专利名称：一种溅射靶材包装组件的制作方法
技术领域：
本实用新型提供一种在半导体及其他应用领域中使用的溅射靶材包装组件，尤其适用不同直径的各种金属和非金属圆形溅射靶材的包装。
背景技术：
溅射靶材广泛应用于各种电子薄膜的制备。靶材的尺寸结构通常由溅射机台 决定，各种型号、不同应用的溅射机台决定了靶材尺寸的多祥性。在半导体应用领域中，随着晶圆尺寸不断増大，4 12英寸生产线所用的靶材包括各种直径和厚度的圆形金属或者非金属块体。目前，实际生产中圆形金属和非金属溅射靶材普遍采用ー种包装尺寸由相应靶材尺寸決定的包装盒构件包装。这种包装部件通常是由包装盒I、泡沫衬底2、泡沫衬圈3、厚度调节泡沫板4，完成内包装的溅射靶材和泡沫盖板5几部分组件组成，如图I所示。此种包装盒构件在包装不同直径的溅射靶材时，要更换内部的泡沫衬板甚至包装盒，因此包装エ序就要为不同尺寸的靶材贮备大量的泡沫衬板甚至包装盒，这样既需要大量的空间又为溅射靶材的包装生产带来不便，降低了靶材的生产效率。
实用新型内容为了克服现有的不同尺寸圆形溅射靶材包装需要更换不同泡沫衬板甚至包装盒的缺点，本实用新型提供了ー种溅射靶材包装组件，该包装组件通过调节内部垫板可以包装一定直径范围的不同尺寸的溅射靶材，降低包装盒的贮备空间，提高溅射靶材包装效率。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案如下本实用新型ー种溅射靶材包装组件，同样采用分体包装组件，该溅射靶材包装组件包括包装盒、泡沫衬角、衬角连接板、直径方向泡沫调节垫组、厚度方向泡沫调节垫组和泡沫盖板六个部分，直径方向泡沫调节垫组和厚度方向泡沫调节垫组分别由多个泡沫板组成，其中，在包装盒内部设置泡沫衬角，用衬角连接板连接支撑泡沫衬角，泡沫衬角及衬角连接板形成的空间内设置厚度方向泡沫调节垫组，厚度方向泡沫调节垫组泡沫板的具体个数视包装靶材厚度而定，完成内包装的溅射靶材放置在厚度方向泡沫调节垫组之上，在泡沫衬角及完成内包装的溅射靶材之间设置直径方向泡沫调节垫组，包装盒内部最上方设置泡沫盖板。直径方向泡沫调节垫组泡沫板的个数设置以完成内包装的溅射靶材在包装盒中和泡沫衬角中没有可活动间隙为准。泡沫衬角放置在方形包装盒内部的四个角上。所能包装的溅射靶材的最大外径不能大于厚度方向泡沫调节垫组的最大外径，所能包装的溅射靶材的最小直径不能小于厚度方向泡沫调节垫组的最小直径；溅射靶材厚度不能大于泡沫衬角减去最薄厚度方向泡沫调节垫组的厚度。本实用新型的有益效果增减直径方向的泡沫调节垫组和厚度方向泡沫调节垫组个数本实用新型可以对不同尺寸规格的圆溅射靶材进行有效包装，避免运输过程中的损害；同时简化了更换包装衬板泡沫エ序，大大提高了溅射靶材的包装效率。
图I为一般常用溅射靶材包装构件拆分立体图。图2为本实用新型的拆分立体图。图3为本实用新型的部分构件立体图。图4为图2包装组件组装后放置较小尺寸溅射靶材的立体示意图。图5为图2包装组件组装后放置较大尺寸溅射靶材的立体示意图。图中标号图I中I.包装盒，2.泡沫衬底，3.泡沫衬圈4.厚度调节泡沫板，5.完成内包装的溅射靶材，6.泡沫盖板。 图2中6.包装盒，7.泡沫衬角，8.衬角连接板，9.直径方向泡沫调节垫组，10.厚度方向泡沫调节垫组，11.泡沫盖板，12.完成内包装的溅射靶材。图3，图4，图5中的标号和图2中相同。
具体实施方式
下面的实施例可以使本专业技术人员更全面的理解本实用新型，但不以任何方式限制本实用新型。通常圆形溅射靶材的中包装步骤首先在包装盒I内部依次放置泡沫衬底2、所要包装溅射靶材尺寸相适应泡沫衬圈3和厚度合适的厚度调节泡沫板4，然后把完成内包装的溅射靶材5放入泡沫衬圈中，最后加盖泡沫盖板6关闭包装盒粘贴标识完成包装。此种包装组件在包装不同尺寸的溅射靶材，对应的泡沫衬圈3和厚度调节泡沫垫4不同，包装操作人员必须针对不同尺寸靶材进行选择匹配，同时泡沫衬板和包装箱分别存放，大大增加了存储空间，使用这种包装组件包装増加了工作难度，降低了工作效率，同时也浪费了存储空间。采用本实用新型对圆形溅射靶材中包装步骤首先在包装盒6内部依次放置4个泡沫衬角7用衬角连接板8连接支撑泡沫衬角7，然后放置厚度方向泡沫调节组10中的泡沫板，具体个数视包装靶材厚度而定，放置完成内包装的溅射靶材后在靠近泡沫衬角4个位置内侧放置直径方向泡沫调节垫组9，直到靶材在包装盒中和泡沫衬角7中没有可活动间隙，最后加盖泡沫盖板，关闭包装盒6，贴标识完成包装。本实用新型可以包装直径Dl到D4，厚度尺寸小于hl-h3(h3 >h4)的一系列溅射靶材，在存储是泡沫衬板可以放置在包装盒中大大节省的存储空间，同时在包装エ序中方便了操作，节约了包装时间，提高了工作效率。本实用新型提供的溅射靶材包装组件包括包装盒6、泡沫衬角7、衬角连接板8、直径方向泡沫调节垫组9、厚度方向泡沫调节垫组10和泡沫盖板11六个部分，直径方向泡沫调节垫组9和厚度方向泡沫调节垫组10分别由多个泡沫板组成，其中，在包装盒6内部设置泡沫衬角7，用衬角连接板8连接支撑泡沫衬角7，泡沫衬角7及衬角连接板8形成的空间内设置厚度方向泡沫调节垫组10，完成内包装的溅射靶材放置在厚度方向泡沫调节垫组10之上，在泡沫衬角7及完成内包装的溅射靶材之间设置直径方向泡沫调节垫组9，包装盒6内部最上方设置泡沫盖板11。如图2所示。[0023]具体叙述如下实施例1，如图2中包装盒6内长与宽b = 500mm，包装盒内高度h = 70mm ;厚度方向泡沫调节组10最大外径D4 = 430mm、最小外径Dl = 330mm，4片厚度分别为h3 = 20，h3 = 20,h4 = 10和h4 = IOmm ;直径方向泡沫调节垫组9的泡沫垫板高度hi = 80mm,对应直径D2 = 390mm和D3 = 41 Omm即调节板厚度为30mm, 10mm和10mm ;衬角高度hi = 80mm,b4 = 155mm, b5 = 120mm,内圆半径R2 = 215mm,连接狭缝厚度3mm ;用衬角连接板8弧长投影长度b3 = 210mm,厚度为3mm,对应直径D5 = 435mm ;泡沫 盖板11边长b2 = 500mm,h2 = 20mm ;把以上尺寸的包装盒6内部依次放置4个泡沫衬角7用衬角连接板8连接支撑泡沫衬角7，然后放置厚度方向泡沫调节组10中的泡沫板，具体个数视包装靶材厚度而定，放置完成内包装的溅射靶材12后在靠近泡沫衬角4个位置内侧放置直径方向泡沫调节垫组9，直到靶材在包装盒中和泡沫衬角7中没有可活动间隙，即可以包装溅射靶材直径范围325mm-425mm,厚度10mm-50mm的圆形祀材,基本可以覆盖6-8英寸生产线的圆形片祀包装如图4，图5所示，其中图4可包装尺寸直径较小靶材，图5为可包装尺寸直径较大靶材。实施例2，如图2中包装盒6内长与宽b = 400mm，包装盒内高度h = IOOmm ;厚度方向泡沫调节组10最大外径D4 = 300mm、最小外径Dl = 180mm，4片厚度分别为h3 = 30，h3 = 20, h4 = 20mm和h4 = IOmm ;直径方向泡沫调节垫组9的泡沫垫板高度hi = 80mm,对应直径D2 = 220mm和D3 = 260mm即调节板厚度为20mm, 20mm和20mm ;衬角高度hi =80mm, b4 = 160mm, b5 = 120mm,内圆半径R2 = 150mm,连接狭缝厚度3mm ;用衬角连接板8弧长投影长度b3 = 160mm,厚度为3mm,对应直径D5 = 305mm ;泡沫盖板11边长b2 = 400mm,h2 = 20mm ;把以上尺寸的包装盒6内部依次放置4个泡沫衬角7用衬角连接板8连接支撑泡沫衬角7，然后放置厚度方向泡沫调节组10中的泡沫板，具体个数视包装靶材厚度而定，放置完成内包装的溅射靶材后在靠近泡沫衬角4个位置内侧放置直径方向泡沫调节垫组9，直到靶材在包装盒中和泡沫衬角7中没有可活动间隙，即可以包装溅射靶材直径范围175mm-295mm,厚度10mm-60mm的圆形祀材,基本可以覆盖6英寸以下生产线的圆形片革巴包装。实施例3，如图2中包装盒6内长与宽b = 800mm，包装盒内高度h = 80mm ;厚度方向泡沫调节组10最大外径D4 = 530mm、最小外径Dl = 500mm，3片厚度分别为h3 = 20，h3 = 20和h4 = IOmm ;直径方向泡沫调节垫组9的泡沫垫板高度hi = 50mm,对应直径D2=510mm和D3 = 52Ctam即调节板厚度为10mm, ICtam和10mm ;衬角高度hi = 5Ctam, b4 =300mm, b5 = 224mm,内圆半径R2 = 250mm,连接狭缝厚度3mm ;用衬角连接板8弧长投影长度b3 = 250mm,厚度为 3mm,对应直径 D5 = 535mm ;泡沫盖板 11 边长 b2 = 800mm, h2 = 20mm ；把以上尺寸的包装盒6内部依次放置4个泡沫衬角7用衬角连接板8连接支撑泡沫衬角7，然后放置厚度方向泡沫调节组10中的泡沫板，具体个数视包装靶材厚度而定，放置完成内包装的溅射靶材后在靠近泡沫衬角4个位置内侧放置直径方向泡沫调节垫组9，直到靶材在包装盒中和泡沫衬角7中没有可活动间隙，即可以包装溅射靶材直径范围495mm-425mm，厚度10mm-30mm的圆形祀材,基本可以覆盖12英寸生产线的圆形片祀包装。以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式
，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求的保护范围 为准。
权利要求1.一种溅射靶材包装组件，其特征在于该溅射靶材包装组件包括包装盒￠)、泡沫衬角⑵、衬角连接板⑶、直径方向泡沫调节垫组(9)、厚度方向泡沫调节垫组(10)和泡沫盖板(11)六个部分，直径方向泡沫调节垫组(9)和厚度方向泡沫调节垫组(10)分别由多个泡沫板组成，其中，在包装盒(6)内部设置泡沫衬角(7)，用衬角连接板(8)连接支撑泡沫衬角(7)，泡沫衬角(7)及衬角连接板(8)形成的空间内设置厚度方向泡沫调节垫组(10)，完成内包装的溅射靶材放置在厚度方向泡沫调节垫组(10)之上，在泡沫衬角(7)及完成内包装的溅射靶材之间设置直径方向泡沫调节垫组(9)，包装盒￠)内部最上方设置泡沫盖板(11)。
2.根据权利要求I所述的溅射靶材包装组件，其特征在于厚度方向泡沫调节垫组(10)泡沫板的具体个数视包装靶材厚度而定。
3.根据权利要求I所述的溅射靶材包装组件，其特征在于直径方向泡沫调节垫组泡沫板的个数设置以完成内包装的溅射靶材在包装盒中和泡沫衬角(7)中没有可活动间隙为准。
4.根据权利要求I所述的溅射靶材包装组件，其特征在于所能包装的溅射靶材的最大外径不能大于厚度方向泡沫调节垫组的最大外径。
5.根据权利要求I所述的溅射靶材包装组件，其特征在于所能包装的溅射靶材的最小直径不能小于厚度方向泡沫调节垫组的最小直径。
6.根据权利要求I所述的溅射靶材包装组件，其特征在于溅射靶材厚度不能大于泡沫衬角减去最薄厚度方向泡沫调节垫组的厚度。
7.根据权利要求I所述的溅射靶材包装组件，其特征在于泡沫衬角(7)放置在方形包装盒内部的四个角上。
专利摘要本实用新型公开了适用不同直径的各种金属和非金属圆形溅射靶材的包装技术领域的一种在半导体及其他应用领域中使用的溅射靶材包装组件。该溅射靶材包装组件包括包装盒、泡沫衬角、衬角连接板、直径方向泡沫调节垫组、厚度方向泡沫调节垫组和泡沫盖板六个部分，直径方向泡沫调节垫组和厚度方向泡沫调节垫组分别由多个泡沫板组成。增减直径方向的泡沫调节垫组和厚度方向泡沫调节垫组个数本实用新型可以对不同尺寸规格的圆溅射靶材进行有效包装，避免运输过程中的损害；同时简化了更换包装衬板泡沫工序，大大提高了溅射靶材的包装效率。
文档编号B65D85/58GK202529378SQ201220088990
公开日2012年11月14日 申请日期2012年3月9日 优先权日2012年3月9日
发明者何金江, 董亭义, 郭维 申请人:北京有色金属研究总院, 有研亿金新材料股份有限公司