专利名称：输送方向转换装置及悬浮输送系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及在例如从第一悬浮输送装置接受玻璃基板等的基板并向第二悬浮输 送装置送出时，将基板的输送方向从第一输送方向(第一悬浮输送装置的输送方向)向与 第一输送方向正交的第二输送方向(第二悬浮输送装置的输送方向)转换的输送方向转换 装置及使用该装置的悬浮输送系统。
背景技术：
近年来，在清洁输送的领域中，关于输送方向转换装置进行了各种开发。作为输送 方向转换装置的现有技术有下述专利文献1公开的技术。现有技术的输送方向转换装置配置在第一悬浮输送装置和第二悬浮输送装置之 间的转接区域，并具备方向转换装置主体。另外，在方向转换装置主体上设置有利用压缩空 气的压力使基板悬浮到基准的悬浮高度位置的多个悬浮单元。在各悬浮单元的上表面形成 有喷出压缩空气的喷嘴。在方向转换装置主体上配置有多个方向转换用辊单元。多个方向转换用辊单元从 第一悬浮输送装置接受基板，并将基板送出到第二悬浮输送装置。关于各方向转换用辊单 元的具体结构以下进行说明。在方向转换装置主体上对每个方向转换用辊设置有方向转换用辊箱。方向转换用 辊箱的上侧开口，在方向转换用辊箱的下表面形成有方向转换用吸引孔。另外，在方向转换 用辊箱的下表面设置有从方向转换用吸引孔吸引方向转换用辊箱内的空气的吸引风扇。通 过使方向转换用吸引风扇运转或停止，能够将方向转换用辊箱的内部切换成负压状态或常 压状态。而且，直接支撑基板的背面的方向转换用辊以绕轴心能够旋转的方式设置在方向 转换用辊箱内。在方向转换用辊箱内的适当位置设置有使方向转换用辊旋转的方向转换用 旋转马达。这里，虽然省略了具体结构，但方向转换用辊的高度位置是，通过使高度变更驱动 器驱动，从而能够变更成支撑高度位置(基准的悬浮高度位置)、和比该支撑高度位置低的 待避高度位置。另外，方向转换用辊的姿势是，通过使姿势变更驱动器驱动，从而能够变更 成方向转换用辊的轴心与第二输送方向平行的第一姿势、和方向转换用辊的轴心与第一输 送方向平行的第二姿势。因此，将各方向转换用辊的高度位置保持在支撑高度位置，并且，将姿势保持成第 一辊姿势，同时使各吸引风扇运转而将各方向转换用辊箱的内部从常压状态切换到负压状 态。而且，压缩空气从各方向转换用悬浮单元的喷嘴被喷出，同时通过驱动方向转换用旋转 马达，使多个方向转换用辊绕与第二输送方向平行的轴心旋转。其结果，能够充分确保基板 背面和方向转换用辊之间的接触压，并能够通过多个方向转换用辊单元从第一悬浮输送装 置接受基板。通过多个方向转换用辊单元从第一悬浮输送装置接受基板之后，使方向转换用旋 转马达的驱动停止，并且停止各吸引风扇的运转而将各方向转换用辊箱的内部从负压状态切换到常压状态。而且，通过驱动各高度变更驱动器，将各方向转换用辊的高度位置从支撑 高度位置变更成待避高度位置。其次，通过驱动各姿势变更驱动器，将各方向转换用辊的姿 势从第一姿势变更成第二姿势。而且，通过驱动各高度变更驱动器，将各方向转换用辊的高 度位置从待避高度位置变更成支撑高度位置之后，通过使各吸引风扇运转而将各方向转换 用辊箱的内部从常压状态切换到负压状态。而且，压缩空气从各悬浮单元的喷嘴被喷出， 同时驱动方向转换用旋转马达，由此使多个方向转换用辊绕与第一输送方向平行的轴心旋 转。其结果，能够充分地确保基板背面和方向转换用辊之间的接触压，并能够将基板的输送 方向从第一输送方向转换到第二输送方向，从而通过多个方向转换用辊单元将基板送出到 第二悬浮输送装置。专利文献1 日本国特开2008-254918号公报
然而，如上所述，在现有技术的输送方向转换装置中，通过多个辊单元从第一悬浮 输送装置接受基板并送出到第二悬浮输送装置之前，需要从各方向转换用辊的高度位置的 支撑高度位置向待避高度位置的变更动作、从各方向转换用辊的姿势的第一姿势向第二姿 势的变更动作、以及从各方向转换用辊的高度位置的待避高度位置向支撑高度位置的变更 动作。由此，将基板从第一输送方向向第二输送方向悬浮输送的输送时间(作业时间)变 长，不能充分地提高与基板的悬浮输送相关的作业效率。
发明内容
本发明的目的是提供能够上述问题的、新结构的输送方向转换装置及输送系统。本发明的悬浮输送装置是，从向第一输送方向悬浮输送(以悬浮状态输送)基板 的第一悬浮输送装置接受基板，并将接受的基板向在与所述第一输送方向正交的第二输送 方向上进行悬浮输送的第二悬浮输送装置送出时，将基板的输送方向从所述第一输送方向 切换成所述第二输送方向。所述悬浮输送装置具备(1)方向转换装置主体；(2)设置于所 述方向转换装置主体、且在上表面形成有喷出悬浮气体的喷嘴、并利用悬浮气体的压力使 基板悬浮到基准的悬浮高度位置的多个悬浮单元；(3)多个第一方向转换用辊单元，具有 沿所述第一输送方向配置于所述方向转换装置主体上、且上侧开口、并且内部可切换成负 压状态和常压状态的第一方向转换用辊箱，以及设置于所述第一方向转换用辊箱内并支撑 基板的背面的、能够绕与所述第二输送方向平行的轴心旋转的第一方向转换用辊，并且所 述第一方向转换用辊的高度位置比所述基准的悬浮高度位置低，并从所述第一悬浮输送装 置接受基板；(4)使所述第一方向转换用辊旋转的第一方向转换用旋转驱动器；(5)多个第 二方向转换用辊单元，具有沿所述第二输送方向配置于所述方向转换装置主体上、且上侧 开口、并且内部能够切换成负压状态和常压状态的第二方向转换用辊箱，以及和设置于所 述第二方向转换用辊箱内并支撑基板的背面的、能够绕与所述第一输送方向平行的轴心旋 转的第二方向转换用辊，并且所述第二方向转换用辊的高度位置比所述基准的悬浮高度位 置低，并向所述第二悬浮输送装置送出基板；以及(6)使所述第二方向转换用辊旋转的第 二方向转换用旋转驱动器。此外，这里，所谓“设置”是除了直接设置的情况以外，还包括通过托架等的中介部 件间接地设置。同样地，所谓“配置”是除了直接配置的情况以外，还包括通过托架等的中 介部件间接地配置。另外，所谓“支撑”是除了直接支撑的情况以外，还包括间接地支撑的情况。“悬浮气体”包含例如压缩空气、氩气、氮气等。根据上述悬浮输送装置，各第二方向转换用辊箱的内部保持成常压状态，同时各第一方向转换用辊箱的内部从常压状态切换成负压状态。而且，从各悬浮单元的所述喷嘴 喷出悬浮气体，同时所述第一方向转换用旋转驱动器进行驱动，多个所述第一方向转换用 辊绕与所述第二输送方向平行的轴心旋转。其结果，在基板的背面和所述第二方向转换用 辊之间确保间隙，并且，基板的背面和所述第一方向转换用辊之间的接触压充分地被确保， 并且通过多个所述第一方向转换用辊单元从所述第一悬浮输送装置接受基板。通过多个所述第一方向转换用辊单元接受基板之后，所述第一方向转换用旋转驱 动器的驱动停止。另外，各第二方向转换用辊箱的内部从常压状态切换成负压状态。另一 方面，各第一方向转换用辊箱的内部从负压状态切换成常压状态。而且，从各悬浮单元的所 述喷嘴喷出悬浮空气，同时所述第二方向转换用旋转驱动器进行驱动，多个所述第二方向 转换用辊绕与所述第一输送方向平行的轴心旋转。其结果，在基板的背面和第一方向转换 用辊之间确保间隙，并且，基板的背面和第二方向转换用辊之间的接触压充分地被确保，并 且基板的输送方向从所述第一输送方向转换成所述第二输送方向，通过多个所述第二方向 转换用辊单元向所述第二悬浮输送装置送出基板。总之，能够绕与所述第二输送方向平行的轴心旋转的所述第一方向转换用辊被设 置在各第一方向转换用辊箱内，能够绕与所述第一输送方向平行的轴心旋转的所述第二方 向转换用辊被设置在各第二方向转换用辊箱内，各第一方向转换用辊及各第二方向转换用 辊的高度位置比基准的悬浮高度位置低。因此，不用进行所述第一方向转换用辊及所述第 二方向转换用辊的高度位置的变更动作、所述第一方向转换用辊及所述第二方向转换用辊 的姿势的变更动作，就能够从所述第一悬浮输送装置接受基板，并将接受的基板向第二悬 浮输送装置送出。本发明的悬浮输送系统，向第一输送方向悬浮输送基板之后，向与所述第一输送 方向正交的第二输送方向悬浮输送基板。所述悬浮输送系统具备向所述第一输送方向悬 浮输送基板的第一悬浮输送装置；配置在所述第一悬浮输送装置的附近且向所述第二输送 方向悬浮输送基板的第二悬浮输送装置；以及配置在所述第一悬浮输送装置和所述第二悬 浮输送装置之间的转接区域的上述输送方向转换装置。此外，在所述第一悬浮输送装置或所述第二悬浮输送装置的结构中也可以整合所 述输送方向转换装置。此外，根据上述悬浮输送系统，能够发挥与上述悬浮输送装置的作用同样的作用。发明的效果根据本发明，不用进行所述第一方向转换用辊及所述第二方向转换用辊的高度位 置的变更动作、所述第一方向转换用辊及所述第二方向转换用辊的姿势的变更动作，就能 够从所述第一悬浮输送装置接受基板，并将接受的基板向所述第二悬浮输送装置送出。由 此，根据本发明，能够缩短将基板从所述第一输送方向向所述第二输送方向悬浮输送的输 送时间，并能够充分地提高与基板的悬浮输送相关的作业效率。
图1是本发明的悬浮输送系统的一个实施方式的俯视图。
图2是本发明的输送方向转换装置的一个实施方式的俯视图。图3是沿图1的iii-iii线的剖视图。
图4是沿图1的iv-iv线的剖视图。图5是沿图2的V-V线的剖视图。图6是沿图2的vi-vi线的剖视图。图7是上述实施方式的输送方向转换装置的变形例的剖视图，是与图5相当的图。图8是上述变形例的剖视图，是与图6相当的图。图中dl-第一输送方向，d2-第二输送方向，lp-基准的悬浮高度位置，sp-悬浮单元的 高度位置，W-基板，1-悬浮输送系统，3-第一悬浮输送装置，5-第二悬浮输送装置，7-输 送方向转换装置，9-第一输送装置主体，15-悬浮单元，15η-喷嘴，17-第一输送用辊单元， 19-第一输送用辊箱，23-第一输送用辊，25-第一输送用旋转马达，29-第二输送装置主体， 35-悬浮单元，35η-喷嘴，37-第二输送用辊单元，39-第二输送用辊箱，43-第二输送用辊， 45-第二输送用旋转马达，49-方向转换装置主体，55-悬浮单元，55η-喷嘴，57-第一方向转 换用辊单元，59-第一方向转换用辊箱，59h-第一方向转换用吸引孔，61-第一方向转换用 吸引风扇，63-第一方向转换用辊，65-第一方向转换用旋转马达，69-第二方向转换用辊单 元，71-第二方向转换用辊箱，71h-第二方向转换用吸引孔，73-第二方向转换用吸引风扇， 75-第二方向转换用辊，77-第二方向转换用旋转马达。
具体实施例方式参照图1至图5对本发明的一实施方式进行说明。此外，附图中，“ff”表示前方 向，“fr”表示后方向，“l”表示左方向，“r”表示右方向。如图1所示，本实施方式的悬浮输送系统1被用于清洁输送的领域，是在将玻璃基 板等的基板w向第一输送方向dl (在本实施方式中是左右方向)悬浮输送(悬浮的状态下 输送)之后，再向与第一输送方向dl正交的第二输送方向d2(在本实施方式中是前后方 向)悬浮输送的系统。首先，对悬浮输送系统1进行概要说明。悬浮输送系统1具备将基板w向第一输送方向dl悬浮输送的第一悬浮输送装置 3。在第一悬浮输送装置3的附近配置有将基板w向第二输送方向d2悬浮输送的第二悬浮 输送装置5。而且，在第一悬浮输送装置3的下游侧(搬出侧)和第二悬浮输送装置5的上 游侧(搬入侧)之间的转接区域(中间区域)配置有输送方向转换装置7。输送方向转换 装置7从第一悬浮输送装置3接受基板w并向第二悬浮输送装置5送出时，将基板w的输 送方向从第一输送方向dl转换成第二输送方向d2。对第一悬浮输送装置3的具体结构进行说明。如图1及图3所示，第一悬浮输送装置3具备沿第一输送方向dl延伸的第一输送 装置主体9。第一输送装置主体9构成悬浮输送系统1的系统基座的一部分。另外，在第一 输送装置主体9上，容纳压缩空气(悬浮气体)的多个腔室11沿第一输送方向dl被配置 成列状(在本实施方式中是2列)(在图1中只图示了最下游侧的腔室11)。在各腔室11 的下表面设置有向腔室11内供给压缩空气的供给风扇13 (在本实施方式中是风扇过滤器 单元)。
在各腔室11的上表面设置有利用压缩空气的压力使基板W悬浮到基准的悬浮高 度位置LP(参照图3)的中空状的悬浮单元15。即，多个悬浮单元15经由多个腔室11被设 置在第一输送装置主体9。这里，各悬浮单元15的内部与腔室11连通。各悬浮单元15通 过腔室11与供给风扇13连接。而且，在各悬浮单元15的上表面，与悬浮单元15的俯视形 状一致地形成喷出压缩空气的狭缝状的喷嘴15η。各喷嘴15η是，为了在各悬浮单元15的 上表面和基板W的背面之间生成大致均勻的压力的压力积存层(空气积存层)Τ，如日本国 特开2006-182563号公报所示，而朝向垂直方向(与悬浮单元15的上表面垂直的方向)向 各悬浮单元15的中心侧(单元中心侧)倾斜地形成。此外，喷嘴15η也可以代替与悬浮单元15的俯视形状一致地形成为框状的狭缝的 情况，通过将多个棱孔或圆孔与悬浮单元15的俯视形状一致地排列而形成。在第一输送装置主体9上，将基板W向第一输送方向Dl输送的多个第一输送用辊 单元17沿第一输送方向Dl配置成列状(在本实施方式中是2列)(在图1中只图示了最 下游侧的第一输送用辊单元17)。对各第一输送用辊单元17的具体结构进行说明。在第一输送装置主体9上设置有第一输送用辊箱19。第一输送用辊箱19的上侧 开口(开放)，在第一输送用辊箱19的下表面形成有第一输送用吸引孔19h。另外，在第一 输送用辊箱19的下表面设置有从第一输送用吸引孔19h吸引第一输送用辊箱19内的空气 的第一输送用吸引风扇21。通过使第一输送用吸引风扇21运转或停止，能够将第一输送用 辊箱19的内部切换成负压状态和常压状态。在第一输送用辊箱19内以能够绕与第二输送方向D2平行的轴心旋转的方式设置 有直接支撑基板W的背面的第一输送用辊23。这里，第一输送用辊23从第一输送用辊箱19 的最上部向上方突出。第一输送用辊23的高度位置SP(参照图3)位于比基准的悬浮高度 位置LP低的位置。而且，在第一输送用辊箱19的适当位置设置有使第一输送用辊23绕与 第二输送方向D2平行的轴心旋转的第一输送用旋转马达(第一输送用旋转驱动器)25。第 一输送用旋转马达25的输出轴通过由一对带轮和同步带构成的第一输送用连动机构27， 与第一输送用辊23的旋转轴连动连结。此外，也可以不使第一输送用辊23的高度位置SP比悬浮高度位置LP低，而是与 悬浮高度位置LP相同的高度。另外，也可以省略构成第一输送用辊单元17的一部分的第 一输送用旋转马达25，在第一输送装置主体9的适当位置设置使多个第一输送用辊23旋转 的其他的第一输送用旋转马达等。对第二悬浮输送装置5的具体结构进行说明。如图1及图4所示，第二悬浮输送装置5具备沿第二输送方向D2延伸的第二输送 装置主体29。第二输送装置主体29构成悬浮输送系统1的系统基座的一部分。另外，在第 二输送装置主体29上，容纳压缩空气的多个腔室31沿第二输送方向D2配置成列状(在本 实施方式中是2列)(在图1中只图示了最上游侧的腔室31)。在各腔室31的下表面设置 有向腔室31内供给压缩空气的供给风扇33 (在本实施方式中是风扇过滤器单元)。在各腔室31的上表面设置有利用压缩空气的压力使基板W悬浮到基准的悬浮高 度位置LP(参照图4)的中空状的悬浮单元35。即，多个悬浮单元35通过多个腔室31设置 在第二输送装置主体29。这里，各悬浮单元35的内部与腔室31连通。各悬浮单元35通过 腔室31与供给风扇33连接。而且，在各悬浮单元35的上表面，与悬浮单元35的俯视形状一致地形成有喷出压缩空气的狭缝状的喷嘴35η。由于各悬浮单元35的喷嘴35η具有与悬浮单元15的各喷嘴15η相同的结构，所以省略其详细说明。在第二输送装置主体29上，将基板W向第二输送方向D2输送的多个第二输送用 辊单元37沿第二输送方向D2配置成列状(在本实施方式中是2列)(在图1中只图示了 最上游侧的第二输送用辊单元37)。对各第二输送用辊单元37的具体结构进行说明。在第二输送装置主体29上设置有第二输送用辊箱39。第二输送用辊箱39的上侧 开口，在第二输送用辊箱39的下表面形成有第二输送用吸引孔39h。另外，在第二输送用辊 箱39的下表面设置有从第二输送用吸引孔39h吸引第二输送用辊箱39内的空气的第二输 送用吸引风扇41。通过使第二输送用吸引风扇41运转或停止，能够将第二输送用辊箱39 的内部切换成负压状态和常压状态。在第二输送用辊箱39内以能够绕与第一输送方向Dl平行的轴心旋转的方式设置 有直接支撑基板W的背面的第二输送用辊43。这里，第二输送用辊43从第二输送用辊箱 39的最上部向上方突出。第二输送用辊43的高度位置SP(参照图4)与第一输送用辊23 的高度位置SP相同，位于比基准的悬浮高度位置LP低的位置。而且，在第二输送用辊箱39 的适当位置设置有使第二输送用辊43绕与第一输送方向Dl平行的轴心旋转的第二输送用 旋转马达(第二输送用旋转驱动器)45。第二输送用旋转马达45的输出轴通过由一对带轮 和同步带构成的第二输送用连动机构47，与第二输送用辊43的旋转轴连动连结。此外，也可以不使第二输送用辊43的高度位置SP比悬浮高度位置LP低，而是与 悬浮高度位置LP相同的高度。另外，也可以省略构成第二输送用辊单元37的一部分的第 二输送用旋转马达45，在第二输送装置主体29的适当位置设置使多个第二输送用辊43旋 转的其他的第二输送用旋转马达等。对输送方向转换装置7的具体结构进行说明。如图2、图5及图6所示，在第一悬浮输送装置3和第二悬浮输送装置5之间的转 接区域配置方向转换装置主体49。方向转换装置主体49构成悬浮输送系统1的系统基座 的一部分。另外，在方向转换装置主体49上大致均等地配置有容纳压缩空气的多个(在本 实施方式中是4个)腔室51。在各腔室51的下表面设置有向腔室51内供给压缩空气的供 给风扇53 (在本实施方式中是风扇过滤器单元)。在各腔室51的上表面设置有利用压缩空气的压力使基板W悬浮到基准的悬浮高 度位置LP(参照图5及图6)的中空状的悬浮单元55。即，多个悬浮单元55通过多个腔室 51设置在方向转换装置主体49。这里，各悬浮单元55的内部与腔室51连通。各悬浮单元 55通过腔室51与供给风扇53连接。而且，在各悬浮单元55的上表面，与悬浮单元55的 俯视形状一致地形成有喷出压缩空气的狭缝状的喷嘴55η。由于各悬浮单元55的喷嘴55η 具有与悬浮单元15的各喷嘴15η相同的结构，所以省略其详细说明。在方向转换装置主体49上，从第一悬浮输送装置3接受基板W的多个第一方向转 换用辊单元57沿第一输送方向Dl配置成列状(在本实施方式中是2列)。对各第一方向 转换用辊单元57的具体结构进行说明。在方向转换装置主体49上设置有第一方向转换用辊箱59。第一方向转换用辊箱 59的上侧开口，在第一方向转换用辊箱59的下表面形成有第一方向转换用吸引孔59h。另 夕卜，在第一方向转换用辊箱59的下表面设置有从第一方向转换用吸引孔59h吸引第一方向转换用辊箱59内的空气的第一方向转换用吸引风扇61。通过使第一方向转换用吸引风扇61运转或停止，能够将第一方向转换用辊箱59的内部切换成负压状态和常压状态。在第一方向转换用辊箱59内以能够绕与第二输送方向D2平行的轴心旋转的方式 设置有直接支撑基板W的背面的第一方向转换用辊63。这里，第一方向转换用辊63从第一 方向转换用辊箱59的最上部向上方突出。第一方向转换用辊63的高度位置SP(参照图5 及图6)与第一输送用辊23的高度位置SP相同，位于比基准的悬浮高度位置LP低的位置。 而且，在第一方向转换用辊箱59的适当位置设置有使第一方向转换用辊63绕与第二输送 方向D2平行的轴心旋转的第一方向转换用旋转马达(第一方向转换用旋转驱动器)65。第 一方向转换用旋转马达65的输出轴通过由一对带轮和同步带构成的第一方向转换用连动 机构67，与第一方向转换用辊63的旋转轴连动连结。此外，也可以省略构成第一方向转换用辊单元57的一部分的第一方向转换用旋 转马达65，在方向转换装置主体49的适当位置设置使多个第一方向转换用辊63旋转的其 他的第一方向转换用旋转马达等。另外，在方向转换装置主体49上，将基板W向第二悬浮输送装置5送出的多个第 二方向转换用辊单元69沿第二输送方向D2配置成列状(在本实施方式中是2列)。对各 第二方向转换用辊单元69的具体结构进行说明。在方向转换装置主体49上设置有第二方向转换用辊箱71。第二方向转换用辊箱 71的上侧开口，在第二方向转换用辊箱71的下表面形成有第二方向转换用吸引孔71h。另 夕卜，在第二方向转换用辊箱71的下表面设置有从第二方向转换用吸引孔71h吸引第二方向 转换用辊箱71内的空气的第二方向转换用吸引风扇73。通过使第二方向转换用吸引风扇 73运转或停止，能够将第二方向转换用辊箱71的内部切换成负压状态和常压状态。在第二方向转换用辊箱71内以能够绕与第一输送方向Dl平行的轴心旋转的方式 设置有直接支撑基板W的背面的第二方向转换用辊75。这里，第二方向转换用辊75从第二 方向转换用辊箱71的最上部向上方突出。第二方向转换用辊75的高度位置SP(参照图5 及图6)与第一输送用辊23的高度位置SP相同，位于比基准的悬浮高度位置LP低的位置。 而且，在第二方向转换用辊箱71的适当位置设置有使第二方向转换用辊75绕与第一输送 方向Dl平行的轴心旋转的第二方向转换用旋转马达(第二方向转换用旋转驱动器)77。第 二方向转换用旋转马达77的输出轴通过由一对带轮和同步带构成的第二方向转换用连动 机构79，与第二方向转换用辊75的旋转轴连动连结。此外，也可以省略构成第二方向转换用辊单元69的一部分的第二方向转换用旋 转马达77，在方向转换装置主体49的适当位置设置使多个第二方向转换用辊75旋转的其 他的第二方向转换用旋转马达等。在方向转换装置主体49的右侧的适当位置设置有反射型光电传感器81 (参照图 2)。反射型光电传感器81通过监视投射出的信号光的反射，来检测由多个第一方向转换用 辊单元57从第一悬浮输送装置3接受基板W的情况。另外，反射型光电传感器81与控制 第一方向转换用吸引风扇61、第一方向转换用旋转马达65、第二方向转换用吸引风扇73、 以及第二方向转换用旋转马达77等的控制器(省略图示)电连接。接着，对本实施方式的作用及效果进行说明。第一悬浮输送装置3的各供给风扇13运转，从各悬浮单元15的喷嘴15η喷出压缩空气。另外，各第一输送用吸引风扇21运转，各第一输送用辊箱19的内部适当地从常压 状态切换成负压状态，并且各第一输送用旋转马达25被驱动，各第一输送用辊23绕与第二 输送方向D2平行的轴心旋转。其结果，基板W的背面和多个第一输送用辊23之间的接触 压被充分地确保，基板W向第一输送方向Dl被悬浮输送。基板W通过第一悬浮输送装置3的下游侧的规定位置之前，各第二方向转换用辊 箱71的内部被保持为常压状态，并且各第一方向转换用吸引风扇61运转，各第一方向转换 用辊箱59的内部从常压状态切换成负压状态。而且，输送方向转换装置7的各供给风扇53 运转，从各悬浮单元55的喷嘴55η喷出压缩空气，并且各第一方向转换用旋转马达65进行 驱动，使各第一方向转换用辊63绕与第二输送方向D2平行的轴心旋转。其结果，在基板W 的背面和第二方向转换用辊75之间确保间隙，并且，基板W的背面和第一方向转换用辊63 之间 的接触压被充分地确保，并且通过多个第一方向转换用辊单元57从第一悬浮输送装 置3接受基板W。通过多个第一方向转换用辊单元57接受基板W之后(S卩，从反射型光电传感器81 输出检测信号时)，第一方向转换用旋转马达65的驱动停止。另外，各第二方向转换用吸引 风扇73运转，各第二方向转换用辊箱71的内部从常压状态切换成负压状态。另一方面，各 第一方向转换用吸引风扇61停止，各第一方向转换用辊箱59的内部从负压状态切换成常 压状态。而且，从各悬浮单元55的喷嘴55η喷出压缩空气，同时第二方向转换用旋转马达 77进行驱动，多个第二方向转换用辊75绕与第一输送方向Dl平行的轴心旋转。其结果，在 基板W的背面和第一方向转换用辊63之间确保间隙，并且，基板W的背面和第二方向转换 用辊75之间的接触压充分地被确保，并且基板W的输送方向从第一输送方向Dl转换成第 二输送方向D2，通过多个第二方向转换用辊单元69向第二悬浮输送装置5送出基板W。通过多个第二方向转换用辊单元69向第二悬浮输送装置5送出基板W之前或送 出时，第二悬浮输送装置5的各供给风扇33运转，从各悬浮单元35的喷嘴35η喷出压缩空 气。另外，各第二输送用吸引风扇41运转，各第二输送用辊箱39的内部从常压状态切换成 负压状态，并且各第二输送用旋转马达45进行驱动，各第二输送用辊43绕与第一输送方向 Dl平行的轴心旋转。其结果，基板W的背面和多个第二输送用辊43之间的接触压充分地被 确保，基板W向第二输送方向D2被悬浮输送。总之，能够绕与第二输送方向D2平行的轴心旋转的第一方向转换用辊63被设置 在各第一方向转换用辊箱59内，能够绕与第一输送方向Dl平行的轴心旋转的第二方向转 换用辊75被设置在各第二方向转换用辊箱71内，各第一方向转换用辊63及各第二方向转 换用辊75的高度位置比基准的悬浮高度位置LP低。由此，不用进行第一方向转换用辊63 及第二方向转换用辊75的高度位置的变更动作、第一方向转换用辊63及第二方向转换用 辊75的姿势的变更动作，就能够从第一悬浮输送装置3接受基板W，并将接受的基板向第二 悬浮输送装置5送出。因此，根据本实施方式，能够缩短将基板W向第一输送方向Dl悬浮输送以及使输 送方向转换并向第二输送方向D2悬浮输送的输送时间，并能够充分地提高与基板W的悬浮 输送相关的作业效率。(变形例)参照图7及图8 (与图5及图6相当的图)说明上述实施方式的变形例。此外，附图中，“FF”表示前方向，“FR”表示后方向，“L”表示左方向，“R”表示右方向。
如图7所示，在各第一方向转换用辊箱59上设置有对第一方向转换用辊箱59的 第一方向转换用吸引孔59h进行开闭的第一方向转换用闸门83。另外，在各第一方向转换 用辊箱59的适当位置设置有使第一方向转换用闸门83开闭(向开放方向移动)的无杆型 的第一方向转换用开闭缸(第一方向转换用开闭驱动器)85。各第一方向转换用开闭缸85 具有能够沿开闭方向移动的可动件87。可动件87被连结在第一方向转换用闸门83的适当 位置。而且，通过第一方向转换用闸门83的开闭动作，第一方向转换用辊箱59的内部被切 换成负压状态和常压状态。如图8所示，在各第二方向转换用辊箱71上同样地设置有对第二方向转换用辊箱 71的第二方向转换用吸引孔71h进行开闭的第二方向转换用闸门89。另外，在各第二方向 转换用辊箱71的适当位置设置有使第二方向转换用闸门89开闭的无杆型的第二方向转换 用开闭缸(第二方向转换用开闭驱动器)91。各第二方向转换用开闭缸91具有能够沿开闭 方向移动的可动件93。可动件93被连结在第二方向转换用闸门89的适当位置。而且，通 过第二方向转换用闸门89的开闭动作，第二方向转换用辊箱71的内部被切换成负压状态 和常压状态。根据本变形例，也能够发挥与上述实施方式的作用及效果同样的作用及效果。此外，本发明不限于上述实施方式的说明，能够以各种方式实施。另外，本发明的 范围不限于这些实施方式。
权利要求
一种输送方向转换装置，从向第一输送方向悬浮输送基板的第一悬浮输送装置接受基板，并将接受的基板向在与所述第一输送方向正交的第二输送方向上进行悬浮输送的第二悬浮输送装置送出时，将基板的输送方向从所述第一输送方向转换成所述第二输送方向，其特征在于，具备方向转换装置主体；多个悬浮单元，设置于所述方向转换装置主体上，且在上表面形成有喷出悬浮气体的喷嘴，并利用悬浮气体的压力使基板悬浮到基准的悬浮高度位置；多个第一方向转换用辊单元，具有沿所述第一输送方向配置在所述方向转换装置主体上、且上侧开口、而且内部能够切换成负压状态和常压状态的第一方向转换用辊箱，以及设置于所述第一方向转换用辊箱内并支撑基板的背面的、能够绕与所述第二输送方向平行的轴心旋转的第一方向转换用辊，并且所述第一方向转换用辊的高度位置比所述基准的悬浮高度位置低，并从所述第一悬浮输送装置接受基板；使所述第一方向转换用辊旋转的第一方向转换用旋转驱动器；多个第二方向转换用辊单元，具有沿所述第二输送方向配置于所述方向转换装置主体上、且上侧开口、而且内部能够切换成负压状态和常压状态的第二方向转换用辊箱，以及设置于所述第二方向转换用辊箱内并支撑基板的背面的、能够绕与所述第一输送方向平行的轴心旋转的第二方向转换用辊，并且所述第二方向转换用辊的高度位置比所述基准的悬浮高度位置低，并向所述第二悬浮输送装置送出基板；以及使所述第二方向转换用辊旋转的第二方向转换用旋转驱动器。
2.根据权利要求1所述的输送方向转换装置，其特征在于，在所述第一方向转换用辊箱上分别形成有第一方向转换用吸引孔， 所述各第一方向转换用辊单元具有从所述第一方向转换用吸引孔吸引所述第一方向 转换用辊箱内的空气的第一方向转换用吸引风扇，通过所述第一方向转换用吸引风扇的运转或停止，可将所述第一方向转换用辊箱的内 部切换成负压状态和常压状态，在所述第二方向转换用辊箱上分别形成有第二方向转换用吸引孔， 所述各第二方向转换用辊单元具有从所述第二方向转换用吸引孔吸引所述第二方向 转换用辊箱内的空气的第二方向转换用吸引风扇，通过所述第二方向转换用吸引风扇的运转或停止，能够将所述第二方向转换用辊箱的 内部切换成负压状态和常压状态。
3.根据权利要求1所述的输送方向转换装置，其特征在于，在所述第一方向转换用辊箱上分别形成有第一方向转换用吸引孔， 所述各第一方向转换用辊单元具有从所述第一方向转换用吸引孔吸引所述第一方向 转换用辊箱内的空气的第一方向转换用吸引风扇、以及对所述第一方向转换用吸引孔进行 开闭的第一方向转换用闸门，通过所述第一方向转换用闸门的开闭动作，能够将所述第一方向转换用辊箱的内部切 换成负压状态和常压状态，在所述第二方向转换用辊箱上分别形成有第二方向转换用吸引孔， 所述各第二方向转换用辊单元具有从所述第二方向转换用吸引孔吸引所述第二方向转换用辊箱内的空气的第二方向转换用吸引风扇、以及对所述第二方向转换用吸引孔进行 开闭的第二方向转换用闸门，通过所述第二方向转换用闸门的开闭动作，能够将所述第二方向转换用辊箱的内部切 换成负压状态和常压状态。
4. 一种悬浮输送系统，向第一输送方向悬浮输送基板之后，向与所述第一输送方向正 交的第二输送方向悬浮输送基板，其特征在于，具有向所述第一输送方向悬浮输送基板的第一悬浮输送装置；配置在所述第一悬浮输送装置的附近，且向所述第二输送方向悬浮输送基板的第二悬 浮输送装置；以及配置在所述第一悬浮输送装置和所述第二悬浮输送装置之间的转接区域的、权利要求 1至权利要求3中任一项所述的输送方向转换装置。
全文摘要
本发明提供能够缩短向第一输送方向(D1)悬浮输送基板(W)之后再向第二输送方向(D2)悬浮输送基板W的输送时间的输送方向转换装置。在输送方向转换装置中，能够绕与第二输送方向(D2)平行的轴心旋转的第一方向转换用辊(63)设置在各第一方向转换用辊箱(59)内，并且，能够绕与第一输送方向(D1)平行的轴心旋转的第二方向转换用辊(75)设置在各第二方向转换用辊箱(71)内，各第一方向转换用辊(63)及各第二方向转换用辊(75)的高度位置比基准的悬浮高度位置(LP)低。
文档编号B65G49/06GK101857141SQ201010155879
公开日2010年10月13日 申请日期2010年4月2日 优先权日2009年4月7日
发明者中川敏彦, 和田芳幸 申请人:株式会社Ihi