专利名称：硅片取放装置及硅片取放设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体生产设备，具体涉及一种硅片取放装置。本实用新型 还涉及一种硅片取放设备。
背景技术：
目前从硅片承载盒中取放硅片的方式有两种一种是通过自动开盒装置取放，但 这种装置价格在十万到二十万元，非常昂贵；另一种方式是直接通过真空吸笔，由于承载盒 中相邻硅片之间空隙很小，这种方式在取放的过程中很容易碰到旁边的硅片，造成硅片的 划伤，且不容易辨别硅片在承载盒中正确的位置。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种硅片取放装置，它可以在取放硅片时 不会碰到旁边的硅片。为解决上述技术问题，本实用新型硅片取放装置的技术解决方案为包括定位框、多对挡板、两个滑槽体、两个连接件；定位框包括两条立边、两条横 边，两条立边上分别设有定位销和/或凹坑；多对挡板沿高度方向排列，多对挡板的固定端 分别通过连接件与定位框连接；连接件的外侧固定设置有滑槽体，滑槽体的各个隔槽的位 置与每个挡板的位置一一对应。所述每对挡板包括两个挡板，挡板的自由端为阶梯结构，每对挡板的自由端相互 啮合；挡板固定端的正面设有挡块，挡块设有沿高度方向延伸的通孔；挡板的背面分别设 有轨道，轨道沿挡板的长度方向延伸；挡板背面的自由端设有鸟嘴状的凸起。所述挡块上标 识有数字。所述滑槽体沿高度方向设置有多个隔槽，隔槽内活动设置有多个滑块；当滑块向 滑槽体内推动时，该滑块对应的挡板能够向外打开直至与定位框所在平面垂直；当滑块向 滑槽体外推动时，该滑块对应的挡板被卡住而无法向外打开。所述滑块上标有数字。所述连接件包括轴杆、盖板；轴杆的两端分别设置盖板；轴杆穿过挡板的通孔，将 同侧的挡板串在一起，上下各用一个盖板盖住，再通过盖板与定位框的一条立边固定连接； 另侧挡板通过另一轴杆与定位框的另一条立边固定连接。本实用新型还提供一种硅片取放设备，其技术解决方案为包括硅片取放装置、硅片承载盒，硅片承载盒上设有与所述定位销和凹坑相配合 的凹坑和定位销；所述每对挡板的位置与硅片承载盒中硅片的位置一一对应。本实用新型可以达到的技术效果是本实用新型的每对挡板的开合能够通过滑槽体内的各滑块单独控制，而每对挡板 与硅片承载盒中硅片的位置一一对应，采用真空吸笔取放硅片承载盒中某个位置的硅片 时，不会将错误位置的硅片取出，或将硅片放入错误位置，且在取放硅片的过程中不会碰撞 到旁边的硅片。[0013] 本实用新型在滑块及挡板上都标有与硅片承载盒位置相对应的数字，容易辨识硅 片在承载盒中的准确位置，能够避免取到错误位置上的硅片或将硅片放入错误的位置，且 成本很低。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明
图1是硅片承载盒的示意图； 图2是本实用新型硅片取放装置的示意图； 图3是本实用新型的定位框的示意图； 图4是本实用新型的挡板的示意图； 图5是图4的后视图； 图6是图4的俯视图； 图7是本实用新型的滑槽体的示意图； 图8是本实用新型的连接件的示意图。 图中附图标记说明 1为定位框，2为挡板， 3为滑槽体，4为连接件， 11为定位销，12为凹坑， 21为挡块，211为通孔， 22为轨道，23为凸起， 31为滑块，41为轴杆， 42为盖板。
具体实施方式
本实用新型硅片取放装置，设置于如
图1所示的硅片承载盒的开口部，如图2所 示，包括定位框1、多对挡板2、两个滑槽体3、两个连接件4;如图3所示，定位框1包括两条 立边、两条横边，一条立边上设有定位销11，另一条立边的同侧设有凹坑12 ；硅片承载盒上 设有与定位销11和凹坑12相配合的凹坑和定位销，使得定位框1能够与硅片承载盒准确 地对接在一起；多对挡板2沿高度方向排列，多对挡板2的固定端分别与连接件4连接；如图4所示，每对挡板2包括两个挡板，挡板的自由端为阶梯结构，两个挡板的自 由端相互啮合；挡板固定端的正面设有挡块21，挡块21设有沿高度方向延伸的通孔211且 标识有数字；如图5所示，挡板的背面分别设有轨道22，轨道22沿挡板的长度方向延伸；如 图6所示，挡板背面的自由端设有鸟嘴状的凸起23。如图7所示，滑槽体3沿高度方向设置有多个隔槽，隔槽内活动设置有多个滑块 31，滑块31上标有数字，滑块31上的数字与硅片承载盒内硅片的位置相对应；滑块31用于 卡住挡板2 ；如图8所示，连接件4包括轴杆41、盖板42 ；轴杆41的两端分别设置盖板42 ；轴杆41穿过挡板2的通孔211，将同侧的挡板2串在一起，上下各用一个盖板42盖住，再通过盖板42与定位框1的一条立边固定连接；另侧挡板2通过另一轴杆41与定位 框1的另一条立边固定连接。两个滑槽体3分别固定于定位框1的两条立边上；滑槽体3设置于连接件4的外 侧，滑槽体3的各个隔槽的位置与每个挡板2的位置一一对应，每个挡板2的位置与硅片承 载盒中硅片的位置一一对应。使用时，将定位框1有定位销11的一面对准硅片承载盒的开口面，使定位框1的 定位销11嵌入硅片承载盒的凹坑中，同时使硅片承载盒的定位销嵌入定位框1的凹坑12 中，从而将本实用新型与载有硅片的承载盒对接在一起；当需要取出某个位置的硅片时，将标有对应数字的两个滑块31分别向滑槽体3内 推动(此时与该滑块31对应的挡板2能够向外打开)，其他的滑块都向滑槽体3外推出(此 时这些滑块31对应的挡板被卡住而无法向外打开)；将硅片承载盒连同本实用新型一起微 微前倾，则在自身重力的作用下，与被推到滑槽体3内的滑块31相对应的一对挡板向外打 开，直至挡板2与定位框1所在平面垂直，该对挡板2对应的硅片也在重力的作用下，沿着 该挡板2内侧的轨道22向外滑出。由于挡板2的自由端设有鸟嘴状的凸起23，所以当硅片 的圆心到达这对挡板的两个凸起23所在的直线时，硅片则被凸起23挡住，不再向外滑。由于挡板2的自由端为阶梯结构，因此挡板2的长度大于硅片的半径，所以此时整 个硅片已经完全处于承载盒之外；而其他的硅片，因为滑块31突出滑槽体3 —段，所以对应 的挡板被卡住无法向外打开，则与之对应的硅片就被挡板挡住，不会从承载盒中滑出。因此 只有需要的那片硅片能够完全从承载盒中滑出，这样在取这片硅片时就有效地避免了与附 近的硅片的碰擦。当需要将硅片放入承载盒的某个位置时，将标有对应数字的两个滑块31分别向 滑槽体3内推动，其他的滑块都向滑槽体3外推出；将承载盒连同本发明一起微微前倾，则 在自身重力的作用下，与被推到滑槽内的滑片相对应的一对挡板向外打开，直至与定位框 所在平面垂直。将硅片放到挡板2内侧的轨道22上，轻推挡板2，则硅片被放到承载盒中指 定的位置。
权利要求1.一种硅片取放装置，其特征在于包括定位框、多对挡板、两个滑槽体、两个连接件； 定位框包括两条立边、两条横边，两条立边上分别设有定位销和/或凹坑；多对挡板沿高度 方向排列，多对挡板的固定端分别通过连接件与定位框连接；连接件的外侧固定设置有滑 槽体，滑槽体的各个隔槽的位置与每个挡板的位置一一对应。
2.根据权利要求1所述的硅片取放装置，其特征在于所述每对挡板包括两个挡板，挡 板的自由端为阶梯结构，每对挡板的自由端相互啮合；挡板固定端的正面设有挡块，挡块设 有沿高度方向延伸的通孔；挡板的背面分别设有轨道，轨道沿挡板的长度方向延伸；挡板 背面的自由端设有凸起。
3.根据权利要求1所述的硅片取放装置，其特征在于所述滑槽体沿高度方向设置有 多个隔槽，隔槽内活动设置有多个滑块；当滑块向滑槽体内推动时，该滑块对应的挡板能够 向外打开直至与定位框所在平面垂直；当滑块向滑槽体外推动时，该滑块对应的挡板被卡 住而无法向外打开。
4.根据权利要求1所述的硅片取放装置，其特征在于所述连接件包括轴杆、盖板；轴 杆的两端分别设置盖板；轴杆穿过挡板的通孔，将同侧的挡板串在一起，上下各用一个盖板 盖住，再通过盖板与定位框的一条立边固定连接；另侧挡板通过另一轴杆与定位框的另一 条立边固定连接。
5.一种使用权利要求1至4任一项所述的硅片取放装置的硅片取放设备，其特征在于 包括硅片取放装置、硅片承载盒，硅片承载盒上设有与所述定位销和凹坑相配合的凹坑和 定位销；所述每对挡板的位置与硅片承载盒中硅片的位置一一对应。
专利摘要本实用新型公开了一种硅片取放装置，包括定位框、多对挡板、两个滑槽体、两个连接件；定位框包括两条立边、两条横边，两条立边上分别设有定位销和/或凹坑；多对挡板沿高度方向排列，多对挡板的固定端分别通过连接件与定位框连接；连接件的外侧固定设置有滑槽体，滑槽体的各个隔槽的位置与每个挡板的位置一一对应。本实用新型在取放硅片时不会碰到旁边的硅片，容易辨识硅片在承载盒中的准确位置，避免取到错误位置的硅片或将硅片放入错误的位置，且成本很低。本实用新型还公开了一种硅片取放设备。
文档编号B65G49/07GK201849954SQ20102055149
公开日2011年6月1日 申请日期2010年9月30日 优先权日2010年9月30日
发明者陆斌 申请人:上海华虹Nec电子有限公司