一种由3,5-二羟基环己酮合成的可降解型光刻胶产酸树脂单体及其制备方法与流程

文档序号:22325011发布日期:2020-09-25 17:53阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种由3,5-二羟基环己酮合成的可降解型光刻胶产酸树脂单体,其特征在于,所述树脂单体包括以下结构通式:

其中,r1包括c1~c12烷基、杂烷基或连接键,r2和r4分别包括氢、卤素、c1~c12烷基或杂烷基,r3为烷基,p1、p2和p3分别包括烷基或杂烷基。

2.根据权利要求1所述的由3,5-二羟基环己酮合成的可降解型光刻胶产酸树脂单体,其特征在于,所述r1为含氟烷基。

3.根据权利要求2所述的由3,5-二羟基环己酮合成的可降解型光刻胶产酸树脂单体,其特征在于,所述树脂单体包括以下结构:

4.一种根据权利要求1-3任一所述的由3,5-二羟基环己酮合成的可降解型光刻胶产酸树脂单体的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

s1,3,5-二羟基环己酮ⅰ和丙烯酸类化合物在碱性条件下反应,纯化得到中间体ⅱ;

s2,将所述中间体ⅱ和含羟基的丙烯酸类化合物在酸催化条件下,形成含有缩醛结构的中间体ⅲ;

s3,所述中间体ⅲ与磺酸盐经酯化反应形成中间体ⅳ;

s4,所述中间体ⅳ与卤化锍反应形成树脂单体ⅴ。

5.根据权利要求4所述的由3,5-二羟基环己酮合成的可降解型光刻胶产酸树脂单体的制备方法,其特征在于,所述3,5-二羟基环己酮ⅰ、丙烯酸类化合物和碱的摩尔比为1:(0.9~1.1):(1.5~3),所述中间体ⅱ和含羟基的丙烯酸类化合物的摩尔比为1:(0.9~1.2),所述中间体ⅲ和磺酸盐的摩尔比为1:(1~1.2),所述中间体ⅳ和卤化锍的摩尔比为1:(1~1.2)。

6.根据权利要求5所述由3,5-二羟基环己酮合成的可降解型光刻胶产酸树脂单体的制备方法,其特征在于,所述3,5-二羟基环己酮ⅰ、丙烯酸类化合物和碱的摩尔比为1:1:2,所述中间体ⅱ和含羟基的丙烯酸类化合物的摩尔比为1:1,所述中间体ⅲ和磺酸盐的摩尔比为1:1,所述中间体ⅳ和卤化锍的摩尔比为1:1。

7.根据权利要求4所述的由3,5-二羟基环己酮合成的可降解型光刻胶产酸树脂单体的制备方法,其特征在于,s1中,所述丙烯酸类化合物包括丙烯酸酐、丙烯酰氯、甲基丙烯酸酐或甲基丙烯酰氯中的一种。


技术总结
本发明公开了一种由3,5‑二羟基环己酮合成的可降解型光刻胶产酸树脂单体及其制备方法,树脂单体包括以下结构通式为其中,R1包括C1~C12烷基、杂烷基或连接键,R2和R4分别包括氢、卤素、C1~C12烷基或杂烷基,R3为烷基,P1、P2和P3分别包括烷基或杂烷基,树脂单体由3,5‑二羟基环己酮经过酯化、缩醛化和酯化等反应形成,含有该树脂单体的光刻胶具有更好的耐刻蚀性能,本发明改善了显影后图形的边缘粗糙度,提高了光刻图案的分辨率,且该树脂单体制备方法简单。

技术研发人员:邵严亮;傅志伟;贺宝元;潘新刚;薛富奎;汪进波
受保护的技术使用者:徐州博康信息化学品有限公司
技术研发日:2020.06.16
技术公布日:2020.09.25
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