所述总气管12，每条所述总气管12均连接第二电动阀门13，所述第二电动阀门13通过气管连接抽风机14，所述第二电动阀门13与抽风机14之间设有第一压力传感器15，所述抽风机14通过气管分别连接第三电动阀门16、第四电动阀门18与电磁阀20，所述第三电动阀门16连接输气管道17，所述第四电动阀门18通过气管连接高空排放口 19，所述电磁阀20通过气管分别连接第一气体检测装置21与所述输气管道17，所述输气管道17上设有气体流量计22 ;所述第三电动阀门16与第四电动阀门18前均设有温度传感器23，用于检测气管内温度，如果温度过高容易使气体爆炸，发生危险。
[0025]所述第一气体检测装置21检测管道内的CO、02、CH4, H2四种气体的含量，从而得出氧气的浓度，当氧浓度高于4%时，变频器抽风机14降低转速；在改变转速后，氧浓度依然高于4%时，所述第四电动阀门18开启，将超标气体高空排放；当氧浓度低于4%时，第三电动阀门16开启，合格气体进入输气管道17。
[0026]如图3所示，所述气体输送系统包括连接所述输气管道17的第五电动阀门2418，所述第五电动阀门24通过气管连接喷淋塔25，用于净化气体，所述喷淋塔25的前后两端均设有阀门，用于保护与控制喷淋塔25，所述喷淋塔25与第二气体检测装置26均设有旁通气道，所述旁通气道上均设有旁通阀27，当主气管中的压力过高时旁通阀27打开，缓解主气管内压力，起到保护主气管的作用；所述第五电动阀门24与所述喷淋塔25之间设有第一放散管28，用于对下游设备进行超压保护，对压力较高，流速较快的气体进行放散，放散管上应设置阻火器5。
[0027]所述喷淋塔25通过气管连接第二气体检测装置26，所述第二气体检测装置26的前后两端均设有阀门，用于控制气体进入第二气体检测装置26，所述第二气体检测装置26通过气管连接加压风机，所述加压风机通过变频柜系统控制，所述加压风机通过气管依次连接第二放散管31、气体流量传感器32、第二压力传感器33与所述送气管34，气体在风机加压后，压力为5KP，然后气体通过送气管34进入热电厂或其他用气场所，当管道压力增加至7KP时，认为用气场所出现故障，那么变频柜系统降低加压风机的转速，以保障安全。
[0028]本发明实时监测并控制废气中氧气的浓度，防止了大量的一氧化碳与氧气混合而发生爆炸的情况，保障了工人的安全与财产损失，同时二次利用了碳化硅冶炼工艺中产生的大量的一氧化碳废气，并将该气体输送到各用气部门，同时实时监测管内压力，当管道压力过高时，通过降低加压风机转速，实现降低管道内压力，以保障整个系统的安全。
[0029]本发明不局限于上述最佳实施方式，任何人在本发明的启示下都可得出其他各种形式的产品，但不论在其形状或结构上作任何变化，凡是具有与本申请相同或相近似的技术方案，均落在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种碳化硅冶炼工艺的废气回收系统，其特征在于，包括: 分管废气回收系统，用于过滤并收集各个分支管路的废气，同时检测氧气浓度； 总管废气回收系统，集中各个所述分管废气回收系统收集的废气，通过检测气体中氧气的浓度，控制废气高空排放或者进入输气管道； 气体输送系统，收集所述输气管道传输的废气，然后过滤并检测气体浓度后通过送气管输送到用气单位。
2.根据权利要求1所述的废气回收系统，其特征在于:所述分管废气回收系统包括连接碳化硅电阻炉的分气管，所述分气管连接回收阀门，所述回收阀门通过气管连接精细过滤器，所述精细过滤器通过气管分别连接第一电动阀门与气水分离器，所述气水分离器通过气管分别连接自动排液器与抽气泵，所述抽气泵通过气管连接氧气分析仪，所述第一电动阀门固定连接总气管。
3.根据权利要求2所述的废气回收系统，其特征在于:所述精细过滤器与气水分离器之间设有阻火器。
4.根据权利要求1所述的废气回收系统，其特征在于:总管废气回收系统包括若干所述总气管，每条所述总气管均连接第二电动阀门，所述第二电动阀门通过气管连接抽风机，所述抽风机通过气管分别连接第三电动阀门、第四电动阀门与电磁阀，所述第三电动阀门连接输气管道，所述第四电动阀门通过气管连接高空排放口，所述电磁阀通过气管分别连接气体检测装置与所述输气管道。
5.根据权利要求4所述的废气回收系统，其特征在于:所述第二电动阀门与抽风机之间设有第一压力传感器。
6.根据权利要求4所述的废气回收系统，其特征在于:所述第三电动阀门与第四电动阀门前均设有温度传感器。
7.根据权利要求4所述的废气回收系统，其特征在于:所述输气管道上设有气体流量i+o
8.根据权利要求1所述的废气回收系统，其特征在于:所述气体输送系统包括连接所述输气管道的第五电动阀门，所述第五电动阀门通过气管连接喷淋塔，所述第五电动阀门与所述喷淋塔之间设有第一放散管，所述喷淋塔通过气管连接第二气体检测装置，所述第二气体检测装置通过气管连接加压风机，所述加压风机通过气管依次连接第二放散管、气体流量传感器、第二压力传感器与所述送气管。
9.根据权利要求8所述的废气回收系统，其特征在于:所述喷淋塔与第二气体检测装置均设有旁通气道，所述旁通气道上均设有旁通阀。
【专利摘要】本发明涉及一种碳化硅冶炼工艺的废气回收系统包括分管废气回收系统，用于过滤并收集各个分支管路的废气，同时检测氧气浓度；总管废气回收系统，集中各个所述分管废气回收系统收集的废气，通过检测气体中氧气的浓度，控制废气高空排放或者进入输气管道；气体输送系统，收集所述输气管道传输的废气，然后过滤并检测气体浓度后通过送气管输送到用气单位。本发明实时监测并控制废气中氧气的浓度，防止了大量的一氧化碳与氧气混合而发生爆炸的情况，保障了工人的安全与财产损失，同时二次利用了碳化硅冶炼工艺中产生的大量的一氧化碳废气，并将该气体输送到各用气部门。
【IPC分类】C01B31-36, B01D50-00, C10K1-02
【公开号】CN104760957
【申请号】CN201510029854
【发明人】张利军, 李友民, 庞明俊, 杨军龙, 王霞
【申请人】北京均方理化科技研究所
【公开日】2015年7月8日
【申请日】2015年1月21日