超导均热板的制作方法

本实用新型属于散热器件技术领域，具体涉及一种超导均热板。

背景技术：

随着科技的进步，现今电子设备朝向多功能、高速率、小尺寸的方向发展，IC芯片在单位面积上产生的工作热量大幅增加，如何改善散热方法，一直是业界面临的一大挑战。以计算机服务器的CPU为例，其发热量已超过180W/cm²，如何将小面积CPU上产生的工作热量有效传导出去，散热技术必须不断进步，以提高散热效能。

热管具有极高的热导率且无需额外能源，是一种绿色环保的散热技术；均热板相比一般热管具有更突出的优点，其形状非常有利于对集中热源进行散热。目前，由于毛细结构布置困难，毛细力下降等缺陷，使得均热板的厚度最小只能做到2mm～3mm。

技术实现要素：

本实用新型提供一种超导均热板，均热板的厚度可以做到2mm以下，散热性能相较于传统的均热板能够提高15％左右。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：一种超导均热板，包括底板和盖板，其特征在于：所述底板的内侧表面上开设有第一凹槽，所述第一凹槽内设有第一毛细结构；所述盖板的内侧表面上开设有第二凹槽，所述第二凹槽内设有第二毛细结构；所述第一凹槽和第二凹槽之间形成注有工作介质的真空容腔；所述真空容腔内还设有热源毛细结构，所述热源毛细结构设置在第一毛细结构和第二毛细结构之间，且所述热源毛细结构对应热源的位置设置。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述第二凹槽的底面设有支撑柱，所述支撑柱与第二毛细结构、热源毛细结构连为一体、并向底板方向延伸。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述支撑柱上设有沿其轴向延伸的多个回流槽，所述多个回流槽沿支撑柱的径向排列。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述第二凹槽的底面设有多个支撑柱，所有的支撑柱均与第二毛细结构连为一体，部分的支撑柱与第二毛细结构、热源毛细结构连为一体。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述第二毛细结构上设有安装孔，对应每个支撑柱均设有一个所述安装孔，所述支撑柱穿过安装孔后向底板方向延伸。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述第一凹槽为内部匹配于第一毛细结构外形结构的仿形凹槽，所述第二凹槽为内部匹配于第二毛细结构外形结构的仿形凹槽。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述热源毛细结构为编织类铜网、或者铜粉、泡沫铜其中之一烧结而成的毛细结构。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述第一毛细结构为编织类铜网、或者铜粉、泡沫铜其中之一烧结而成的毛细结构。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述第二毛细结构为编织类铜网、或者铜粉、泡沫铜其中之一烧结而成的毛细结构。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述均热板的厚度小于等于2mm。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的一种超导均热板，均热板内对应热源的位置增加热源毛细结构，热源毛细结构的设计能够降低热源到散热面的接触热阻，相较于传统的均热板散热效果能够提升15％左右，且均热板的厚度可以做到2mm以下，最小可以做到0.8mm，不会因毛细力不够而出现烧干现象。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例技术中的技术方案，下面将对实施例技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型优选实施例的结构示意图；

图2是本实用新型优选实施例支撑柱的结构示意图。

其中：2-底板，4-盖板，6-第一凹槽，8-第一毛细结构，10-第二凹槽，12-第二毛细结构，14-热源毛细结构，16-支撑柱，18-安装孔，20-回流槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

如图1所示，本实施例中公开了一种超导均热板，上述均热板的厚度小于等于2mm，其包括底板2和盖板4，上述底板2的内侧表面上开设有第一凹槽6，上述第一凹槽6内设有第一毛细结构8；上述盖板4的内侧表面上开设有第二凹槽10，上述第二凹槽10内设有第二毛细结构12；上述第一凹槽6和第二凹槽10之间形成注有工作介质的真空容腔；上述真空容腔内还设有热源毛细结构14，上述热源毛细结构14设置在第一毛细结构8和第二毛细结构12之间，且上述热源毛细结构14对应热源的位置设置。

带有第一毛细结构8的底板2形成工作介质的蒸发区，带有第二毛细结构12的盖板4形成工作介质的冷凝区，热源安装在底板2上，热源产生的热量传导至蒸发区时，真空容腔内的工作介质在低真空度的环境中受热后开始气化，工作介质气化吸收热能，气相的工作介质迅速膨胀充满整个真空容腔，气相工作介质进入冷凝区时产生凝结，借由凝结释放蒸发段累积的热量，凝结后的工作介质在第一毛细结构8、热源毛细结构14和第二毛细结构12的抽吸力作用下再次回到蒸发区，如此循环，完成热量的传导，起到散热作用。

通过在均热板内对应热源的位置增加热源毛细结构14，热源毛细结构14的设计能够降低热源到散热面的接触热阻，相较于传统的均热板散热效果能够提升15％左右，且均热板的厚度可以做到2mm以下，最小可以做到0.8mm，不会因毛细力不够而出现烧干的现象。

本实施例技术方案中，为了优化配置均热板的结构，上述第一凹槽6为内部匹配于第一毛细结构8外形结构的仿形凹槽，上述第二凹槽10为内部匹配于第二毛细结构12外形结构的仿形凹槽。第一毛细结构8和第二毛细结构12分别完全匹配的放置在各自的凹槽内，利于均热板整体厚度的缩小。

本实施例技术方案中，上述热源毛细结构14为编织类铜网、或者铜粉、泡沫铜其中之一烧结而成的毛细结构；上述第一毛细结构8为编织类铜网、或者铜粉、泡沫铜其中之一烧结而成的毛细结构；上述第二毛细结构12为编织类铜网、或者铜粉、泡沫铜其中之一烧结而成的毛细结构。根据实际需要，三个毛细结构可以采用相同的结构，比如，均采用编织类铜网，或者铜粉烧结而成的毛细结构，或者泡沫铜烧结而成的毛细结构。

均热板通常设计为大面积板状结构，内部形成真空容腔后，大面积板状结构的均热板容易出现表面变形、甚至表面坍塌，进而影响毛细结构的毛细力，为了解决这一技术问题，本实施例技术方案中，在上述第二凹槽10的底面设有支撑柱16，上述支撑柱16与第二毛细结构12和热源毛细结构14连为一体、并向底板2方向延伸。上述支撑柱16的设计一方面起到支撑作用，避免均热板出现表面变形或者表面坍塌，确保毛细结构的正常毛细力；另一方面，支撑柱16和第二毛细结构12的连接处形成内弯液面，能够增加工作介质的回流效率，提高均热板的散热性能。

进一步的，上述第二凹槽10的底面设有多个支撑柱16，所有的支撑柱16均与第二毛细结构12连为一体，部分的支撑柱16与第二毛细结构12和热源毛细结构14连为一体。具体的，在上述第二毛细结构12上设有安装孔18，对应每个支撑柱16均设有一个上述安装孔18，上述支撑柱16穿过安装孔18后向底板2方向延伸。

如图2所示，作为本实用新型的进一步改进，上述支撑柱16上设有沿其轴向延伸的多个回流槽20，上述多个回流槽20沿支撑柱16的径向排列。通过在支撑柱16上开设回流槽20，使得在冷凝区冷凝后的工作介质能够沿回流槽20进入蒸发区，避免绕经支撑柱16一周才能进入蒸发区，以此可以减少工作介质的回流路程，降低工作介质的回流阻力，在第一毛细结构、第二毛细结构和热源毛细结构的抽吸力作用下能够迅速回流至蒸发区，能够有效解决因回流不及时而出现工作介质烧干的问题。

以上结构的均热板，其制作方法如下：首先在底板2和盖板4上分别加工第一凹槽6和第二凹槽10，在第二凹槽10内加工支撑柱16；随后将第一毛细结构8放入第一凹槽6内、第二毛细结构穿过支撑柱16放入第二凹槽10内，将热源毛细结构14对应最终热源的放置位置放置在第一毛细结构8和第二毛细结构12之间；最后将底板2和盖板4叠合在一起进行高温粘合形成一致密空间，并焊接除气小管，通过除气小管对致密空间进行抽真空形成真空容腔，并通过除气小管向真空容腔内注入工作介质，最后焊接除气小管的封口，至此完成均热板的制作。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。