专利名称：陶瓷成形品的热处理方法及热处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及例如进行脱脂处理等的陶瓷成形品的热处理方法和热处理装置。
背景技术：
在陶瓷电子零件等的陶瓷成形品制造工序中，具有在陶瓷粉末中添加有机粘结剂、有机增塑剂等，在赋予流动性的状态下进行模压的模制工序。因此，必须具有在模制后将不需要的有机粘结剂在烧结等高温处理前除去(脱脂)的工序。
进行此类脱脂时，为了避免陶瓷成形品产生裂纹、气泡或表层剥离等的不良情况，重要的是应控制其脱脂速度。
一般，此类脱脂有两种方法通过使有机粘结剂等燃烧进行脱脂和通过使有机粘结剂等蒸发燃烧进行脱脂。
在通过有机粘结剂等燃烧进行脱脂时，已知有下列两项技术根据脱脂速度，炉内的一氧化碳发生量和氧气成分比例会有变化，按照炉内一氧化碳发生量的管理，通过对燃烧温度和燃烧氛围气体的控制，从而控制脱脂速度(如参照专利文献1)；按照炉内燃烧所必需的氧气成分比例的管理，通过对燃烧温度和燃烧氛围气体的控制，从而控制脱脂速度(如参照专利文献2)。
(专利文献1)特开平7-76132号(全部页、全部图)(专利文献2)特开平3--230090号(全部页、全部图)但是，在上述脱脂速度控制中，脱脂处理的初期在炉内变化为一氧化碳之前，有机成分已开始挥发，或者是由该挥发的有机成分生成诸如醋酸、乙醛、乙醇等的中间产物，但是对于一氧化碳还没有检测到，有时就判断为尚未进行脱脂。这时，为了促进脱脂，有可能对炉内温度进行控制，使之上升到比该状态下用于脱脂的适当温度还要高的高温。若进行了这样的控制，则脱脂就急速进行，使粘结剂和增塑剂从陶瓷成形品中迅速消失，从而有可能导致在该成形品上产生裂纹等不良情况。
因此，即使是单纯有关挥发和蒸发的有机成分也要正确地进行该检测。
本发明鉴于上述实际情况，作为要解决的课题，提供了陶瓷成形品的热处理方法和热处理装置，使之能对热处理过程中从陶瓷成形品中挥发的有机成分确切地检测，可以对陶瓷成形品进行正确的热处理，从而能提高优等品率。
发明内容
(1)本发明的第1陶瓷成形品的热处理方法的特征是具有下列工序在热处理炉内对陶瓷成形品进行热处理过程中，取出上述热处理炉内的氛围气体作为试样，将该试样中的碳成分转化为特定碳化物的转化工序；检测该转化后的特定碳化物在上述试样中的成分比例的成分比例检测工序。
试样中的碳成分是指主要是试样中所包含的有机成分等中的碳成分。将试样中的碳成分转化为碳化物是指，构成主要作为各种有机化合物存在于试样中的有机成分的碳，如经使该碳完全燃烧的过程，从而使碳成分绝大部分都化学性地转化为仅以特定碳化物的形式而存在的状态。
由于本发明可通过将伴随热处理所产生的有机成分中的碳成分转化为特定的碳化物，检测该特定碳化物在试样中的成分比例，根据该成分比例的检测结果，对于从陶瓷成形品中挥发和蒸发的有机成分，以高正确性对其数量和挥发速度等进行换算，所以能高精度地掌握实际的有机成分从陶瓷成形品中的脱离状况。
(2)本发明的第2陶瓷成形品热处理方法的特征是具有下列工序在热处理炉内对陶瓷成形品进行热处理过程中，取出上述热处理炉内的氛围气体作为试样，将该试样中的碳成分转化为特定碳化物的转化工序；和检测该转化后的特定碳化物在上述试样中的成分比例的成分比例检测工序；和根据该成分比例的检测结果，对上述热处理炉内的热处理进行控制的控制工序。
本发明可通过将伴随热处理所产生的有机成分中的碳成分转化为特定的碳化物，检测该特定碳化物在试样中的成分比例，根据该成分比例的检测结果，对于从陶瓷成形品中挥发和蒸发的有机成分，以高正确性对其数量和挥发速度等进行换算，因而能高精度地掌握实际的有机成分从陶瓷成形品中的脱离状况，同时根据该实际的有机成分从陶瓷成形品中的脱离状况，可对陶瓷成形品进行适当的热处理控制。
本发明的第1及第2陶瓷成形品热处理方法，上述特定的碳化物最好是二氧化碳，同时上述转化工序最好是使上述试样完全燃烧，并使该试样中的碳成分转化为二氧化碳的工序。这时，根据试样中所包含的二氧化碳浓度的检测结果，可实现热处理炉内的氛围气体中所含挥发的有机成分量的换算，从而可精确、方便地检测从热处理炉内的陶瓷成形品挥发出来的有机成分量和其挥发速度等。
本发明的第2陶瓷成形品热处理方法，最好是上述控制工序的热处理控制为温度控制。这时，通过温度控制，能精确地控制有关从陶瓷成形品中有机成分的脱离情况。
本发明的第2陶瓷成形品热处理方法，最好是上述控制工序的热处理控制为氛围气体成分比例的控制。这时，通过对氛围气体成分比例的控制，能精确地控制有关从陶瓷成形品中有机成分的脱离情况。
本发明的第2陶瓷成形品热处理方法，最好是上述控制工序根据上述碳化物成分比例的检测结果，对上述热处理进行反馈控制，使之逐步达到规定的碳化物成分比例。这时，关于从陶瓷成形品中有机成分的脱离情况能精确且应答性良好地进行反馈控制，从而能大量生产高质量的陶瓷成形品。
(3)本发明的第1陶瓷成形品的热处理装置的特征是具有下列部分对陶瓷成形品进行热处理的热处理炉；以热处理中的氛围气体为试样，从该热处理炉内取出，将该试样中的碳成分转化为特定碳化物的转化部；检测在该转化部转化后的特定碳化物在上述试样中的成分比例的成分比例检测部。
本发明的陶瓷成形品热处理装置，可通过将伴随热处理所产生的有机成分中的碳成分转化为特定的碳化物，检测该特定碳化物在试样中的成分比例，根据该成分比例的检测结果，对于从陶瓷成形品中挥发和蒸发的有机成分，以高正确性地对其数量和挥发速度等进行换算，从而能高精度地掌握实际的有机成分从陶瓷成形品中的脱离状况。
(4)本发明的第2陶瓷成形品热处理装置的特征是具有下列部分对陶瓷成形品进行热处理的热处理炉；以热处理中的氛围气体为试样，从该热处理炉内取出，将该试样中的碳成分转化为特定碳化物的转化部；检测在此转化部转化后的特定碳化物在上述试样中的成分比例的成分比例检测部；和根据该成分比例检测部的成分比例检测结果，对上述热处理炉内的热处理进行控制的控制部。
本发明的陶瓷成形品的热处理装置，可通过将伴随热处理所产生的有机成分中的碳成分转化为特定的碳化物，检测该特定碳化物在试样中的成分比例，根据该成分比例的检测结果，对于从陶瓷成形品中挥发和蒸发的有机成分，以高正确性地对其数量和挥发速度等进行换算，从而能高精度地掌握实际的有机成分从陶瓷成形品中的脱离状况，同时根据该脱离情况，可以对陶瓷成形品进行适当的热处理控制。
为了掌握热处理中陶瓷成形品的脱脂状况，对于测定陶瓷成形品重量的手段以往也有提案。但如果设置可实际运作的上述重量测定手段，则会出现设备需大型化、成本提高等问题，与此相对应，本发明的热处理装置具有实现设备小型化等优点。
本发明的第1及第2陶瓷成形品热处理装置，最好是上述特定的碳化物为二氧化碳，同时上述转化部的结构可使上述试样完全燃烧，使该试样中的碳成分转化为二氧化碳。这时，根据试样中所包含的二氧化碳浓度的检测结果，可进行热处理炉内的氛围气体中所含挥发的有机成分量的换算，从而可精确、方便地检测从热处理炉内的陶瓷成形品挥发出来的有机成分量和其挥发速度等。
本发明的第1及第2陶瓷成形品热处理装置，最好是上述转化部配置在上述热处理炉的热处理空间内。该情况下，和将转化部配置在热处理炉的外部相比，热处理空间内的热量可以作为预热而加以利用，实现有机成分向二氧化碳的转化，用于该转化的加热处理可以节省能量。而且，使试样从热处理炉导向转化部的结构等也可变得简单。再者，将转化部设在外部时，在将试样从热处理空间移送到转化部的管道途中，由于氛围气体的温度降低，使部分氛围气体有可能在该管道上结露，由于该结露情况的发生，二氧化碳浓度的检测精度也会导致降低。而转化部等设置在高温环境下，可以避免上述结露的发生，可以高精度地进行二氧化碳浓度的检测。
本发明的第2陶瓷成形品热处理装置，最好是上述控制部具有对热处理的温度进行控制的温度控制手段。该情况下，通过温度控制就能对于从陶瓷成形品中脱离的有机成分高精度地进行控制。
本发明的第2陶瓷成形品热处理装置，最好是上述控制部具有根据上述碳化物成分比例的检测结果，对上述热处理进行反馈，使之逐步达到规定的碳化物成分比例的控制手段。该情况下，根据氛围气体成分比例的控制，使之逐步达到规定的碳化物成分比例，从而可高精度地控制从陶瓷成形品中脱离的有机成分。
图1是表示本发明实施形态的热处理装置的概略说明图。
图2是表示热处理空间内的温度和检测的二氧化碳浓度之间的关系图。
图3是表示热处理经过时间下的热处理空间内的温度及氛围气体中二氧化碳浓度之关系图。
图4是表示热处理经过时间下的二氧化碳浓度的控制曲线和按此控制的热处理空间的温度关系图。
图5是简单表示本发明实施形态的热处理工序的流程图。
图6是表示本发明其他实施形态的热处理装置的概略说明图。
(符号说明)1 热处理装置2 热处理炉4 氛围气体的燃烧装置(转化装置)5 气体浓度计(成分比例检测部)6 控制装置具体实施方式
以下，根据附图所示的实施形态详细说明本发明。
图1至图5，图1是表示本发明实施形态的热处理装置的概略说明图，图2是表示热处理空间内的温度和检测的二氧化碳浓度之间的关系图，图3是表示热处理经过时间下的热处理空间内的温度及氛围气体中二氧化碳浓度之关系图，图4是表示热处理经过时间下的二氧化碳浓度的控制曲线和按此控制的热处理空间的温度关系图，图5是表示热处理工序的流程图。
参照图1，表示如用于对层叠陶瓷电容器等的陶瓷成形品进行脱脂处理的热处理装置。
该热处理装置可具有连续式热处理炉，也可具有间歇式热处理炉。这里对于具有间歇式热处理炉的装置加以说明。热处理装置1的结构具有下列装置、部件间歇式热处理炉2；从该热处理炉2的热处理空间3取出氛围气体为试样，将试样中的有机成分等中的碳成分转化为二氧化碳的转化部，即氛围气体燃烧装置4；从在氛围气体燃烧装置4中转化为二氧化碳状态的试样，检测二氧化碳浓度的成分比例检测部，即气体浓度计5；根据由该气体浓度计5检测的二氧化碳的浓度，对热处理空间3内的温度进行控制的控制部，即控制装置6。
热处理炉2的结构具有由绝热壁7在上下、前后、左右几乎全方位包围的热处理空间3。在该热处理空间3内，将可堆积许多个层叠陶瓷电容器的盒子8，以上下堆积多数段的状态设置于炉床的台面9上。在热处理空间3内，配备有作为加热手段的加热器10，同时配备有用于检测炉内温度的温度传感器11。在热处理空间3内，氛围气体可通过盒子8循环(图1中氛围气体的循环形式是用空白箭头表示的一例)，也可以设置送风扇等的氛围气体循环装置。而且还可设置图中未示出的、例如向热处理空间内供给空气等的新鲜氛围气体的氛围气体供给装置。
氛围气体燃烧装置4是在进行热处理时，每隔规定时间(例如10分钟)以热处理空间3内的氛围气体为试样，通过管道取出规定量，用图中未示出的加热器使该试样加热，从而使有机成分等燃烧的装置。在氛围气体燃烧装置4中，该燃烧的温度是1000℃，燃烧的时间约为1秒钟。作为氛围气体燃烧装置4的燃烧加热手段，并不限定是电加热的加热器，也可以进行气体加热，气体加热时可以是燃料气体等不和氛围气体混合的间接加热。此外，燃烧时的加热温度及时间也并不限于上述。通过该燃烧处理，燃烧后的试样一氧化碳浓度判明为100ppm以下，在上述燃烧条件下有机成分中的碳成分几乎完全转化为二氧化碳。
在氛围气体燃烧装置4中经燃烧处理的试样气体，通过管道供给到气体浓度计5，由气体浓度计5所具备的红外线式二氧化碳浓度计测定作为试样气体中的二氧化碳浓度的二氧化碳浓度。该测定结果的二氧化碳浓度信息转化为电信号，传送到控制装置6。
控制装置6，根据由气体浓度计5输入的二氧化碳的浓度信息，与通过预实验等绘制的温度控制曲线(参照图2)相比较，再与温度传感器11的检测温度相比较，对输向加热器的电力进行控制，使热处理空间3内的温度达到与该温度控制曲线下的二氧化碳浓度相对应的最佳温度。或者是控制装置6，根据由气体浓度计5输入的二氧化碳的浓度信息，与通过预实验等绘制的二氧化碳浓度控制曲线(参照图4)相比较，再根据温度控制曲线与来自温度传感器11的检测温度相比较，对输向加热器的电力进行控制，成为使热处理空间3内的二氧化碳浓度达到与该二氧化碳浓度控制曲线下的二氧化碳浓度相对应的最佳温度。关于上述控制后面还将加以说明。
下面，利用热处理装置1对于所希望的陶瓷电容器的陶瓷成形品进行脱脂处理时，作为控制目标的温度控制曲线或二氧化碳浓度控制曲线的绘制工序，按照图3加以说明。
对于所希望的层叠陶瓷电容器的陶瓷成形品，安排与进行脱脂处理生产实际产品时的脱脂工序同样的状态，将该陶瓷成形品的工件收藏于热处理炉2内的盒子8中。接着，按照预先适当设定的温度曲线开始热处理空间3内的温度控制。图3中，横坐标表示经过时间，原点为脱脂热处理的开始，纵坐标表示将挥发的有机成分中的碳成分换算为二氧化碳后的二氧化碳浓度以及热处理空间内的氛围气体温度。这时的温度曲线如图3中用细线所示，温度控制在初始的单位时间里温度上升率设定得比较低，该温度控制被认为是使过去从陶瓷成形品中有机成分的脱离速度过快而产生缺陷，经过规定时间后，进行提高该温度上升率的升温，然后经过规定时间后进行保持恒定温度的设定。按照该温度曲线控制温度时，每隔规定时间(例如10分钟)取出热处理空间3内的氛围气体作为试样，用气体浓度计5测定氛围气体燃烧装置4中完全燃烧的试样。根据该测定所得到的二氧化碳浓度在图3中用粗线表示。这样就可以得到如图2所示的脱脂工序的温度和在此温度下将从陶瓷成形品脱离的有机成分中的碳成分转化为二氧化碳浓度之间的关系。此外，根据预先设定的温度曲线进行温度控制时，按照所得到的脱脂工序的二氧化碳浓度变动情况，绘制如图4中用粗线所示的、实际生产产品时从脱脂工序脱脂处理开始时的二氧化碳浓度控制曲线。该曲线的绘制可以用计算机自动绘制，也可以用手工操作。如上所述，利用热处理装置1对于陶瓷成形品进行脱脂处理包含了下述工序对于热处理炉内的氛围气体经过燃烧等方式转化为特定的碳化物、该实施形态是转化为二氧化碳的工序；检测该碳化物在试样中的成分比例的工序。这种热处理方法相当于权利要求1的发明。
按照如上述所得到的温度控制曲线及二氧化碳浓度的控制曲线，对于控制脱脂工序热处理的热处理方法，根据图2、图4及图5的流程加以说明。
对于所希望的层叠陶瓷电容器的陶瓷成形品进行脱脂处理的脱脂处理温度，和将伴随脱脂处理从陶瓷成形品脱离的有机成分中的碳成分转化为二氧化碳、该二氧化碳在氛围气体中的浓度关系的控制曲线之一例如图2所示。在图2中，横坐标为热处理空间内的氛围气体温度，纵坐标为二氧化碳浓度。在图2中还用虚线例示了以往的控制曲线。本发明实施形态的控制曲线在图2中用实线表示。以往的场合为对应于热处理炉内氛围气体中的二氧化碳浓度的控制曲线。以往，大致在120℃～200℃之间的氛围气体温度时，虽然实际上是处于有机成分从陶瓷成形品中挥发的状态，但是由于没有检测到，所以对于该没有检测的、在氛围气体温度下，对从陶瓷成形品脱离的有机成分没有进行控制。本实施形态中，将过去没有检测到的挥发有机成分作为二氧化碳的成分比例可正确地检测，所以根据检测的二氧化碳浓度，可进行适当抑制热处理温度的控制。
该控制过程如同4所示。图4中，横坐标表示经过时间，原点为脱脂热处理开始点，纵坐标表示挥发的有机成分中的碳成分换算为二氧化碳后的该二氧化碳浓度及热处理空间内的氛围气体温度。图4中，粗线表示从脱脂工序开始时点起的经过时间的二氧化碳浓度控制曲线，细线表示按照该二氧化碳浓度的控制曲线和图2所示的温度控制曲线进行温度控制时的热处理空间3内的温度变化状况。脱脂工序的初期，按预先设定的每单位时间的温度上升率使热处理空间3内升温，然后按照二氧化碳浓度的控制曲线进行温度控制。对于进行该温度控制时的热处理空间3内的温度，如图4所示，当二氧化碳控制曲线的二氧化碳浓度为0％时，按规定的温度上升率升温，在控制曲线的二氧化碳浓度以比较缓慢的恒定增加率增加的区域，描绘在该恒定增加率下二氧化碳浓度增加的轨迹，将从实际的试样所得到的二氧化碳浓度和该轨迹上的二氧化碳浓度相比较，对从实际的试样所得到的二氧化碳浓度进行反馈控制，使其偏差变小。同样，从经过规定时间后的二氧化碳浓度起，以高于以前的二氧化碳浓度增加率的预先设定的增加率描绘二氧化碳浓度增加的轨迹，将从实际的试样所得到的二氧化碳浓度和该轨迹上的二氧化碳浓度相比较，对从实际的试样所得到的二氧化碳浓度进行反馈控制，使其偏差变小。而且，经过规定时间后控制曲线的二氧化碳浓度为急速降低的过程。在该过程中，对保持预先设定的温度进行控制，再经过规定时间后，温度控制停止，进行冷却处理。
如上所述，由于本发明在对陶瓷成形品进行脱脂的热处理工序中，对于该工序初期的有机成分的挥发和蒸发物，将热处理空间中的氛围气体取出作为试样，测定该试样中有机成分几乎全部转化为二氧化碳后该二氧化碳浓度，根据该测定结果，进行热处理空间的温度控制，所以能避免脱脂不适当地急速进行等的不良情况。因此，脱脂处理后的陶瓷成形品中伴随脱脂处理所产生的不良产品与过去相比要低。
按照图5的流程对于上述热处理工序进行说明。使加热器10温度上升、开始热处理，然后每隔规定时间，用控制装置6读取作为现时点的控制对象气体浓度的由气体浓度计5测得的二氧化碳浓度和由温度传感器所得到的热处理空间3内的温度(参照图5的步骤S1)。接着，判断该读取的温度是否在预先设定的控制实际进行状态的控制对象温度范围内(参照图5的步骤S2)，如在该范围内，以由该时点的二氧化碳浓度控制曲线所设定的二氧化碳浓度为目标进行设定(参照图5的步骤3)。根据实测的二氧化碳浓度和目标的二氧化碳浓度之间的偏差，计算用于温度控制的加热器输出，使该偏差变小(参照图5的步骤4)，根据该计算结果控制加热器的输出(参照图5的步骤S5)。每隔规定时间反复以上操作，按照规定的二氧化碳浓度控制曲线进行控制，在脱脂结束的时点(参照图5的步骤S6)结束热处理工序。
本发明者通过实际进行上述热处理，对于具有3.2mm×1.6mm×1.8mm尺寸的1μF层叠陶瓷电容器进行脱脂处理和对于同种的陶瓷电容器按照过去的方法进行脱脂处理，两者的剥离(分层剥离)发生率如表1所示。
(表1)剥离的发生率(n＝10000)
对于本发明的方法和过去的方法分别检查10000个，检查有无发生剥离，结果是过去的方法剥离发生率为0.5％。而本发明的方法为0％。
对于和上述不同的实施形态参照图6简单加以说明。与上述实施形态相同构成的就省略说明，图中的符号对于和上述实施形态相同构成的也标上相同符号。在该不同的实施形态中，将作为转化部的氛围气体燃烧装置14设置在热处理炉2的热处理空间3内。在该氛围气体燃烧装置14中，设置有图中未示出的、使从热处理空间3得到的氛围气体作为试样燃烧的加热器。而且，由于氛围气体燃烧装置14配置在热处理空间3内的高温环境下，所以氛围气体的试样可以不结露地取样，因此这时还可抑制由于结露而产生的测定误差。
本发明不限定于上述实施形态，还可以有各种变形。
(1)对于从热处理中的氛围气体取出的试样，将其有机成分等中的碳成分转化为二氧化碳在上述实施形态中已说明，但即使是二氧化碳之外的碳化物，也可进行成分比例分析，而且只要该转化能大致完全进行的话，并不限定于二氧化碳。
(2)对于从热处理中的氛围气体取出的试样，将其有机成分等中的碳成分转化为二氧化碳，本发明是通过试样的燃烧来完成该转换的方式已明示，作为该转化手段，可以采用通过燃烧之外的化学变化将有机成分等的碳成分转化为二氧化碳的手段。
(3)上述各实施形态展示了在采用热处理的脱脂工序中，将从陶瓷成形品脱离的有机成分转化为二氧化碳，并根据该二氧化碳浓度进行热处理温度控制的情况。但是，不仅是温度控制，也可以和控制向热处理空间的氛围气体的供给量相组合进行控制。即是通过新鲜氛围气体的供给等来控制有机成分挥发等的从陶瓷成形品中有机成分脱离的难易程度。此外，也可以进行氛围气体供给量的控制，而不进行温度控制。
(4)在上述各实施形态中，作为陶瓷成形品明示了层叠陶瓷电容器，但本发明作为陶瓷成形品并不限于此，也能适用于其他各种陶瓷成形品。
如上所述，若按照本发明，则通过将伴随热处理所产生的有机成分中的碳成分转化为特定的碳化物，检测该特定碳化物在试样中的成分比例，根据该成分比例的检测结果，对于从陶瓷成形品中挥发和蒸发的有机成分，可以高正确性地对其数量和挥发速度等进行换算，从而能高精度地掌握实际的有机成分从陶瓷成形品中的脱离状况。
权利要求
1.陶瓷成形品的热处理方法，其特征在于，包括下述工序在热处理炉内对陶瓷成形品进行热处理的过程中，取出上述热处理炉内的氛围气体作为试样，将该试样中的碳成分转化为特定的碳化物的转化工序；检测该转化后的特定碳化物在上述试样中的成分比例的成分比例检测工序。
2.陶瓷成形品的热处理方法，其特征在于，包括下述工序在热处理炉内对陶瓷成形品进行热处理的过程中，取出上述热处理炉内的氛围气体作为试样，将该试样中的碳成分转化为特定的碳化物的转化工序；检测该转化后的特定碳化物在上述试样中的成分比例的成分比例检测工序；根据该成分比例的检测结果，对上述热处理炉内的热处理进行控制的控制工序。
3.根据权利要求1或2所述的陶瓷成形品的热处理方法，其特征在于，上述特定碳化物是二氧化碳，同时上述转化工序是使上述试样完全燃烧，将该试样中的碳成分转化为二氧化碳的工序。
4.根据权利要求2所述的陶瓷成形品的热处理方法，其特征在于，上述控制工序的热处理控制是温度控制。
5.根据权利要求2所述的陶瓷成形品的热处理方法，其特征在于，上述控制工序的热处理控制是氛围气体成分比例的控制。
6.根据权利要求2所述的陶瓷成形品的热处理方法，其特征在于，上述控制工序是根据上述碳化物成分比例的检测结果，对上述热处理进行反馈控制，使之逐步达到规定的碳化物成分比例。
7.陶瓷成形品的热处理装置，其特征在于，具有下述部分对陶瓷成形品进行热处理的热处理炉；从该热处理炉内取出热处理中的氛围气体作为试样，将该试样中的碳成分转化为特定碳化物的转化部；检测经该转化部转化后的特定碳化物在上述试样中的成分比例的成分比例检测部。
8.陶瓷成形品的热处理装置，其特征在于，具有下述部分对陶瓷成形品进行热处理的热处理炉；从该热处理炉内取出热处理中的氛围气体作为试样，将该试样中的碳成分转化为特定碳化物的转化部；检测经该转化部转化后的特定碳化物在上述试样中的成分比例的成分比例检测部；和根据该成分比例检测部的成分比例检测结果，对上述热处理炉内的热处理进行控制的控制部。
9.根据权利要求7或8所述的陶瓷成形品的热处理装置，其特征在于，上述特定碳化物是二氧化碳，同时上述转化部的结构是使上述试样完全燃烧，将该试样中的碳成分转化为二氧化碳。
10.根据权利要求7或8所述的陶瓷成形品的热处理装置，其特征在于，上述转化部配置于上述热处理炉的热处理空间内。
11.根据权利要求8所述的陶瓷成形品的热处理装置，其特征在于，上述控制部具有对热处理的温度进行控制的温度控制手段。
12.根据权利要求8所述的陶瓷成形品的热处理装置，其特征在于，上述控制部具有根据上述碳化物成分比例的检测结果，对上述热处理进行反馈控制，使之逐步达到规定的碳化物成分比例的手段。
全文摘要
本发明可达到能正确检测热处理过程中从陶瓷成形品挥发的有机成分，根据该检测结果对陶瓷成形品进行正确的热处理，提高优等品率的目的。本发明具有下列工序在对于热处理炉2内的陶瓷成形品热处理过程中，取出上述热处理炉2内的气体作为试样，将该试样中的碳成分转化为特定碳化物的转化工序；检测该转化后的特定碳化物在上述试样中的碳成分比例的碳成分比例检测工序。而且，还具有根据该碳成分比例的检测结果，对上述热处理炉2内的热处理进行控制的控制工序，可对热处理进行控制。
文档编号F27B5/00GK1493838SQ0315938
公开日2004年5月5日 申请日期2003年9月11日 优先权日2002年9月11日
发明者大塚大辅, 伊藤英雄, 秋本茂, 山本笃志, 大 大辅, 志, 雄 申请人:株式会社村田制作所