一种便于晶圆拿取装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及半导体制造技术，尤其是关于晶圆的拿取装置。
【背景技术】
[0002]现有技术中，随着电子产品的快速发展，中国的技术人员对芯片的研究及生产也提出更高的要求，为提高生产效率，芯片的生产趋于自动化，实际生产中，在半导体制造领域，经过提炼得到的合格的晶圆成品即硅片需要打标确认，一般是多片晶圆叠加的放置于晶圆盒内的晶圆托盘上，其工作过程为:吸盘式机械手从晶圆盒内吸取一片晶圆，然后置于打标处，待打标完成后，机械手再将打标完毕的晶圆吸取并回放置晶圆托盘上，然后机械手再吸取下一个晶圆。该工作方式很大程度上提高了效率，但是其存在的缺点是由于吸盘式机械手拿取晶圆时需要深入到晶圆盒内，因此不方便拿取晶圆。
【发明内容】
[0003]本发明要解决的问题是提供一种便于晶圆拿取装置，应用该装置能方便快捷的拿取晶圆，从而实现拿取晶圆时的自动化。
[0004]为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是:一种便于晶圆拿取装置，该装置设于工作平台上，包括晶圆盒、拨动机构、运行机构和槽轮机构，所述运行机构连接有第一电机，槽轮机构连接有第二电机；
[0005]所述槽轮机构包括第一轴、第二轴、带有圆柱销的转轮、具有四条径向槽的槽轮，所述转轮固定设置于第一轴上，并且该第一轴外接有电机，所述槽轮固定设置于第二轴上;
[0006]所述晶圆盒设置于工作平台设有的支架上，该晶圆盒包括顶板、底板和侧板，还包括第三轴和托盘，所述顶板、底板和侧板连接形成容纳腔，该容纳腔为一侧设有开口的半封闭容纳腔；所述第三轴竖直连接于顶板和底板间，并且该第三轴位于开口的一侧；所述托盘为圆形且水平设置于容纳腔内，其边缘处设有卡环，所述卡环在与托盘相悖一侧外表面设有第一拨板，所述托盘的上表面设有多个弧形卡齿，并且该多个弧形卡齿内表面位于同一圆周上，所述托盘数量为多个，该多个托盘均通过托盘所设有的卡环叠加地转动连接于第三轴上，所述第三轴的轴心至开口另一侧的距离大于该轴心与托盘边缘最大距离，所述每个托盘和侧板间均水平设有弹簧；
[0007]所述运行机构包括轨道和平板，所述轨道设置于工作平台上表面，所述平板上表面竖直设有支撑板，所述第一轴和第二轴均水平转动地设置于该支撑板上，所述平板通过其下表面设有的车轮位于轨道上，所述轨道包括直线部分和圆弧部分，并且所述直线部分位于晶圆盒的开口侧，所述圆弧部分位于晶圆盒的封闭侧，并且所述轨道的直线部分与第一拨板垂直，所述轨道的圆弧部分的圆心与第三轴的轴心重合；
[0008]所述拨动机构包括齿条和与该齿条相啮合的齿轮，所述齿轮固定套接于第二轴上，所述齿条竖直且活动设置于平板上，并且该齿条两端均穿射出平板，所述齿条的上部设有能拨动第一拨板转动的第二拨板；
[0009]所述工作平台上设有与轨道平行的贯穿槽，且该贯穿槽与齿条正对。
[0010]进一步，所述槽轮机构外设有保护罩，该保护罩固定于平板上，所述第二轴穿射出保护罩，所述齿轮位于第二轴穿射出保护罩端。
[0011]进一步，所述槽轮机构为外啮合式槽轮机构。
[0012]进一步，所述齿条与平板间设有导向块，该导向块固定于平板上。
[0013]进一步，所述卡环和第三轴之间设有轴承。
[0014]进一步，所述卡环间设有高度相同的套筒，所述套筒固定套接于第三轴上。
[0015]本发明具有的优点和积极效果是:
[0016]I).该装置中的晶圆盒所盛放的晶圆托盘能绕轴转出，在机械手吸盘吸取晶圆时方便快捷，提高工作效率；
[0017]2).拨动机构和运行机构联合作用下实现对晶圆盒中的托盘机械自动拨转，省却人工操作，进而降低了人工损耗；
[0018]3).该装置中槽轮机构的应用实现了在该装置的作用下，拨动机构对托盘按次序间歇的自动拨转，从而提高了效率。
【附图说明】
[0019]图1是本发明主视图；
[0020]图2是本发明左侧视图；
[0021 ]图3是本发明俯视图；
[0022]图4是本发明中晶圆盒A-A视图；
[0023]图5是本发明的槽轮机构原理图；
[0024]图6是本发明中平板和齿条部分剖视图；
[0025]图中:
[0026]1.平板， 2.支撑板， 3.槽轮， 4.第二电机，5.转轮，
[0027]6.第一轴，7.圆柱销， 8.齿条，9.晶圆盒， 10.齿轮，
[0028]11.第二轴，12.导向块， 13.轨道， 14.工作平台，15.车轮，
[0029]16.支架，17.第二拨板，18.贯穿槽，19.保护罩， 20.第一电机
[0030]91、托盘，92、弹簧，93、弧形卡齿，94、卡环，95、第一拨板。
【具体实施方式】
[0031]现根据附图对本发明进行描述，如图1?图6所示，一种便于晶圆拿取装置，该装置设于工作平台14上，包括晶圆盒9、拨动机构、运行机构和槽轮机构，所述运行机构由第一电机20控制，槽轮机构由第二电机4控制；
[0032]所述槽轮机构包括第一轴6、第二轴11、带有圆柱销7的转轮5、具有四条径向槽的槽轮3，所述转轮5固定设置于第一轴6上，并且该第一轴6外接有电机4，所述槽轮3固定设置于第二轴11上；槽轮机构的应用能够实现间歇性的移动要求，并能保证移动距离的精度要求；
[0033]所述晶圆盒9设置于工作平台14设有的支架16上，该晶圆盒包括顶板、底板和侧板，还包括第三轴96和托盘91，所述顶板、底板和侧板连接形成容纳腔，该容纳腔为一侧设有开口的半封闭容纳腔；所述第三轴96竖直连接于顶板和底板间，并且该第三轴96位于开口的一侧；所述托盘91为圆形且水平设置于容纳腔内，其边缘处设有卡环94，所述卡环94在与托盘91相悖一侧外表面设有第一拨板95，所述托盘91的上表面设有多个弧形卡齿93，并且该多个弧形卡齿93内表面位于同一圆周上，所述托盘91数量为多个，该多个托盘91均通过托盘所设有的卡环94叠加地转动连接于第三轴96上，所述第三轴96的轴心至开口另一侧的距离大于该轴心与托盘91边缘最大距离，所述每个托盘91和侧板间均水平设有弹簧92 ;该晶圆盒的设计使得晶圆托盘能够移出晶圆盒，从而使得机械手吸取晶圆是在盒外进行，不受空间的限制，拿取晶圆方便快捷；
[0034]所述运行机构包括轨道13和平板I，所述轨道13设置于工作平台14上表面，所述平板I上表面竖直设有支撑板2，所述第一轴6和第二轴11均水平转动设置于该支撑板2上，所述平板I通过其下表面设有的车轮位于轨道13上，所述轨道13包括直线部分和圆弧部分，并且所述直线部分位于晶圆盒9的开口侧，所述圆弧部分位于晶圆盒9的封闭侧，所述轨道13的直线部分与第一拨板95垂直，所述轨道13的圆弧部分