技术总结
一种电子材料用清洗剂，包括如下重量比组分：烷基磷酸酯盐5‑8％、脂肪酸聚氧乙烯酯4‑6％、油酸三乙醇胺0.5‑0.8％、聚乙二醇2‑4％、丙二醇2‑4％，其余为去离子水补至100％。本发明一种电子材料用清洗剂以水基为溶剂，以阴离子表面活性剂为主要成分，添加聚乙二醇、丙二醇作为潜溶剂，对环境的污染降低，更环保，并且清洗效力更佳，可对ULSI衬底、电子玻璃等表面上的金属离子、有机、无机杂质和固体粒子进行清洗，同时清洗后的电子材料不会锈蚀。
技术研发人员：蔡泽;蔡洛明;蔡文卿
受保护的技术使用者：洛阳新巨能高热技术有限公司
文档号码：201611073952
技术研发日：2016.11.29
技术公布日：2017.06.06