一种扩散炉的炉门密封装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种扩散炉的炉门密封装置，包括炉门、管件、第一水套、第二水套以及密封件，密封件包括第一密封圈、第二密封圈以及第三密封圈，第一水套套设在管件上，第二水套连接在管件的端部并与第一水套相连接，炉门连接在第二水套上，第一密封圈设置在第一水套、第二水套之间，第二密封圈设置在第二水套与管件的端部之间，第三密封圈设置在第二水套与炉门之间。本实用新型通过在炉门与管件之间增设不锈钢水套、密封件，将炉门与管件之间进行密封，同时用冷却水在不锈钢水套里进行冷却保证了密封件不被高温融化而失去密封性，解决了闭管扩散要求，大大提高了密封性的同时避免了有毒气体的泄露污染环境危害操作人员。
【专利说明】一种扩散炉的炉门密封装置
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种扩散炉的炉门密封装置。
【背景技术】
[0002]目前，现有的扩散炉的密封性比较差，在需要通入有毒害的气体时，很难达到漏率要求。基于对MOCVD (金属有机化合物化学气相沉淀)的石墨盘进行清理，大多设备都是价格高，不经济，清洗效果不佳，清理成本高。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是提供一种扩散炉的炉门密封装置，适用于对半导体晶片进行扩散，氧化，退火，合金及烧结等工艺的扩散炉。
[0004]为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是:
[0005]一种扩散炉的炉门密封装置，包括炉门、管件、第一水套、第二水套以及密封件，所述的密封件包括第一密封圈、第二密封圈以及第三密封圈，所述的第一水套套设在所述的管件上，所述的第二水套连接在所述的管件的端部并与所述的第一水套相连接，所述的炉门连接在所述的第二水套上，所述的第一密封圈设置在所述的第一水套、第二水套之间，所述的第二密封圈设置在所述的第二水套与管件的端部之间，所述的第三密封圈设置在所述的第二水套与炉门之间。
[0006]优选地，所述的第二水套与第一水套连接一侧内圈的端部具有向外侧倾斜的锥面，所述的第一密封圈设置在所述的第二水套倾斜的锥面与所述的第一水套之间。
[0007]优选地，所述的炉门上设置有炉门冷却水管，所述的炉门冷却水管具有炉门冷却水入口、炉门冷却水出口。
[0008]优选地，所述的第一水套上设置有第一水套冷却水管，所述的第一水套冷却水管具有第一水套冷却水入口、第一水套冷却水出口。
[0009]优选地，所述的第二水套上设置有第二水套冷却水管，所述的第二水套冷却水管具有第二水套冷却水入口、第二水套冷却水出口。
[0010]优选地，所述的第二水套上开设有气体入口、气体出口，所述的气体出口连接有石英气管，所述的石英气管能够伸入至所述的管件的尾端。
[0011]优选地，所述的第一密封圈、第三密封圈为O型密封圈；所述的第二密封圈为四氟密封圈。
[0012]优选地，所述的炉门为不锈钢炉门；所述的第一水套、第二水套均为不锈钢水套。
[0013]优选地，所述的管件为石英管。
[0014]优选地，所述的第一水套、第二水套之间通过法兰相连接。
[0015]由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点:
[0016]本实用新型通过在炉门与管件之间增设不锈钢水套、密封件，将炉门与管件之间进行密封，同时用冷却水在不锈钢水套里进行冷却保证了密封件不被高温融化而失去密封性，解决了闭管扩散要求，使得扩散炉漏率能达到lX10-7Pa*m3/s，大大提高了密封性的同时避免了有毒气体的泄露污染环境危害操作人员。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]附图1为本实用新型的拆分示意图；
[0018]附图2为本实用新型的剖视示意图；
[0019]附图3为附图2中A部放大图。
[0020]其中:1、炉门；10、炉门冷却水管；100、炉门冷却水入口 ；101、炉门冷却水出口 ；2、管件；3、第一水套；30、第一水套冷却水管；300、第一水套冷却水入口 ；301、第一水套冷却水出口 ；4、第二水套；40、第二水套冷却水管；400、第二水套冷却水入口 ；401、第二水套冷却水出口 ；410、气体入口 ；411、气体出口 ；412、石英气管；42、锥面；50、第一密封圈；51、第二密封圈；52、第三密封圈；6、加热段。
【具体实施方式】
[0021]下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:
[0022]如图1所示的一种扩散炉的炉门密封装置，包括炉门1、管件2、第一水套3、第二水套4以及密封件。以下对各个部件做详细介绍:
[0023]炉门I采用不锈钢炉门，在炉门I上设置有炉门冷却水管10，炉门冷却水管10具有炉门冷却水入口 100、炉门冷却水出口 101。管件2为石英管。
[0024]第一水套3采用不锈钢水套,第一水套3上设置有第一水套冷却水管30，第一水套冷却水管30具有第一水套冷却水入口 300、第一水套冷却水出口 301。
[0025]第二水套4也采用不锈钢水套,第二水套4上设置有第二水套冷却水管40,第二水套冷却水管40具有第二水套冷却水入口 400、第二水套冷却水出口 401 ;此外，第二水套4上开设有气体入口 410、气体出口 411，气体出口 411连接有石英气管412，并且石英气管412能够伸入至管件2的尾端，从气体入口 411通入的所需气体进入至管件2的尾端后，通过石英气管412从气体出口 411排出；第二水套4与第一水套3连接一侧的内圈端部具有向外侧倾斜的锥面42。
[0026]密封件包括第一密封圈50、第二密封圈51以及第三密封圈52，其中:第一密封圈
50、第三密封圈52为O型密封圈；第二密封圈51为四氟密封圈。
[0027]如图2、3所示:第一水套3套设在管件2上，第二水套4连接在管件2的端部并与第一水套3通过法兰相连接，炉门I则连接在第二水套4上。第一密封圈50设置在第一水套3与第二水套4的锥面42之间，第二密封圈51设置在第二水套4与管件2的端部之间，第三密封圈52设置在第二水套4与炉门I之间。
[0028]第一水套3、第二水套4上的第一水套冷却水管30、第二水套冷却水管40可以保证第一密封圈50在高温情况也能起到密封的作用，同时第一密封圈50设置在第二水套4的锥面42处，当第一密封圈受到挤压力时，锥面42会给管件2 —个作用力从而起到密封的作用；第二密封圈51则可以防止管件2与不锈钢第二水套4硬碰硬接触的同时起到密封的作用；炉门冷却水管10则保证了在加热过程中第三密封圈52不会因过热而失去密封性并保证炉门I的密封。[0029]本实用新型通过在炉门I与管件2之间增设不锈钢水套、密封件，将炉门I与管件2之间进行密封，同时用冷却水在不锈钢水套里进行冷却保证了密封件不被高温融化而失去密封性，解决了闭管扩散要求，同时避免了有毒气体的泄露污染环境危害操作人员。
[0030]上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于:包括炉门、管件、第一水套、第二水套以及密封件，所述的密封件包括第一密封圈、第二密封圈以及第三密封圈，所述的第一水套套设在所述的管件上，所述的第二水套连接在所述的管件的端部并与所述的第一水套相连接，所述的炉门连接在所述的第二水套上，所述的第一密封圈设置在所述的第一水套、第二水套之间，所述的第二密封圈设置在所述的第二水套与管件的端部之间，所述的第三密封圈设置在所述的第二水套与炉门之间。
2.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于:所述的第二水套与第一水套连接一侧内圈的端部具有向外侧倾斜的锥面，所述的第一密封圈设置在所述的第二水套倾斜的锥面与所述的第一水套之间。
3.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于:所述的炉门上设置有炉门冷却水管，所述的炉门冷却水管具有炉门冷却水入口、炉门冷却水出口。
4.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于:所述的第一水套上设置有第一水套冷却水管，所述的第一水套冷却水管具有第一水套冷却水入口、第一水套冷却水出口。
5.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于:所述的第二水套上设置有第二水套冷却水管，所述的第二水套冷却水管具有第二水套冷却水入口、第二水套冷却水出口。
6.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于:所述的第二水套上开设有气体入口、气体出口，所述的气体出口连接有石英气管，所述的石英气管能够伸入至所述的管件的尾端。
7.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于:所述的第一密封圈、第三密封圈为O型密封圈；所述的第二密封圈为四氟密封圈。
8.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于:所述的炉门为不锈钢炉门；所述的第一水套、第二水套均为不锈钢水套。
9.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于:所述的管件为石英管。
10.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于:所述的第一水套、第二水套之间通过法兰相连接。
【文档编号】F27D1/18GK203489694SQ201320442429
【公开日】2014年3月19日 申请日期:2013年7月24日 优先权日:2013年7月24日
【发明者】曹文, 朱廷刚, 朱廷勇, 乔德瑞, 胡小龙, 丁峰 申请人:江苏能华微电子科技发展有限公司