1.一种由3,5-二羟基环己酮合成的可降解型光刻胶产酸树脂单体,其特征在于,所述树脂单体包括以下结构通式:
其中,r1包括c1~c12烷基、杂烷基或连接键,r2和r4分别包括氢、卤素、c1~c12烷基或杂烷基,r3为烷基,p1、p2和p3分别包括烷基或杂烷基。
2.根据权利要求1所述的由3,5-二羟基环己酮合成的可降解型光刻胶产酸树脂单体,其特征在于,所述r1为含氟烷基。
3.根据权利要求2所述的由3,5-二羟基环己酮合成的可降解型光刻胶产酸树脂单体,其特征在于,所述树脂单体包括以下结构:
4.一种根据权利要求1-3任一所述的由3,5-二羟基环己酮合成的可降解型光刻胶产酸树脂单体的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
s1,3,5-二羟基环己酮ⅰ和丙烯酸类化合物在碱性条件下反应,纯化得到中间体ⅱ;
s2,将所述中间体ⅱ和含羟基的丙烯酸类化合物在酸催化条件下,形成含有缩醛结构的中间体ⅲ;
s3,所述中间体ⅲ与磺酸盐经酯化反应形成中间体ⅳ;
s4,所述中间体ⅳ与卤化锍反应形成树脂单体ⅴ。
5.根据权利要求4所述的由3,5-二羟基环己酮合成的可降解型光刻胶产酸树脂单体的制备方法,其特征在于,所述3,5-二羟基环己酮ⅰ、丙烯酸类化合物和碱的摩尔比为1:(0.9~1.1):(1.5~3),所述中间体ⅱ和含羟基的丙烯酸类化合物的摩尔比为1:(0.9~1.2),所述中间体ⅲ和磺酸盐的摩尔比为1:(1~1.2),所述中间体ⅳ和卤化锍的摩尔比为1:(1~1.2)。
6.根据权利要求5所述由3,5-二羟基环己酮合成的可降解型光刻胶产酸树脂单体的制备方法,其特征在于,所述3,5-二羟基环己酮ⅰ、丙烯酸类化合物和碱的摩尔比为1:1:2,所述中间体ⅱ和含羟基的丙烯酸类化合物的摩尔比为1:1,所述中间体ⅲ和磺酸盐的摩尔比为1:1,所述中间体ⅳ和卤化锍的摩尔比为1:1。
7.根据权利要求4所述的由3,5-二羟基环己酮合成的可降解型光刻胶产酸树脂单体的制备方法,其特征在于,s1中,所述丙烯酸类化合物包括丙烯酸酐、丙烯酰氯、甲基丙烯酸酐或甲基丙烯酰氯中的一种。