技术总结
本实用新型实施例提供了一种靶材箱，该靶材箱包括箱体和箱盖，所述箱体与所述箱盖可密封连接以形成收容靶材的收容空间；所述箱体或所述箱盖开设有第一气孔，所述第一气孔用于与真空泵连接，以对所述靶材箱进行抽真空，或者，所述第一气孔用于向处于预设真空度的所述靶材箱内通入惰性气体。本实用新型实施例提供的靶材箱，能够解决在运输过程中因真空薄膜破裂而造成靶材被氧化的问题。
技术研发人员：马国秦
受保护的技术使用者：米亚索乐装备集成（福建）有限公司
技术研发日：2018.08.17
技术公布日：2019.06.25