1.一种靶材箱，其特征在于，所述靶材箱包括箱体和箱盖，所述箱体与所述箱盖可密封连接以形成收容靶材的收容空间；
所述箱体或所述箱盖开设有第一气孔，所述第一气孔用于与真空泵连接，以对所述靶材箱进行抽真空，或者，所述第一气孔用于向处于预设真空度的所述靶材箱内通入惰性气体。
2.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述箱体或所述箱盖上还设置有透明的视窗，所述视窗用于观察所述靶材箱内的靶材。
3.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述箱体或所述箱盖上还开设有第二气孔，用于向呈真空状态的所述靶材箱内通入气体，以便于打开所述靶材箱。
4.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述箱体或所述箱盖上还设置有压力表，所述压力表用于指示所述靶材箱内的真空压力。
5.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述箱体或所述箱盖上还穿设有可转动的螺丝杆，所述螺丝杆伸入所述靶材箱内的一端设置有弹性块，所述螺丝杆转动时带动所述弹性块在所述靶材箱内移动，以使弹性块能够对所述靶材箱内的靶材进行固定。
6.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述箱体的底部还设置有至少四个转动轮。
7.根据权利要求6所述的靶材箱，其特征在于，所述箱盖的顶部还设置有与所述至少四个转动轮一一匹配的至少四个凹槽，其中，在多个靶材箱叠放时，上方的靶材箱的转动轮卡设于下方的靶材箱的凹槽内。
8.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述靶材箱还包括：
设置于所述箱体和/或箱盖上的拉手。
9.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述箱体和所述箱盖通过转轴转动连接。
10.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述箱体和所述箱体上分别设置有匹配的锁止结构。