红外线金属化有机薄膜时效处理装置的制作方法

文档序号:4483533阅读:187来源:国知局
专利名称:红外线金属化有机薄膜时效处理装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种促进金属化薄膜再结晶排序的电热装置。
背景技术
目前在进行金属化薄膜时效处理时是利用电炉或暖气进行加热,温度控制精度低,空气湿度大,易造成金属化薄膜的老化或金属层氧化,使产品质量下降。

发明内容
本实用新型的目的是提供一种温度控制准确的红外线金属有机薄膜时效处理装置。
为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案为一种红外线金属化有机薄膜时效处理装置,它包括一个外壳,在外壳入口处设有一个测温器,在外壳内装有红外发热元件,外壳出口处装有风扇,在壳体外设有控制器,红外发热元件和测温器均与控制器相连接。
采用上述方案后,本实用新型具有加热均匀、温度一致可靠、温度控制准确的优点,提高了金属化有机薄膜的产品质量。


附图所示为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
红外线金属化有机薄膜时效处理装置包括一个外壳2,在外壳2入口处设有一个测温器1,在外壳2内装有红外发热元件3,外壳2出口处装有风扇5,在外壳外设有控制器4,红外发热元件3和测温器1均与控制器4相连接。
其工作原理是控制器4根据入口测温器1测得的温度,控制红外发热元件3加热与否,而红外发热元件3产生的热量由出口处的风扇强制进行热量循环。
权利要求一种红外线金属化有机薄膜时效处理装置,其特征在于,它包括一个外壳,在外壳入口处设有一个测温器,在外壳内装有红外发热元件,外壳出口处装有风扇,在壳体外设有控制器,红外发热元件和测温器均与控制器相连接。
专利摘要本实用新型涉及一种红外线金属化有机薄膜时效处理装置,它包括一个外壳,在外壳入口处设有一个测温器,在外壳内装有红外发热元件,外壳出口处装有风扇,在壳体外设有控制器,红外发热元件和测温器均与控制器相连接。本实用新型具有加热均匀、温度一致可靠、温度控制准确的优点,提高了金属化有机薄膜的产品质量。
文档编号B29C71/02GK2675388SQ20042001014
公开日2005年2月2日 申请日期2004年2月6日 优先权日2004年2月6日
发明者宣俊杰, 刘宝灵 申请人:郑州华翔电子有限公司
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