一种四氯化硅节能汽化器的制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种四氯化硅节能汽化器，包括：汽化器壳体、氢气分布器和封闭式加热管；所述汽化器壳体的两个相对壁面的底端和顶端分别开设有四氯化硅入口和四氯化硅蒸汽出口；所述氢气分布器放置在所述汽化器壳体的底部，其上连接有连通至所述汽化器壳体外部的插入管，所述封闭式加热管纵向排布在所述汽化器壳体内；所述封闭式加热管的管口密闭，其管内插入有电加热棒，并在所述电加热棒与加热管管壳之间密封填充有导热油。本发明通过封闭式加热管的结构设计，不仅简化了加热操作，还避免加热大量导热油，有效降低了能耗，其加热接触面积大，温度均匀，给四氯化硅提高高效稳定的热源，综合性能优异，市场前景广阔。
【专利说明】
一种四氯化硅节能汽化器
技术领域
[0001]本发明涉及多晶硅生产设备领域，特别是涉及一种四氯化硅节能汽化器。
【背景技术】
[0002]近几年来，随着太阳能光伏产业的飞速发展，多晶硅作为太阳能电池板或组件的原材料常量也大幅增加，与此同时，多晶硅生产过程中的副产物四氯化硅也大幅增多，这对环境产生了巨大的压力，也为多晶硅生产的原料三氯氢硅的循环生成带来了困扰，而要实现四氯化硅到三氯氢硅的转化，首先就是要实现四氯化硅的汽化。因此，为了能够实现上述目的，四氯化硅必须先经过汽化处理。
[0003]现有四氯化硅汽化装置基本为卧式或立式，并采用电加热棒或U型换热管提供热源实现汽化的目的。但电加热棒存在接触面积小、温度不均匀，四氯化硅易出现湍流等缺点，而采用U型换热管，以导热油为换热介质，需要另外设置导热油存储箱，分别与U型换热管的入口和出口连接，工艺复杂，且导热油的加热量大，能量成本高。
【发明内容】
[0004]本发明主要解决的技术问题是提供一种一种四氯化硅节能汽化器，能够解决现有四氯化硅汽化器存在的上述缺点。
[0005]为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是:提供一种四氯化硅节能汽化器，包括:汽化器壳体、氢气分布器和封闭式加热管;所述汽化器壳体的两个相对壁面的底端和顶端分别开设有四氯化硅入口和四氯化硅蒸汽出口；所述氢气分布器放置在所述汽化器壳体的底部，其上连接有连通至所述汽化器壳体外部的插入管，所述封闭式加热管纵向排布在所述汽化器壳体内；所述封闭式加热管的管口密闭，其管内插入有电加热棒，并在所述电加热棒与加热管管壳之间密封填充有导热油。
[0006]在本发明一个较佳实施例中，所述导热油在所述封闭式加热管内的填充量占所述封闭式加热管体积的60?80%，且所述电加热棒浸没在所述导热油内。
[0007]在本发明一个较佳实施例中，所述电加热棒位于所述封闭式加热管的管口一端带有与加热电源连接的电极。
[0008]在本发明一个较佳实施例中，所述封闭式加热管为U型管，所述U型管的至少一个管壁内带有电加热棒。
[0009]在本发明一个较佳实施例中，所述氢气分布器为倒锥形结构，其锥形面上均匀分布有气孔。
[0010]在本发明一个较佳实施例中，所述氢气分布器的个数为I?3个。
[0011]在本发明一个较佳实施例中，所述插入管位于所述汽化器壳体外部的端口上连接有氢气缓冲罐。
[0012]本发明的有益效果是:本发明一种四氯化硅节能汽化器，结构简单，设计合理，其通过封闭式加热管的结构设计，不仅简化了加热操作，还避免加热大量导热油，有效降低了能耗，其加热接触面积大，温度均勾，给四氯化娃提高高效稳定的热源，综合性能优异，市场前景广阔。
【附图说明】
[0013]图1是本发明一种四氯化硅节能汽化器一较佳实施例的立体结构示意图；
附图中各部件的标记如下:1.汽化器壳体，2.氢气分布器，3.封闭式加热管，4.四氯化娃入口，5.四氯化娃蒸汽出口，6.插入管，7.氢气缓冲罐，8.电加热棒，9.导热油，10.电极。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[00?5]请参阅图1，本发明实施例包括:
实施例1
一种四氯化娃节能汽化器，包括:汽化器壳体1、氢气分布器2和封闭式加热管3。
[0016]其中，所述汽化器壳体I的两个相对壁面的底端和顶端分别开设有四氯化硅入口4和四氯化硅蒸汽出口 5。
[0017]所述氢气分布器2为倒锥形结构，其锥形面上均匀分布有气孔，用于将氢气向下喷出，以与四氯化硅气体成分混合，该氢气分布器2的个数为I?3个，均匀放置在汽化器壳体I的底部，其底端与一根用于提供氢气流的插入管6连通，该插入管6的另一端伸出汽化器壳体I的外部，并连接有氢气缓冲罐7，以使氢气以均匀平缓的速度流入氢气分布器2内。
[0018]所述封闭式加热管3纵向排布在汽化器壳体I内，其管口密闭，管内插入有电加热棒8，并在电加热棒8与加热管管壳之间密封填充有导热油9，导热油9的填充量占所述封闭式加热管体积的60?80%，一方面使电加热棒浸没在导热油内，另一方面防止导热油受热胀破加热管。电加热棒8位于封闭式加热管3的管口一端带有电极10，用于与加热电源连接。
[0019]上述封闭式加热管3为U型管，且U型管的一个管臂内带有电加热棒8。
[0020]实施例2
与实施例1的区别在于，所述封闭式加热管3的两个管臂上均带有电加热棒8。
[0021]以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种四氯化娃节能汽化器，其特征在于，包括:汽化器壳体、氢气分布器和封闭式加热管;所述汽化器壳体的两个相对壁面的底端和顶端分别开设有四氯化硅入口和四氯化硅蒸汽出口；所述氢气分布器放置在所述汽化器壳体的底部，其上连接有连通至所述汽化器壳体外部的插入管，所述封闭式加热管纵向排布在所述汽化器壳体内；所述封闭式加热管的管口密闭，其管内插入有电加热棒，并在所述电加热棒与加热管管壳之间密封填充有导热油。2.根据权利要求1所述的四氯化硅节能汽化器，其特征在于，所述导热油在所述封闭式加热管内的填充量占所述封闭式加热管体积的60?80%，且所述电加热棒浸没在所述导热油内。3.根据权利要求1或2所述的四氯化硅节能汽化器，其特征在于，所述电加热棒位于所述封闭式加热管的管口一端带有与加热电源连接的电极。4.根据权利要求1或2所述的四氯化硅节能汽化器，其特征在于，所述封闭式加热管为U型管，所述U型管的至少一个管臂内带有电加热棒。5.根据权利要求1所述的四氯化硅节能汽化器，其特征在于，所述氢气分布器为倒锥形结构，其锥形面上均匀分布有气孔。6.根据权利要求1或5所述的四氯化硅节能汽化器，其特征在于，所述氢气分布器的个数为I?3个。7.根据权利要求1所述的四氯化硅节能汽化器，其特征在于，所述插入管位于所述汽化器壳体外部的端口上连接有氢气缓冲罐。
【文档编号】C01B33/107GK106082236SQ201610688765
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年8月19日 公开号201610688765.8, CN 106082236 A, CN 106082236A, CN 201610688765, CN-A-106082236, CN106082236 A, CN106082236A, CN201610688765, CN201610688765.8
【发明人】施兆武
【申请人】太仓市金锚化工有限公司