专利名称：一种氧化物炉炉底结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体行业的氧化物炉，特别涉及氧化物炉的炉底结构。
背景技术：
目前公知的氧化物炉炉底结构见图1、图2、图3和图4。由于炉门1是大开门结 构，使炉底3的形状是一个带直边的圆盘，炉底3上有一带直边的环形槽5，炉室2刚好能放 进环形槽内并和炉底3焊接在一起，炉底3上还加工有螺孔4，用于固定炉底。炉底3的下 面是支座6，支座6的上表面焊接有一块矩形钢板7，矩形钢板7上有一个带直边的圆孔，圆 孔直径和炉室2的外径相同，在圆孔周围还有螺孔8，螺孔8和螺孔4 一一对应，炉底3座到 矩形钢板7上的圆孔内并用螺栓把炉底3和支座6固定在一起，整个炉底结构复杂，加工和 安装工作量大。带直边的圆盘状炉底加工方法有两种一是下料为圆形，车后再铣出直边；二是 下料为矩形，车成不完整的圆形，两种方法都存在加工量大、边角料利用率低的缺点，另外 在支座上面还要焊有一块很厚的矩形钢板用于支撑炉室，进一步增加了成本的投入，加工 成本大。
发明内容为了克服现有技术中的缺点，本实用新型提供了一种炉底结构。既把支座上表面 的矩形钢板和炉底两个部件合二为一，做成一个部件，去除了支座上表面的矩形钢板，减少 了材料的使用量和加工工时，方便安装的同时降低了生产成本。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是炉底结构包括炉底和支座，炉 底为矩形不锈钢板，支座四角上焊接有小钢板。炉底下料为矩形，加工成型后和炉室焊接在 一起，炉底四角钻有螺孔，支座四角焊接小钢板并在小钢板上钻有螺孔，小钢板上的螺孔和 炉底上的螺孔一一对应，炉底通过螺栓固定在支座上。本实用新型的有益效果是简化了炉底结构，降低了生产成本，每台设备可少用钢 材80-100公斤，并且大大减少了加工和安装的工作量。
图1是现在氧化物炉炉室和炉底的正视图图2是现在氧化物炉炉室和炉底的剖视图图3是现在氧化物炉支座的正视图图4是现在氧化物炉支座的俯视图图5是本实用新型氧化物炉炉室和炉底的正视图图6是本实用新型氧化物炉炉室和炉底的剖视图图7是本实用新型氧化物炉支座的正视图图8是本实用新型氧化物炉支座的俯视图[0015]图中1.炉门，2.炉室，3.炉底，4.螺孔，5.环形槽，6.支座，7.钢板，8.螺孔，9.矩 形钢板，10.环形槽，11.螺孔，12.小钢板，13.螺孔
具体实施方式
结合附图对本实用新型实施例进一步说明。如图5和图6，选用一块矩形钢板9作为炉底，在矩形钢板9上表面加工出一带直 边的环形槽10，环形槽10的直边和矩形钢板9的一个长边重合作为炉室的正面。环形槽 10的宽度和炉室2的壁厚相同，即环形槽10的内径等于炉室2的内径，环形槽10的外径等 于炉室2的外径。把炉室2的下沿滚圆放入矩形钢板9上的环形槽内，然后把炉室2和矩 形钢板9焊接在一起，在矩形钢板9的四个角上分别钻两个螺孔11，用于和支座6连接。如图7和图8，在支座6的四个角上焊接上小钢板12，然后在四个小钢板12上分 别钻两个螺孔13，四个小钢板上的螺孔13与矩形钢板四个角上的螺孔11 一一对应，把焊接 有炉室的矩形钢板9放在支座6上，通过螺栓把矩形钢板和支座固定连接在一起，即实现了 炉体与支座的连接。
权利要求1.一种氧化物炉炉底结构，其特征是包括炉底和支座，所述炉底为矩形不锈钢板，支 座四角上焊接有小钢板。
2.根据权利要求1所述的一种氧化物炉炉底结构，其特征是在矩形不锈钢板上有一个 带直边的环形槽。
3.根据权利要求2所述的一种氧化物炉炉底结构，其特征是环形槽的内径等于炉室内 径，环形槽的外径等于炉室的外径。
4.根据权利要求1所述的一种氧化物炉炉底结构，其特征是在矩形不锈钢板的四个角 上有螺孔。
5.根据权利要求1所述的一种氧化物炉炉底结构，其特征是在支座四个角焊接的小钢 板上有螺孔，这些螺孔和矩形不锈钢板上的螺孔一一对应。
专利摘要本实用新型公开了一种氧化物炉炉底结构，它包括炉底和设置于炉底下方的支座，炉底为矩形，炉室焊接在炉底上，支座四角上焊接有小钢板，炉底通过螺栓固定在支座上。本实用新型的氧化物炉炉底结构简单，减少了加工和安装的工作量，同时降低了氧化物炉的生产成本。
文档编号F27D1/00GK201837243SQ20102054125
公开日2011年5月18日 申请日期2010年9月26日 优先权日2010年9月26日
发明者姜云增 申请人:北京京仪世纪电子股份有限公司