用于与特定气氛接触的功能器件及功能设备的制作方法

文档序号:32063814发布日期:2022-11-05 00:06阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种用于与特定气氛接触的功能器件,其特征在于,所述功能器件为呈敞口式结构的功能器件,所述呈敞口式结构的功能器件包括但不限于管路、炉衬、炉胆、坩埚或者反应器;所述功能器件的材质为α-单晶氧化铝;所述特定气氛包括单质气体、化合物气体或者水蒸气;所述单质气体包括氟气、氯气或者溴气,所述化合物气体包括氟化氢、氯化氢、溴化氢、硫化氢、碘化氢或者氨气。2.根据权利要求1所述的功能器件,其特征在于,在所述功能器件的敞口端的外周壁上设置有卡槽结构;所述卡槽结构内设置有卡环,且所述卡环的边缘超出呈敞口式结构的功能器件的外周壁形成连接边沿,以用于外接部件连接。3.根据权利要求1所述的功能器件,其特征在于,所述功能器件为呈敞口式结构的功能器件时,所述功能器件还包括:密封端盖,具有与所述功能器件的敞口端面接触的第一端面和/或与所述功能器件的敞口的外周壁或内周壁接触的第二端面;第一橡胶密封环和/或第二橡胶密封环,各自对应设置于所述第一端面或所述第二端面上,以密封各自所在的所述功能器件的敞口端面和/或敞口的外周壁或内周壁。4.一种功能设备,其特征在于,包括如权利要求1至3中任一项所述的功能器件。

技术总结
本申请涉及工业腐蚀性和/或氧化性环境中应用的功能设备技术领域,公开一种用于与特定气氛接触的功能器件,所述功能器件为用于与含有腐蚀性气体和/或氧化性气体的特定气氛接触的器件,所述功能器件的材质为α-单晶氧化铝或者高纯烧结氧化铝;其中,所述高纯烧结氧化铝是指氧化铝含量达到98%或其以上。功能器件的材质为α-单晶氧化铝或者高纯烧结氧化铝,具有很好的耐腐蚀性和耐氧化性,能够与含有腐蚀性和/或氧化性元素的气氛直接接触,且不会被腐蚀和/或氧化,保证功能器件的功能实现。本申请还公开一种功能设备。申请还公开一种功能设备。申请还公开一种功能设备。


技术研发人员:张韬懿 陈博昊 王平安 李承 何昊东 计红艳 张军安
受保护的技术使用者:北京轩宇智能科技有限公司
技术研发日:2021.09.22
技术公布日:2022/11/4
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