一种振动辅助热压印的装置及方法与流程

文档序号:17194389发布日期:2019-03-22 23:20阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种振动辅助热压印的装置及方法,由电控杆、上底板、滑动板、导杆、温度调控装置、下底板、支撑架、超声波发生装置、承重板、加热板、真空吸盘一和真空吸盘二组成,将模板固定于真空吸盘一上,将衬底固定于真空吸盘二上,对模板和衬底进行预热,加热至指定温度后将进行预压,通过超声波振子施加超声波振动,协调温度调控装置将衬底上的聚合物加热至玻璃化温度后进行压印,压印完毕后通过温度调控装置进行冷却固化,并完成脱模。本发明加速了聚合物成型的速率,降低了对模板及衬底的损伤,降低了所需的成本。

技术研发人员:谷岩;林洁琼;韩金国;张群;孙慧岩;李景鹏;郑恭承;曹东旭;刘阳;孙彦东;全威龙;易正发;戴得恩;冯开拓
受保护的技术使用者:长春工业大学
技术研发日:2017.09.14
技术公布日:2019.03.22
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