本实用新型涉及一种扩散炉，特别是涉及一种用于高温腐蚀性气体的扩散炉。
背景技术：
目前，基于对MOCVD的石墨盘进行清理的扩散炉存在密封性比较差的问题，在需要通入有毒有害的气体时，很难达到漏率要求。参见公开号为103363808A的中国专利一种扩散炉的炉门密封装置，公开了一种在炉门与管体之间增设水套、密封件，将炉门与管体之间进行密封的结构，从而提高了扩散炉的密封性。其中：管体的材质采用石英；炉门与水套的材质则均采用不锈钢，但是在高温及通入腐蚀性气体的情况下，时间久了，会对不锈钢的炉门和水套进行腐蚀，腐蚀后的反应物会严重影响石墨盘清洗效果。
技术实现要素：
本实用新型的目的是提供一种用于高温腐蚀性气体的扩散炉，保护扩散炉中的不锈钢不受高温及气体的腐蚀。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：
一种用于高温腐蚀性气体的扩散炉，包括石英管体、连接在所述的石英管体上的不锈钢水套以及连接在所述的不锈钢水套上的不锈钢炉门，所述的不锈钢水套的内周面上、所述的不锈钢炉门的内侧面上均涂覆有耐高温腐蚀层。
优选地，所述的耐高温腐蚀层为特氟龙层。
优选地，所述的不锈钢水套包括套设在所述的石英管体外部的第一水套、连接在所述的石英管体的端部并与所述的第一水套相连接的第二水套，所述的第二水套的内周面上涂覆有所述的耐高温腐蚀层。
进一步优选地，所述的第二水套与所述的第一水套、不锈钢炉门的连接端面上也涂覆有耐高温腐蚀层。
进一步优选地，所述的第一水套与第二水套之间、所述的第二水套与石英管体之间、所述的第二水套与不锈钢炉门之间均设置有密封圈。
进一步优选地，所述的密封圈为氟胶密封圈。
进一步优选地，所述的第二水套上开设有气体入口、气体出口。
优选地，所述的不锈钢水套上设置有具有冷却水入口和出口的水套冷却水管。
优选地，所述的不锈钢炉门上设置有具有冷却水入口和出口的炉门冷却水管。
优选地，所述的高温耐腐蚀气体包括氯气、氯化氢、四氯化硅、氢气、氮气一种或者多种。
由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
本实用新型通过设置耐高温腐蚀层，能有效的保证设备不会被腐蚀性气体腐蚀，大大的提高了设备的使用寿命，同时大大提高了产品的质量，而且适用范围广，可以对半导体晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
附图说明
附图1为本实施例的结构示意图。
其中：1、石英管体；20、第一水套；21、第二水套；210、气体入口；211、气体出口；22、水套冷却水管；220、入口；221、出口；3、不锈钢炉门；30、炉门冷却水管；4、特氟龙层；5、氟胶密封圈。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：
如图1所示的一种用于高温腐蚀性气体的扩散炉，包括石英管体1、连接在石英管体1上的不锈钢水套以及连接在不锈钢水套上的不锈钢炉门3。
其中：不锈钢水套包括套设在石英管体1外部的第一水套20、连接在石英管体1的端部并与第一水套20相连接的第二水套21。
在本实施例中：为了避免不锈钢水套与不锈钢炉门3的不锈钢与高温及腐蚀性气体的直接接触，不锈钢水套的内周面上、不锈钢炉门3的内侧面上均涂覆有特氟龙层4，由于第一水套20套设在石英管体1外部，不与高温腐蚀性气体接触，第一水套20的内周面不涂覆特氟龙层4，第二水套21连接在石英管体1的端部，与高温及腐蚀性气体直接接触，因此仅在第二水套21的内周面涂覆特氟龙层4，此外，第二水套21与第一水套20、不锈钢炉门3的连接端面上也涂覆有特氟龙层4。
因特氟龙层4承受最高温度在290℃，所以，需要对第二水套21、不锈钢炉门3进行冷却，冷却的方式为水冷。具体为：在不锈钢水套上设置有具有冷却水入口220和出口221的水套冷却水管22，在第一水套20、第二水套21上均设置该水套冷却水管22，此外，气体入口210、气体出口211也开设在第二水套21上。在不锈钢炉门3上设置有具有冷却水入口和出口的炉门冷却水管30。这样，通过水冷以保证特氟龙层4的温度，确保特氟龙层4的正常使用。
此外，为了确保扩散炉的密封性，第一水套20与第二水套21之间、第二水套21与石英管体1之间、第二水套21与不锈钢炉门3之间均设置有密封圈，如氟胶密封圈5。
这样本实施例可以通入包括氯气、氯化氢、四氯化硅、氢气、氮气等一种或者多种高温及腐蚀性气体。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。