声波分散30min后，即得。
26.本发明取得了以下有益效果：
27.1、本发明以碳酸钡和异丙醇钛为原料用溶胶
‑
凝胶法初步制得钛酸钡前驱物凝胶，然后在该凝胶中加入甲基硅酸钠、五水硝酸铋和异丙醇钇用水热法掺杂，反应合成所需的钛酸钡基陶瓷粉末。本发明采用凝胶
‑
水热法制得的钛酸钡基陶瓷粉末，综合了溶胶
‑
凝胶法和水热法的综合优点，使钛酸钡基陶瓷具有高纯度，杂质率低，颗粒尺寸小，粒度分布均匀，并且具有优良的分散性、烧结活性和结晶性能，晶粒细小且均匀，该方法生成的钛酸钡基陶瓷粉体的表面能较低，粉体无团聚，使烧结性能大大提高，进一步提高了陶瓷基片的力学强度和介电性能。
28.2、本发明使用水热法，将甲基硅酸钠、五水硝酸铋和异丙醇钇掺杂于钛酸钡前驱
物凝胶中进行水解和聚合反应，使钛酸钡基体中复合了钠硅铋钇四种元素，该四种元素或形成氧化物与钛酸钡合成固溶体，或通过替代ba或ti，或在ba或ti位掺杂形成新的固溶体，而合成了以钛酸钡为基体的钛酸钡基陶瓷粉体，相对于原来的钛酸钡陶瓷而言，使本发明的陶瓷粉体的晶粒细小，从而使本发明的致密度较高，提高了本发明的强度和韧性，并导致在低温区也有较高的介电常数，较低的介电损耗，提高了本发明的居里温度，从而拓宽了本发明的介电使用温度(即在较宽的使用温度范围内仍然有优异的介电性能)，使其拥有较宽的居里温度区域。
29.3、本发明采用流延无压烧结工艺制得陶瓷基片，并对其进行粗磨和精磨，通过合适的粗磨研磨液和精磨研磨液，通过优化研磨工艺参数降低了陶瓷基片的破碎率，提高了加工效率，并提高了本发明陶瓷基片的品质，使陶瓷基片表面平整、光滑、无损伤，且不易脆断。
30.4、本发明使用凝胶
‑
水热法制备陶瓷基片，减少了水热合成时间，提高了生产效率，降低了生产成本，并且制备方法简单易操作，使用流延无压烧结法生产陶瓷基片，并对其进行研磨处理，其生产工艺稳定，能获得质量可靠、性能较好的陶瓷基片。
具体实施方式
31.下面对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
32.下面结合具体实施例对本发明的陶瓷基片的制备方法予以说明。
33.实施例1：
34.本发明陶瓷基片的制备方法，具体包括以下步骤：
35.(1)将197g碳酸钡加入到2l冰醋酸中搅拌至澄清透明，得碳酸钡溶胶；将284g异丙醇钛置于1.25l无水乙醇中搅拌至澄清透明，得异丙醇钛溶胶。室温下将异丙醇钛溶胶加入到碳酸钡溶胶中，搅拌30min，形成非晶相的钛酸钡前驱物凝胶。
36.(2)将32g甲基硅酸钠、86.3五水硝酸铋和24g异丙醇钇加入到钛酸钡前驱物凝胶中，然后加入1.78kg质量浓度为30％的冰醋酸溶液，再加入9.62g十二烷基苯磺酸钠和分4.81g氧化聚乙烯蜡混合均匀，在90℃下搅拌3h，制得混合凝胶。
37.(3)往混合凝胶中加入氢氧化钠溶液调节ph值至10，在温度150℃下搅拌反应12h，冷却至室温，过滤，用乙醇洗涤干净，烘干，得钛酸钡基陶瓷粉末。
38.(4)称取钛酸钡基陶瓷粉末90份、mno 2份、sio
2 3份、聚乙烯醇缩丁醛3份和六偏磷酸钠2份进行混合，加入到80份无水乙醇中，球磨，将磨好的浆料真空脱泡，过400
‑
600目筛网。
39.(5)将过完筛网的浆料进行流延成型，流延成型过程中，在流延机上进行刮片成0.1
‑
4mm厚的基片素坯，脱模，排胶，将素坯基片置于排胶炉中，于200
‑
300℃下，排胶2h，然后升温至400
‑
500℃，排胶3h，再升温至600
‑
700℃，排胶4
‑
6h；将排胶后的素坯基片送入烧结炉中，在1050
‑
1200℃下烧结2h，退火，切割，得所需尺寸的钛酸钡基陶瓷片材。
40.(6)将钛酸钡基陶瓷片材先加入到配制有粗磨研磨液的双面研磨机中进行粗磨，取出，再加入到配制有精磨研磨液的双面研磨机中进行精磨，取出，用去离子水进行洗涤，
干燥，制得表面平滑的陶瓷基片。
41.粗磨研磨液的制备方法为：按重量份数计，将20份w20氧化铝磨料、15份甘油、10份苯甲酸钠、3份聚丙烯酸钠、2份二乙醇单异丙醇胺和50份去离子水混合均匀，经超声波分散30min后，即可。
42.精磨研磨液的制备方法为：按重量份数计，将20份w7氧化铝磨料、10份甘油、15份苯甲酸钠、1份聚丙烯酸钠、4份二乙醇单异丙醇胺和50份去离子水混合均匀，经超声波分散30min后，即可。
43.实施例2：
44.本发明陶瓷基片的制备方法，具体包括以下步骤：
45.(1)将197g碳酸钡加入到1.5l冰醋酸中搅拌至澄清透明，得碳酸钡溶胶；将324g异丙醇钛置于2.5l无水乙醇中搅拌至澄清透明，得异丙醇钛溶胶。室温下将异丙醇钛溶胶加入到碳酸钡溶胶中，搅拌60min，形成非晶相的钛酸钡前驱物凝胶。
46.(2)将20g甲基硅酸钠、72.8五水硝酸铋和40g异丙醇钇加入到钛酸钡前驱物凝胶中，然后加入2.03kg质量浓度为50％的冰醋酸溶液，再加入20.84g十二烷基苯磺酸钠和分10.42g氧化聚乙烯蜡混合均匀，在95℃下搅拌2h，制得混合凝胶。
47.(3)往混合凝胶中加入氢氧化钠溶液调节ph值至10，在温度170℃下搅拌反应8h，冷却至室温，过滤，用乙醇洗涤干净，烘干，得钛酸钡基陶瓷粉末。
48.(4)称取钛酸钡基陶瓷粉末95份、mno1份、sio22份、聚乙烯醇缩丁醛1份和六偏磷酸钠1份进行混合，加入到150份无水乙醇中，球磨，将磨好的浆料真空脱泡，过400
‑
600目筛网。
49.(5)将过完筛网的浆料进行流延成型，流延成型过程中，在流延机上进行刮片成0.1
‑
4mm厚的基片素坯，脱模，排胶，将素坯基片置于排胶炉中，于200
‑
300℃下，排胶2h，然后升温至400
‑
500℃，排胶3h，再升温至600
‑
700℃，排胶4
‑
6h；将排胶后的素坯基片送入烧结炉中，在1050
‑
1200℃下烧结2h，退火，切割，得所需尺寸的钛酸钡基陶瓷片材。
50.(6)将钛酸钡基陶瓷片材先加入到配制有粗磨研磨液的双面研磨机中进行粗磨，取出，再加入到配制有精磨研磨液的双面研磨机中进行精磨，取出，用去离子水进行洗涤，干燥，制得表面平滑的陶瓷基片。
51.粗磨研磨液的制备方法为：按重量份数计，将30份w20氧化铝磨料、10份甘油、15份苯甲酸钠、1份聚丙烯酸钠、4份二乙醇单异丙醇胺和40份去离子水混合均匀，经超声波分散30min后，即可。
52.精磨研磨液的制备方法为：按重量份数计，将30份w7氧化铝磨料、15份甘油、10份苯甲酸钠、3份聚丙烯酸钠、2份二乙醇单异丙醇胺和40份去离子水混合均匀，经超声波分散30min后，即可。
53.实施例3：
54.本发明陶瓷基片的制备方法，具体包括以下步骤：
55.(1)将197g碳酸钡加入到1.6l冰醋酸中搅拌至澄清透明，得碳酸钡溶胶；将296g异丙醇钛置于1.7l无水乙醇中搅拌至澄清透明，得异丙醇钛溶胶。室温下将异丙醇钛溶胶加入到碳酸钡溶胶中，搅拌40min，形成非晶相的钛酸钡前驱物凝胶。
56.(2)将26.5g甲基硅酸钠、121.3五水硝酸铋和28.5g异丙醇钇加入到钛酸钡前驱物
凝胶中，然后加入1.76kg质量浓度为40％的冰醋酸溶液，再加入14.79g十二烷基苯磺酸钠和分14.79g氧化聚乙烯蜡混合均匀，在85℃下搅拌3h，制得混合凝胶。
57.(3)往混合凝胶中加入氢氧化钠溶液调节ph值至10，在温度160℃下搅拌反应10h，冷却至室温，过滤，用乙醇洗涤干净，烘干，得钛酸钡基陶瓷粉末。
58.(4)称取钛酸钡基陶瓷粉末92份、mno2份、sio
2 2份、聚乙烯醇缩丁醛2份和六偏磷酸钠2份进行混合，加入到100份无水乙醇中，球磨，将磨好的浆料真空脱泡，过400
‑
600目筛网。
59.(5)将过完筛网的浆料进行流延成型，流延成型过程中，在流延机上进行刮片成0.1
‑
4mm厚的基片素坯，脱模，排胶，将素坯基片置于排胶炉中，于200
‑
300℃下，排胶2h，然后升温至400
‑
500℃，排胶3h，再升温至600
‑
700℃，排胶4
‑
6h；将排胶后的素坯基片送入烧结炉中，在1050
‑
1200℃下烧结2h，退火，切割，得所需尺寸的钛酸钡基陶瓷片材。
60.(6)将钛酸钡基陶瓷片材先加入到配制有粗磨研磨液的双面研磨机中进行粗磨，取出，再加入到配制有精磨研磨液的双面研磨机中进行精磨，取出，用去离子水进行洗涤，干燥，制得表面平滑的陶瓷基片。
61.粗磨研磨液的制备方法为：按重量份数计，将25份w20氧化铝磨料、12份甘油、13份苯甲酸钠、2份聚丙烯酸钠、4份二乙醇单异丙醇胺和44份去离子水混合均匀，经超声波分散30min后，即可。
62.精磨研磨液的制备方法为：按重量份数计，将28份w7氧化铝磨料、12份甘油、15份苯甲酸钠、1份聚丙烯酸钠、3份二乙醇单异丙醇胺和41份去离子水混合均匀，经超声波分散30min后，即可。
63.实施例4：
64.本发明陶瓷基片的制备方法，具体包括以下步骤：
65.(1)将197g碳酸钡加入到1.8l冰醋酸中搅拌至澄清透明，得碳酸钡溶胶；将315g异丙醇钛置于2.1l无水乙醇中搅拌至澄清透明，得异丙醇钛溶胶。室温下将异丙醇钛溶胶加入到碳酸钡溶胶中，搅拌50min，形成非晶相的钛酸钡前驱物凝胶。
66.(2)将28.3g甲基硅酸钠、100.5五水硝酸铋和35.7g异丙醇钇加入到钛酸钡前驱物凝胶中，然后加入2.03kg质量浓度为40％的冰醋酸溶液，再加入15.36g十二烷基苯磺酸钠和分10.24g氧化聚乙烯蜡混合均匀，在90℃下搅拌3h，制得混合凝胶。
67.(3)往混合凝胶中加入氢氧化钠溶液调节ph值至10，在温度160℃下搅拌反应12h，冷却至室温，过滤，用乙醇洗涤干净，烘干，得钛酸钡基陶瓷粉末。
68.(4)称取钛酸钡基陶瓷粉末93份、mno1份、sio23份、聚乙烯醇缩丁醛1份和六偏磷酸钠2份进行混合，加入到120份无水乙醇中，球磨，将磨好的浆料真空脱泡，过400
‑
600目筛网。
69.(5)将过完筛网的浆料进行流延成型，流延成型过程中，在流延机上进行刮片成0.1
‑
4mm厚的基片素坯，脱模，排胶，将素坯基片置于排胶炉中，于200
‑
300℃下，排胶2h，然后升温至400
‑
500℃，排胶3h，再升温至600
‑
700℃，排胶4
‑
6h；将排胶后的素坯基片送入烧结炉中，在1050
‑
1200℃下烧结2h，退火，切割，得所需尺寸的钛酸钡基陶瓷片材。
70.(6)将钛酸钡基陶瓷片材先加入到配制有粗磨研磨液的双面研磨机中进行粗磨，取出，再加入到配制有精磨研磨液的双面研磨机中进行精磨，取出，用去离子水进行洗涤，
干燥，制得表面平滑的陶瓷基片。
71.粗磨研磨液的制备方法为：按重量份数计，将25份w20氧化铝磨料、12份甘油、13份苯甲酸钠、2份聚丙烯酸钠、4份二乙醇单异丙醇胺和44份去离子水混合均匀，经超声波分散30min后，即可。
72.精磨研磨液的制备方法为：按重量份数计，将28份w7氧化铝磨料、12份甘油、15份苯甲酸钠、1份聚丙烯酸钠、3份二乙醇单异丙醇胺和41份去离子水混合均匀，经超声波分散30min后，即可。
73.对比例1
74.称取255g醋酸钡,搅拌溶解于2l冰醋酸中,将340g钛酸四丁酯搅拌溶解于1.5l无水乙醇中,分别搅拌均匀,直到均形成澄清透明的溶胶。在室温下将钛酸四丁酯溶胶倾倒在醋酸钡溶胶中,搅拌30min,形成均匀透明的混合溶胶。溶胶在90℃时回流2h,冷却,得透明的钛酸钡溶胶。将钛酸钡溶胶在90
‑
100℃下真空干燥8
‑
ioh,得到黄色的钛酸钡凝胶颗粒。经研磨,过500目筛,得白色的干凝胶粉末。干凝胶粉末在500℃时锻烧2h,即得钛酸钡陶瓷粉末。
75.将钛酸钡基陶瓷粉末90份、mno2份、sio
2 3份、聚乙烯醇缩丁醛3份和六偏磷酸钠2份进行混合，加入到100份无水乙醇中，球磨，将磨好的浆料真空脱泡，过400
‑
600目筛网。将浆料进行流延成型，流延成型过程中，在流延机上进行刮片成0.1
‑
4mm厚的基片素坯，脱模，排胶，将素坯基片置于排胶炉中，于300℃下，排胶2h，然后升温至500℃，排胶3h，再升温至700℃，排胶4h。将排胶后的素坯基片送入烧结炉中，在1200℃下烧结2h，退火，切割，得所需尺寸的陶瓷基片。本对比例的陶瓷基片厚度为0.3mm，翘曲达到了0.5mm，且表面凹凸不平，有划痕。
76.对上述实施例1
‑
4和对比例1的陶瓷基片进行各项性能进行检测，其检测结果见下表1。
[0077] 实施例1实施例2实施例3实施例4对比例1热导率(w/m﹒k)6.47.27.46.93.6莫氏硬度7.77.88.28.05.5抗弯强度(mpa)219245254238168居里温度tc(℃)134132135134120介电损耗(1khz，tc)0.050.050.030.040.12介电损耗(1khz，25℃)0.0080.0060.0030.0050.02介电常数(1khz，tc)19081878201319561682介电常数(1khz，120℃)18921886192519061682介电常数(1khz，80℃)18281842185718361516介电常数(1khz，25℃)15981603163516191296介电常数(1khz，0℃)15741563157915561190表面粗糙度(μm)0.120.10.090.13/
[0078]
从表1的检测结果可以看出，本发明的陶瓷基片的居里温度提高，并且具有更佳优异的介电性能，并且在较宽的温度范围内均有较高的介电常数和较低的介电损耗，还具有优良的抗弯强度和热导性，提高了本发明陶瓷基片的散热性能。
[0079]
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
[0080]
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。