一种氧化铝抛光液的制备方法与流程

文档序号:11469960阅读:363来源:国知局

本发明涉及抛光的技术领域,特别涉及一种氧化铝抛光液。



背景技术:

氧化铝抛光液主要是针对大规模集成电路、发光二极管(led)蓝宝石衬底以及手机、手表等蓝宝石盖板的抛光,由于氧化铝粉末的硬度大,抛光时容易对蓝宝石衬底或者盖板造成划伤,使得蓝宝石衬底或盖板的良率下降。



技术实现要素:

本发明的目的是提供一种氧化铝抛光液,解决上述现有技术问题中的一个或者多个。

本发明提供一种氧化铝抛光液的制备方法,包括以下步骤:

s1、将重量百分比为0.2%的koh固体加入去离子水中,进行搅拌溶解;

s2、将按重量百分比为0.4%的聚丙烯钠和重量百分比为0.2%的分散剂溶于s2的碱溶液中,通过超声进行分散;

s3、将重量百分比10%的氧化铝粉末加入s2中的水溶液中,使用搅拌棒进行搅拌,得到所述氧化铝抛光液。

在一些实施方式中,分散剂为黄原胶、硅藻酸钠或者cmc中的一种或者多种。所选的分散剂为优选的,其分散效果佳,氧化铝粉末在分散剂中能48h不沉降,48h后沉降,也可通过摇晃使其分散均匀。

在一些实施方式中,氧化铝粉末的粒径为3微米。粒径为优选的粒径,过小的粒径,其抛光速率慢,过大的粒径也容易对蓝宝石衬底造成划伤。

具体实施方式

下面的实施案例,对本发明进行进一步详细的说明。

实施案例1:

s1、将重量百分比为0.2%的koh固体加入去离子水中,进行搅拌溶解;

s2、将按重量百分比为0.4%的聚丙烯钠和重量百分比为0.2%的黄原胶溶于s2的碱溶液中,通过超声进行分散;

s3、将重量百分比10%,粒径为3微米的氧化铝粉末加入s2中的水溶液中,使用搅拌棒进行搅拌,得到所述氧化铝抛光液。

实施案例2:

s1、将重量百分比为0.2%的koh固体加入去离子水中,进行搅拌溶解;

s2、将按重量百分比为0.4%的聚丙烯钠和重量百分比为0.2%的cmc溶于s2的碱溶液中,通过超声进行分散;

s3、将重量百分比10%,粒径为3微米的氧化铝粉末加入s2中的水溶液中,使用搅拌棒进行搅拌,得到所述氧化铝抛光液。

实施案例3:

s1、将重量百分比为0.2%的koh固体加入去离子水中,进行搅拌溶解;

s2、将按重量百分比为0.4%的聚丙烯钠和重量百分比为0.2%的硅藻酸钠溶于s2的碱溶液中,通过超声进行分散;

s3、将重量百分比10%,粒径为3微米的氧化铝粉末加入s2中的水溶液中,使用搅拌棒进行搅拌,得到所述氧化铝抛光液。

性能测试:抛光实验条件为采用法国presi公司的mecatech334型号抛光机进行抛光试验,抛光工件为c-向蓝宝石基片,抛光压力为2.80dan,下盘转速为90rpm,上盘转速为60rpm,抛光液流量为20ml/min,选用suba600型抛光垫,其表面为聚氨酯材料。

表一:在相同的条件下,将实施例中的氧化铝抛光液分别进行抛光实验,一共抛3车,每车2小时,抛光速率如下表

本发明提供的实施方案,该氧化铝抛光液对蓝宝石的抛光速率快,且抛完后得到的蓝宝石表面质量高。

以上表述仅为本发明的优选方式,应当指出,对本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些也应视为发明的保护范围之内。



技术特征:

技术总结
本发明公开一种氧化铝抛光液的制备方法,包括以下步骤:S1、将重量百分比为0.2%的KOH固体加入去离子水中,进行搅拌溶解;S2、将按重量百分比为0.4%的聚丙烯钠和重量百分比为0.2%的分散剂溶于S2的碱溶液中,通过超声进行分散;S3、将重量百分比10%的氧化铝粉末加入S2中的水溶液中,使用搅拌棒进行搅拌,得到所述氧化铝抛光液。该氧化铝抛光液对蓝宝石的抛光速率快,且抛完后得到的蓝宝石表面质量高。

技术研发人员:黄美香
受保护的技术使用者:黄美香
技术研发日:2017.04.17
技术公布日:2017.08.22
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