流直接相互作用。通过不被提供或定位于燃烧室或燃烧区域内，红外探测器不大可能倾向于以与热电偶相同的方式沉积排出反应产物。因此可能红外探测器更不可能给出错误的负信号或正信号，引起燃烧系统不必要的关机。
[0025]燃烧特性监测器可以包括探测器和分析单元，分析单元可以形成燃烧器控制单元的一部分。
[0026]根据一个实施例，燃烧特性监测器可以被操作为确定由燃烧表面发射的红外辐射是否在可接受的运行参数内。那些参数可以包括表明最佳燃烧器运行的一系列可接受的值。
[0027]根据一个实施例，如果由燃烧特性监测器确定的燃烧性能被确定为落在可接受的运行参数之外，则辐射燃烧器控制器可操作为发起一个或多个改进措施。
[0028]根据一个实施例，所述改进措施包括:发起辐射燃烧器关机或激活用户警报。此夕卜，根据一些实施例，可以调整辐射燃烧器的运行性能特性来改变来自燃烧表面的红外发射和尝试使它们更接近那些表征最佳燃烧器运行的参数。
[0029]根据一个实施例，辐射燃烧器控制器可操作为基于由燃烧特性监测器确定的燃烧性能来控制被馈送至辐射燃烧器燃烧表面的燃烧材料。所述燃烧材料可以包括例如燃料气体(如甲烷、天然气、氢气)的燃料和空气的混合。
[0030]根据一个实施例，辐射燃烧器控制器可操作为基于由燃烧特性监测器确定的燃烧性能来增加或减小被馈送至辐射燃烧器燃烧表面的燃烧材料中的至少一个的给料速率。因此，对燃烧器的燃料的供给速率或空气的供给速率可以基于被监测的由燃烧表面发射的红外(IR)福射而被调节。
[0031]根据一个实施例，辐射燃烧器控制器可操作为基于由燃烧特性监测器确定的燃烧性能来控制被馈送至辐射燃烧器燃烧表面的燃烧材料的组分。
[0032]根据一个实施例，辐射燃烧器控制器可操作为基于由燃烧特性监测器确定的燃烧性能来增加或减少被馈送至辐射燃烧器燃烧表面的燃烧材料中的燃料与空气之比。
[0033]根据一个实施例，燃烧特性监测器可操作为通过监测表征辐射燃烧器的理想运行参数的一个或多个红外辐射波长来确定辐射燃烧器的燃烧性能。
[0034]根据一个实施例，燃烧特性监测器可操作为通过监测表征辐射燃烧器的理想运行参数的在400nm至I 10nm之间的一个或多个红外辐射波长来确定辐射燃烧器的燃烧性能。
[0035]根据一个实施例，燃烧特性监测器可操作为通过监测在一个或多个红外辐射波长处接收的表征辐射燃烧器在所述波长处的理想运行参数的辐射的强度来确定辐射燃烧器的燃烧性能。
[0036]根据一个实施例，燃烧特性监测器可操作为通过监测在400nm和IlOOnm之间，特别是SOOnm附近的一个或多个红外辐射波长处接收的表征辐射燃烧器在所述波长处的理想运行参数的辐射的强度来确定辐射燃烧器的燃烧性能。
[0037]根据一个实施例，燃烧特性监测器可操作为通过监测在一个或多个红外辐射波长处接收的表征辐射燃烧器在所述波长处的理想运行参数的辐射的强度之比来确定辐射燃烧器的燃烧性能。
[0038]根据一个实施例，燃烧特性监测器可操作为监测由燃烧表面发射的电磁辐射和通过执行与被监测的电磁谱相关的光谱分析来确定辐射燃烧器的燃烧性能。因此，在一些实施例中，电磁谱的区域可以在红外区域之外或之内被监测。在一些实施例中，可能可以分析在燃烧室内发生的过程。例如，可能可以识别可能在燃烧室中形成的产物。因此，在一些实施例中，可能可以响应于燃烧室内的材料的光谱分析而控制添加至待被辐射燃烧器处理的废气流的添加剂。例如，燃料和/或氧化剂可以通过响应于在由燃烧表面发射的电磁谱的被监测区域内执行的原位非侵入性分析而通过被引入废气流来添加。
[0039]根据一个实施例，燃烧特性监测器和辐射燃烧器控制器可操作为连续地监测和控制辐射燃烧器的运行从而操作为形成运行的反馈回路。
[0040]第二方面提供了一种监测和控制用于处理来自制造加工工具的废气流的辐射燃烧器的运行的方法，辐射燃烧器包括具有多孔套筒的燃烧室，燃烧材料穿过多孔套筒以便贴近多孔套筒的燃烧表面燃烧；所述方法包括:监测从燃烧表面发射的红外辐射来确定辐射燃烧器的燃烧性能；并且基于由监测确定的燃烧性能来控制辐射燃烧器的运行。
[0041]根据一个实施例，所述方法还包括确定由燃烧表面发射的红外辐射是否落在可接受的运行参数内。
[0042]根据一个实施例，如果燃烧性能被确定为落在可接受的运行参数之外，则发起一个或多个改进措施。
[0043]根据一个实施例，所述改进措施包括:发起辐射燃烧器关机或激活用户警报。
[0044]根据一个实施例，所述方法还包括基于确定的燃烧性能来控制被馈送至辐射燃烧器燃烧表面的燃烧材料。
[0045]根据一个实施例，所述方法包括基于确定的燃烧性能来增加或减小被馈送至辐射燃烧器燃烧表面的燃烧材料的给料速率。
[0046]根据一个实施例，所述方法包括基于确定的燃烧性能来控制被馈送至辐射燃烧器燃烧表面的燃烧材料的组分。
[0047]根据一个实施例，所述方法包括基于确定的燃烧性能来增加或减小被馈送至辐射燃烧器燃烧表面的燃烧材料中的燃料与空气之比。
[0048]根据一个实施例，所述方法包括监测表征辐射燃烧器的理想运行参数的一个或多个红外辐射波长。
[0049]根据一个实施例，所述方法包括监测在一个或多个红外辐射波长处接收的表征辐射燃烧器在所述波长处的理想运行参数的辐射的强度。
[0050]根据一个实施例，所述方法包括监测在一个或多个红外辐射波长处接收的表征辐射燃烧器在所述波长处的理想运行参数的辐射的强度之比。
[0051 ] 根据一个实施例，所述方法包括通过执行与监测的电磁谱相关的光谱分析来监测由燃烧表面发射的电磁辐射和确定辐射燃烧器的燃烧性能。
[0052]根据一个实施例，所述方法包括连续地监测和控制辐射燃烧器的运行从而操作为形成运行的反馈回路。
[0053]第三方面提供了一种与用于处理来自制造加工工具的废气流的辐射燃烧器共同使用的辐射燃烧器燃烧监测器，辐射燃烧器包括:具有多孔套筒的燃烧室，燃烧材料从多孔套筒穿过以便贴近多孔套筒的燃烧表面燃烧；燃烧监测器包括:红外辐射监测器，所述红外辐射监测器被设置为监测从辐射燃烧器的燃烧表面发射的红外辐射和基于那些发射确定辐射燃烧器的燃烧性能；红外辐射监测器可联接到辐射燃烧器控制器，所述辐射燃烧器控制器可操作为基于由红外辐射监测器确定的燃烧性能来控制辐射燃烧器的运行。
[0054]进一步的特定的和优选的方面在所附独立权利要求和从属权利要求中列出。从属权利要求的特征可以与独立权利要求的特征适当地组合，以及以权利要求中明确列出的方式之外的方式组合。
[0055]当设备特征被描述为可操作为提供一种功能时，应当理解的是这包括提供所述功能或者被调节或被设置为提供所述功能的设备特征。
【附图说明】
[0056]现在将参考附图进一步描述本发明的实施例，其中:
图1示出了典型的辐射燃烧器；以及图2示意地示出了根据一个实施例的辐射燃烧器的一些部件。
【具体实施方式】
[0057]辐射燃烧器:一般构造和运行
图1总体上以8示出了辐射燃烧器。辐射燃烧器8处理通常借助于真空栗吸系统从例如半导体或平板显示器加工工具的制造加工工具抽出的废气流。图1和图2中示出的辐射燃烧器是通常被用于处理来自化学气相沉积制造工艺的废气的类型。废气流在入口 10处被接收。废气流从入口 10被输送至喷嘴12，喷嘴12将废气流喷入圆筒形燃烧室14内。在该实施例中，辐射燃烧器8包括沿圆周布置的四个入口 10，每个入口输送通过各自的真空栗吸系统从各自的工具抽出的废气流。替代地，来自单个加工工具的废气流可以被分成多股气流，每股气流被输送至各自的入口 10。每个喷嘴12位于各自的孔16内，孔16形成在限定了燃烧室14的上表面或入口表面的陶瓷顶板18中。
[0058]燃烧室14具有由小孔燃烧器元件20的排出表面21限定的侧壁，例如在EP O 694735中所描述的。燃烧器元件20是圆筒形的，并且被保持在圆筒形外壳24内。充气空间22被限定在燃烧器元件20的进入表面23和圆筒形外壳24之间。例如天然气或碳氢化合物的燃料气体和空气的混合物经由一个或多个进气喷嘴25被引入充气空间22内。燃料气体和空气的混合物从燃烧器元件20的进入表面23行进至燃烧器元件20的排出表面21以便在燃烧室14内燃烧。
[0059]燃料气体和空气的混合物的比例可以被改变以将燃烧室14内的温度改变到合适于处理废气流