一种用于碳化硅微粉干燥的干燥设备的制作方法

文档序号:15434703发布日期:2018-09-14 22:02阅读:411来源:国知局

本实用新型涉及氮化硅微粉生产加工设备领域,具体涉及一种用于碳化硅微粉干燥的干燥设备。



背景技术:

碳化硅由于化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好,被广泛的应用于太阳能晶硅片、半导体硅片和石英芯片的线切割刃料。在碳化硅材料进行粉碎时,初级产品由于含有碳、氧化铁、氧化铝等杂质,故需要进一步用酸碱等地洗料液清洗过滤去杂质提纯,再将混批号的物料沉降,通过不同的沉降时间将不同批号的物料分离。在分离时,需要对碳化硅表面的水分进行去除,以便于碳化硅粉的保存。

本申请人发现现有技术中至少存在以下技术问题:现有的碳化硅粉烘干设备通常为直接加热型,即通过热辐射对碳化硅进行加热,从而去除碳化硅表面的水分,在加热过程中,碳化硅与氧气接触后存在氧化风险,容易影响碳化硅粉的质量。



技术实现要素:

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于碳化硅微粉干燥的干燥设备,以解决现有技术中现有的碳化硅粉烘干设备通常为直接加热型,即通过热辐射对碳化硅进行加热,从而去除碳化硅表面的水分,在加热过程中,碳化硅与氧气接触后存在氧化风险,容易影响碳化硅粉的质量等技术问题。本实用新型提供的诸多技术方案中优选的技术方案具有:能够通过对碳化硅粉的密封加热和采用氮气进行循环除湿,避免了碳化硅粉在干燥过程中与外界空气接触,防止了碳化硅氧化,提高提高了碳化硅的干燥效果等技术效果,详见下文阐述。

为实现上述目的,本实用新型提供了以下技术方案:

本实用新型提供的一种用于碳化硅微粉干燥的干燥设备,包括机体、位于所述机体内部的干燥腔,所述干燥腔内部设置有干燥滑板,所述干燥腔下方设置有风源加热腔,所述风源加热腔下方设置有均压腔,所述机体一侧安装有气泵,所述气泵上方设置有干燥箱,所述干燥箱与所述干燥腔顶部连通,所述气泵一次设置有氮气瓶;

所述干燥腔内部设置有与所述干燥滑板滑动配合的导轨;

所述干燥腔顶部通过蒸汽输出管与所述干燥箱相连通;

所述干燥滑板与所述机体外壁的连接处设置有磁吸垫板;

所述风源加热腔内部安装有加热网板。

采用上述一种用于碳化硅微粉干燥的干燥设备,通过所述氮气瓶和所述气泵向所述干燥腔内部填充氮气,而后将所述干燥滑板沿所述导轨送入所述干燥腔内部后,接通所述加热网板电源,所述均压腔内部的氮气在经过所述加热网板时进行加热,而后进入所述干燥腔内部对所述干燥滑板上的碳化硅粉进行吹风干燥,产生的蒸汽经所述蒸汽输出管进入所述干燥箱内部进行除湿,而后再次进入所述气泵进行循环。

作为优选,所述干燥箱与所述气泵相连通,所述气泵与所述氮气瓶相连通。

作为优选,所述干燥滑板包括位于所述机体外侧的拉板和位于所述干燥腔内部的料斗。

作为优选,所述磁吸垫板位于所述拉板与所述机体的接触面,且通过粘接固定在所述拉板上。

作为优选,所述干燥箱内部设置有可拆卸的干燥剂包。

作为优选,所述加热网板共设置有两层。

作为优选,所述机体上设置有与所述磁吸垫板吸合的铁磁性连接垫。

有益效果在于:1、本实用新型通过对碳化硅粉的密封加热和采用氮气进行循环除湿,避免了碳化硅粉在干燥过程中与外界空气接触,防止了碳化硅氧化,提高提高了碳化硅的干燥效果;

2、通过对氮气加热循环,减少了设备的热量消耗,降低了设备的能耗。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的结构示意图。

附图标记说明如下:

1、机体;101、蒸汽输出管;2、干燥腔;201、导轨;3、干燥箱;4、氮气瓶;5、气泵;6、均压腔;7、风源加热腔;701、加热网板;8、干燥滑板;801、磁吸垫板。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将对本实用新型的技术方案进行详细的描述。显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式,都属于本实用新型所保护的范围。

参见图1所示,本实用新型提供了一种用于碳化硅微粉干燥的干燥设备,包括机体1、位于机体1内部的干燥腔2,干燥腔2内部设置有干燥滑板8,干燥腔2下方设置有风源加热腔7,风源加热腔7下方设置有均压腔6,机体1一侧安装有气泵5,气泵5上方设置有干燥箱3,干燥箱3与干燥腔2顶部连通,气泵5一次设置有氮气瓶4;

干燥腔2内部设置有与干燥滑板8滑动配合的导轨201;

干燥腔2顶部通过蒸汽输出管101与干燥箱3相连通;

干燥滑板8与机体1外壁的连接处设置有磁吸垫板801;

风源加热腔7内部安装有加热网板701。

作为可选的实施方式,干燥箱3与气泵5相连通,气泵5与氮气瓶4相连通,如此设置,经干燥箱3干燥后的氮气通过气泵5可进行二次循环,节约设备的能源消耗;

干燥滑板8包括位于机体1外侧的拉板和位于干燥腔2内部的料斗;

磁吸垫板801位于拉板与机体1的接触面,且通过粘接固定在拉板上,如此设置,可便于拉板与机体1表面吸合,对拉板进行密封固定;

干燥箱3内部设置有可拆卸的干燥剂包;

加热网板701共设置有两层,如此设置,通过双层加热网板701可保证氮气加热的均匀性;

机体1上设置有与磁吸垫板801吸合的铁磁性连接垫,如此设置,可提高机体1与磁吸垫板801连接的紧密度。

采用上述结构,通过氮气瓶4和气泵5向干燥腔2内部填充氮气,而后将干燥滑板8沿导轨201送入干燥腔2内部后,接通加热网板701电源,均压腔6内部的氮气在经过加热网板701时进行加热,而后进入干燥腔2内部对干燥滑板8上的碳化硅粉进行吹风干燥,产生的蒸汽经蒸汽输出管101进入干燥箱3内部进行除湿,而后再次进入气泵5进行循环;

通过对碳化硅粉的密封加热和采用氮气进行循环除湿,避免了碳化硅粉在干燥过程中与外界空气接触,防止了碳化硅氧化,提高提高了碳化硅的干燥效果;

通过对氮气加热循环,减少了设备的热量消耗,降低了设备的能耗。

以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

当前第1页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1