一种硅芯炉拆炉取料的工装的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及多晶硅生产领域，特别是涉及一种多晶硅生产中硅芯料拆炉取料的工装。
【背景技术】
[0002]多晶硅具有半导体性质，是极为重要的优良半导体材料，电子工业中广泛用于制造半导体收音机、录音机、电冰箱、彩电、录像机、电子计算机等的基础材料，是生产单晶硅的直接原料，是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料。在太阳能利用上，单晶硅和多晶硅也发挥着巨大的作用，国际上多晶硅生产主要的传统工艺有:改良西门子法、硅烷法和流化床法。目前被广泛采用的德国西门子公司于1954年发明的多晶硅制造方法(也称为西门子法):采用高纯三氯氢硅和高纯氢气按照一定的配比混合在一起构成原料混合气体，通入还原反应器中，在加热的高纯硅芯上不断沉积，使硅芯的直径逐渐变粗而形成多晶硅棒。
[0003]西门子法中运用到的硅芯主要是依靠硅芯炉拉制而成，硅芯炉的高频电源加热将娃芯料恪化，通过拉制过程将娃芯料拉制成为娃芯。娃芯料直径为110mm-125mm，装夹于不锈钢料座内，不锈钢料座下端轴套套在硅芯炉下轴升降杆顶端。多晶硅的熔化温度是1410度，拉制完毕断电后硅芯料尾料处于红热状态，因高温不能立即取出，常规情况下需要冷却I小时左右才能采用一般手套抓取不锈钢料座的下端轴套，将不锈钢料座及料座内的硅芯料尾料取出，这时硅芯料的温度仍然会很高，不能直接触碰，料座重量2.8公斤，硅芯尾料重量1.5公斤-2.5公斤，合计不锈钢料座和硅芯料尾料的重量在5公斤左右。这种情况下硅芯拉制普遍采用耐高温手套或简易工具夹持取料，目的为提高硅芯炉的生产效率，节约拆炉时间。但这些方式都存在较大的安全隐患。耐高温手套存在使用极限和和使用次数的缺陷，一双手套根据使用频率可使用5天-15天时间，随着使用次数的增加，手套会出现破损，失去隔热作用，导致烫伤；另外使用简易工具夹持，会因为手操作时的力量状态和灵活状态，以及娃芯料尾料的重量差异而存在跌落不镑钢料座和娃芯料尾料的风险，从而导致砸伤或烫伤。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述问题，提出一种硅芯炉拆炉取料的工装。本实用新型避免了硅芯炉拆炉过程可能引起的砸伤或烫伤，并有效节约了拆炉时间，提尚娃芯拉制的生广效率。
[0005]本实用新型采用以下技术方案来实现:
[0006]一种硅芯炉拆炉取料的工装，其特征在于:包括上圆盘、下圆盘、支撑脚和六根支撑杆，所述上圆盘通过六根支撑杆与下圆盘固定连接，所述支撑脚固定在下圆盘上，所述上圆盘设有缺口 I，下圆盘设有缺口 II，所述缺口 I和缺口 II的开口方向一致，所述缺口 I和缺口 II之间形成硅芯炉下轴升降杆套入腔，所述上圆盘上设有把手。
[0007]所述支撑杆为不锈钢管，不锈钢管的直径为10mm。
[0008]所述支撑脚为4根，4根支撑脚呈正方形直立。
[0009]所述把手为2个，2个把手对称设置在上圆盘上，把手的长为120mm，把手高为10mm0
[0010]所述把手倾斜设置在上圆盘上，倾斜角度为75度。
[0011]本实用新型与现有技术相比，其优点在于:
[0012]1、本实用新型通过使用硅芯炉拆炉取料的工装，硅芯炉停炉时，不锈钢料座及热烫尾料处于下轴升降的顶端，将取料工装套入下轴升降杆，控制下轴下降，下轴在下降过程中，装着热烫尾料的料座会由工装圆柱架下端撑托，下轴继续下降，装热烫尾料的料座就脱离下轴，使用工装顶部手柄，将尾料和料座取出。与现有技术相比，能快速拆炉，保证硅芯炉的有效生产时间；避免操作失误或手套破损带来的安全事故。
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型结构示意图；
[0014]图中标记:1、上圆盘，2、下圆盘，3、支撑脚，4、支撑杆，5、把手。
【具体实施方式】
[0015]下面结合说明书附图对本实用新型进行进一步的说明:
[0016]实施例1:
[0017]一种硅芯炉拆炉取料的工装，包括上圆盘1、下圆盘2、支撑脚3和六根支撑杆4，所述上圆盘I通过六根支撑杆4与下圆盘2固定连接，所述支撑脚3固定在下圆盘2上，所述上圆盘I设有缺口 I，下圆盘设有缺口 II，所述缺口 I和缺口 II的开口方向一致，所述缺口I和缺口 II之间形成硅芯炉下轴升降杆套入腔，所述上圆盘I上设有把手5。
[0018]本实用新型中，所述支撑杆4为不锈钢管，不锈钢管的直径为10_。
[0019]本实用新型中，所述支撑脚3为4根，4根支撑脚3呈正方形直立。
[0020]本实用新型中，所述把手5为2个，2个把手5对称设置在上圆盘I上，把手5的长为120_，把手高5为100mm。
[0021]实施例2:
[0022]一种硅芯炉拆炉取料的工装，包括上圆盘1、下圆盘2、支撑脚3和六根支撑杆4，所述上圆盘I通过六根支撑杆4与下圆盘2固定连接，所述支撑脚3固定在下圆盘2上，所述上圆盘I设有缺口 I，下圆盘设有缺口 II，所述缺口 I和缺口 II的开口方向一致，所述缺口I和缺口 II之间形成硅芯炉下轴升降杆套入腔，所述上圆盘I上设有用于把手5。
[0023]本实用新型中，所述支撑杆4为不锈钢管，不锈钢管的直径为10_。
[0024]本实用新型中，所述支撑脚3为4根，4根支撑脚3呈正方形直立。
[0025]本实用新型中，所述把手5为2个，2个把手5对称设置在上圆盘I上，把手5的长为120mm，把手5的高为100mm。
[0026]本实用新型中，所述把手5倾斜设置在上圆盘I上，倾斜角度为75度。
【主权项】
1.一种硅芯炉拆炉取料的工装，其特征在于:包括上圆盘(1)、下圆盘(2)、支撑脚(3)和六根支撑杆(4 )，所述上圆盘(I)通过六根支撑杆(4 )与下圆盘(2 )固定连接，所述支撑脚(3)固定在下圆盘(2)上，所述上圆盘(I)设有缺口 I，下圆盘设有缺口 II，所述缺口 I和缺口 II的开口方向一致，所述缺口 I和缺口 II之间形成硅芯炉下轴升降杆套入腔，所述上圆盘(I)上设有把手(5)。
2.根据权利要求1所述的一种硅芯炉拆炉取料的工装，其特征在于:所述支撑杆(4)为不锈钢管，不锈钢管的直径为10mm。
3.根据权利要求1所述的一种硅芯炉拆炉取料的工装，其特征在于:所述支撑脚(3)为4根，4根支撑脚(3)呈正方形直立。
4.根据权利要求1所述的一种硅芯炉拆炉取料的工装，其特征在于:所述把手(5)为2个，2个把手(5)对称设置在上圆盘(I)上，把手(5)的长为120mm，把手(5)的高为10mm0
5.根据权利要求4所述的一种硅芯炉拆炉取料的工装，其特征在于:所述把手(5)倾斜设置在上圆盘(I)上，倾斜角度为75度。
【专利摘要】本实用新型涉及一种硅芯炉拆炉取料的工装，包括上圆盘、下圆盘、支撑脚和六根支撑杆，所述上圆盘通过六根支撑杆与下圆盘固定连接，所述支撑脚固定在下圆盘上，所述上圆盘设有缺口Ⅰ，下圆盘设有缺口Ⅱ，所述缺口Ⅰ和缺口Ⅱ的开口方向一致，所述缺口Ⅰ和缺口Ⅱ之间形成硅芯炉下轴升降杆套入腔，所述上圆盘上设有把手。本实用新型避免了硅芯炉拆炉过程可能引起的砸伤或烫伤，并有效节约了拆炉时间，提高硅芯拉制的生产效率。
【IPC分类】C01B33-035
【公开号】CN204529327
【申请号】CN201520191326
【发明人】陈彬, 李斌, 甘居富, 余昭辉, 肖鑫, 朱彬
【申请人】四川永祥多晶硅有限公司
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2015年4月1日