专利名称：防静电光罩运输装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体运输设备，尤其涉及一种用于洁净室的移动式防静电光罩运输装置。
背景技术：
随着半导体制造技术的发展，对半导体的制造环境有了更高的要求，尤其在FAB(芯片制造代工厂)中，静电的存在对设备及制品的影响较为严重，对有些部件，如光罩等会造成致命的损坏。目前，考虑到FAB的实际情况以及成本的问题，在FAB中只对有需求且昂贵的设备安装去离子装置，在没有安装去离子装置的区域，仍然会对经过的光罩产生损伤。·[0004]因此，如何提供一种能够在光罩的运输途中对光罩进行防静电保护的防静电光罩运输装置是本领域的技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种防静电光罩运输装置，以解决光罩在运输过程中经过没有去静电环境而被静电损坏的问题。为解决上述技术问题，本实用新型提供的防静电光罩运输装置，包括带有车轮及扶手的车体、光罩放置盒、挡板、电源接口、指示灯以及去离子装置，所述去离子装置采用若干去离子风机，所述去离子风机设于所述车体的顶部，所述光罩放置盒设于所述车体内部，所述挡板设于所述光罩放置盒外侧并与所述车体连接。较佳地，所述去离子风机包括风扇、电离器以及高压发生器，所述高压发生器为所述电离器提供高压电源，所述风扇旋转产生的气流穿经所述电离器。较佳地，所述光罩放置盒能够相对于所述车体滑动，所述挡板下端与所述车体铰接，上端与所述车体可拆卸式连接。较佳地，所述车体内部含有导轨，所述光罩放置盒与所述导轨相对应的位置设有突起的滑块，所述滑块能够沿所述导轨滑动。较佳地，所述防静电光罩运输装置含有交流供电系统，所述交流供电系统包括整流电路、斩波电路以及逆变电路，所述电源接口连接所述整流电路的输入端，所述整流电路的输出端连接所述斩波电路的输入端，所述斩波电路的输出端连接所述逆变电路的输入端，所述逆变电路的输出端连接所述去离子风机。较佳地，所述交流供电系统还包括旁路，所述旁路连接于所述电源接口和所述去离子风机的输入端之间。较佳地，所述防静电光罩运输装置还含有内部供电系统，所述内部供电系统包括充电电路以及蓄电池，所述充电电路的输出端连接所述蓄电池，为所述蓄电池充电，所述蓄电池的输出端连接至所述斩波电路的输入端。较佳地，所述交流供电系统和内部供电系统由交流切换开关自动切换。[0014]较佳地，所述车体采用表面经过防静电喷塑处理的不锈钢材料。较佳地，所述防静电光罩运输装置的所有材料均采用防静电材料，所述车体底部设有防震部件，所述车轮采用防静电静音轮。本实用新型提供的防静电光罩运输装置，包括带有车轮及扶手的车体、光罩放置盒、挡板、电源接口、指示灯以及去离子装置，所述去离子装置采用若干去离子风机，所述去离子风机设于所述车体的顶部，所述光罩放置盒设于所述车体内部，所述挡板设于所述光罩放置盒外侧并与所述车体连接。本实用新型采用吹风式去离子方法，环境适应性强，离子发生量大，除静电速度快，实现装置内部全方位去离子效果，以确保在运输光罩经过没有进行静电防护的区域时光罩不被静电损坏。
图I为本实用新型一实施例的防静电光罩运输装置结构示意图；·[0018]图2为本实用新型一实施例的去离子风机结构图；图3为本实用新型一实施例的电路系统示意图；图4为本实用新型一实施例的整流电路电路图；图5为本实用新型一实施例的逆变电路电路图；图6为本实用新型一实施例的充电电路电路图；图中I-车体、2-光罩放置盒、3-挡板、4-电源接口、5-指示灯、6-去离子风机、60-风扇、61-电离器、62-高压发生器、63-离子风。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
做详细的说明。本实用新型提供一种防静电光罩运输装置，如图I所示，包括带有车轮及扶手的车体I、光罩放置盒2、挡板3、电源接口 4、指示灯5以及去离子装置，具体地，所述指示灯5用于故障和工作指示，方便操作人员查看工作状态，所述去离子装置采用若干去离子风机6，所述去离子风机6设于所述车体I的顶部，所述光罩放置盒2设于所述车体I内部，所述挡板3设于所述光罩放置盒2外侧并与所述车体I连接。本实用新型利用去离子风机6作为去离子装置，这种吹风式去离子方法，环境适应性强，离子发生量大，除静电速度快，离子平衡度好，以确保装置内部全方位去离子效果。具体地，如图2所示，所述去离子风机6包括风扇60、电离器61以及高压发生器62，所述高压发生器62为所述电离器61提供高压电源，所述风扇60旋转产生的气流(图中实线箭头方向为风扇旋转方向，虚线箭头方向为气流方向)穿经所述电离器61，具体地，所述气流经过所述电离器后变为离子风63，所述离子风63用于消除静电。较佳地，如图I所示，所述光罩放置盒2能够相对于所述车体I滑动，所述挡板3下端与所述车体I铰接，上端与所述车体I可拆卸式连接，具体地，所述车体I内部含有导轨(图中未示出)，所述光罩放置盒2与所述导轨相对应的位置设有突起的滑块20，所述滑块20能够沿所述导轨滑动，所述挡板3用于防止所述光罩放置盒2滑出，同时密封内部环境。这样，所述光罩放置盒2采用抽屉式设计，操作简捷，存储量高，另外，抽屉式设计能够多层叠加，具有良好的扩展性。较佳地，如图3所示，所述防静电光罩运输装置含有交流供电系统，所述交流供电系统包括整流电路、斩波电路以及逆变电路，所述电源接口连接所述整流电路的输入端，所述整流电路的输出端连接所述斩波电路的输入端，所述斩波电路的输出端连接所述逆变电路的输入端，所述逆变电路的输出端连接所述去离子风机。具体地，所述整流电路电路图如图4所示，将交流220V或380V电源通过6个半导体IGBT (绝缘栅双极性晶体管,英文全称Insulated Gate Bipolar Transistor)器件,组成单相或三相全波整理全控桥整流电路，将交流220V或380V经过全控桥转换成直流电，再将整流后的直流电压进行斩波、逆变，所述逆变电路电路图如图5所示，与所述整流电路相对应，将低电压变为高电压，把直流电变成交流电，最终转换为去离子风机6的可使用电源。较佳地，如图3所示，所述交流供电系统还包括旁路，所述旁路连接至所述电源接口和所述去离子风机的输入端之间，日常检修时，可以通过旁路来给装置供电。·较佳地，所述防静电光罩运输装置还含有内部供电系统，所述内部供电系统包括充电电路以及蓄电池，所述充电电路的输出端连接所述蓄电池，为所述蓄电池充电，所述蓄电池的输出端连接至所述斩波电路的输入端。具体地，所述充电电路电路图如图6所示，当蓄电池两端的电压和充电器两端的电压相等时，即两端电位差为O时，充电器停止给蓄电池充电，当蓄电池两端电压低于充电器两端电压时，充电器持续给蓄电池两端充电，直到两端电压相等。这样就能防止过充电或是欠充电的问题，起到充电保护的作用。另外，当装置在充电过程中，如果充电电流过大，装置中的逆变电路中的过电流检测电路，会输出信号，断开充电电路和装置的整个系统的供电，起到了过流保护，减少电源对装置的浪涌冲击。较佳地，所述交流供电系统和内部供电系统由交流切换开关自动切换，具体地，当系统交流供电时，交流切换开关自动闭合，装置供电自动切换为交流供电系统供电，为去离子风机6提供电源；当整个装置移动时，需断开交流电源，装置自动切换为蓄电池供电，经过斩波、逆变，实现给去离子风机6供电。较佳地，所述车体采用表面经过防静电喷塑处理的不锈钢材料。这样既保证了装置的结构坚固牢靠，运输光罩途中不受到挤压变形，同时表面经过防静电喷塑处理，使小车美观，并具有防尘防静电作用。较佳地，所述防静电光罩运输装置的所有材料均采用防静电材料，所述车体底部设有防震部件，所述车轮采用防静电静音轮，这样，能够很好的起到缓冲避震作用，保护光罩的安全。综上所述，本实用新型提供的防静电光罩运输装置，包括带有车轮及扶手的车体I、光罩放置盒2、挡板3、电源接口 4、指示灯5以及去离子装置，所述去离子装置采用若干去离子风机6，所述去离子风机6设于所述车体I的顶部，所述光罩放置盒2设于所述车体I内部，所述挡板3设于所述光罩放置盒2外侧并与所述车体I连接。本实用新型采用吹风式去离子方法，环境适应性强，离子发生量大，除静电速度快，实现装置内部全方位去离子效果，以确保在运输光罩经过没有进行静电防护的区域时光罩不被静电损坏。另外，本实用新型不仅适用于半导体制造行业中，对于其它行业中需要移动式的去静电装置也同样适用。[0037]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。·
权利要求1.一种防静电光罩运输装置，包括带有车轮及扶手的车体、光罩放置盒、挡板、电源接口、指示灯以及去离子装置，其特征在于，所述去离子装置采用若干去离子风机，所述去离子风机设于所述车体的顶部，所述光罩放置盒设于所述车体内部，所述挡板设于所述光罩放置盒外侧并与所述车体连接。
2.如权利要求I所述的防静电 光罩运输装置，其特征在于，所述去离子风机包括风扇、电离器以及高压发生器，所述高压发生器为所述电离器提供高压电源，所述风扇旋转产生的气流穿经所述电离器。
3.如权利要求I所述的防静电光罩运输装置，其特征在于，所述光罩放置盒能够相对于所述车体滑动，所述挡板下端与所述车体铰接，上端与所述车体可拆卸式连接。
4.如权利要求3所述的防静电光罩运输装置，其特征在于，所述车体内部含有导轨，所述光罩放置盒与所述导轨相对应的位置设有突起的滑块，所述滑块能够沿所述导轨滑动。
5.如权利要求I所述的防静电光罩运输装置，其特征在于，所述防静电光罩运输装置含有交流供电系统，所述交流供电系统包括整流电路、斩波电路以及逆变电路，所述电源接口连接所述整流电路的输入端，所述整流电路的输出端连接所述斩波电路的输入端，所述斩波电路的输出端连接所述逆变电路的输入端，所述逆变电路的输出端连接所述去离子风机。
6.如权利要求5所述的防静电光罩运输装置，其特征在于，所述交流供电系统还包括旁路，所述旁路连接于所述电源接口和所述去离子风机的输入端之间。
7.如权利要求5所述的防静电光罩运输装置，其特征在于，所述防静电光罩运输装置还含有内部供电系统，所述内部供电系统包括充电电路以及蓄电池，所述充电电路的输出端连接所述蓄电池，为所述蓄电池充电，所述蓄电池的输出端连接至所述斩波电路的输入端。
8.如权利要求7所述的防静电光罩运输装置，其特征在于，所述交流供电系统和内部供电系统由交流切换开关自动切换。
9.如权利要求I所述的防静电光罩运输装置，其特征在于，所述车体采用表面经过防静电喷塑处理的不锈钢材料。
10.如权利要求I、任意一项所述的防静电光罩运输装置，其特征在于，所述防静电光罩运输装置的所有材料均采用防静电材料，所述车体底部设有防震部件，所述车轮采用防静电静音轮。
专利摘要本实用新型涉及半导体运输设备，尤其涉及一种用于洁净室的移动式防静电光罩运输装置，包括带有车轮及扶手的车体、光罩放置盒、挡板、电源接口、指示灯以及去离子装置，所述去离子装置采用若干去离子风机，所述去离子风机设于所述车体的顶部，所述光罩放置盒设于所述车体内部，所述挡板设于所述光罩放置盒外侧并与所述车体连接。本实用新型采用吹风式去离子方法，环境适应性强，离子发生量大，除静电速度快，实现装置内部全方位去离子效果，以确保在运输光罩经过没有进行静电防护的区域时光罩不被静电损坏。
文档编号B62B3/00GK202758165SQ20122020013
公开日2013年2月27日 申请日期2012年5月4日 优先权日2012年5月4日
发明者倪立华, 许青峰, 杨立华, 李炯 申请人:上海华力微电子有限公司