一种单晶硅片甩干装置的制作方法

本实用新型涉及单晶硅片加工技术领域，尤其是一种单晶硅片甩干装置。

背景技术：

单晶硅太阳电池是当前开发得最快的一种太阳电池，它的构成和生产工艺已定型，产品已广泛用于宇宙空间和地面设施。这种太阳电池以高纯的单晶硅棒为原料，纯度要求99.999％。为了降低生产成本，现在地面应用的太阳电池等采用太阳能级的单晶硅棒，材料性能指标有所放宽。有的也可使用半导体器件加工的头尾料和废次单晶硅材料，经过复拉制成太阳电池专用的单晶硅棒。将单晶硅棒切成片，一般片厚约0.3毫米。硅片经过成形、抛磨、清洗等工序，制成待加工的原料硅片，在单晶硅片清洗后需要对其进行烘干，现有技术中均是采用热风吹拂烘干，效率低。

技术实现要素：

本实用新型旨在提供一种效率高的单晶硅片甩干装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅片甩干装置，包括壳体，所述壳体内设有数个筒体，均匀环形阵列分布，筒体表面开有数个均匀分布的小通孔，筒体的内部设有数个隔板，等距分布，隔板之间设有间隙，隔板整体呈环形，筒体的两端设有端盖，端盖设于筒体内部，筒体两端的端盖的外侧中心均固连一个旋转轴；筒体顶部的旋转轴通过轴承连接盖板，筒体底部的旋转轴通过轴承连接壳体的底部，并且向下延伸到壳体的下方，筒体底部的旋转轴的底部安装从动齿轮，数个旋转轴上的从动齿轮与同一个主动齿轮啮合，该主动齿轮安装于电机的输出轴上；盖板上设有数个喷气嘴，喷气嘴通过管道连接集气盘的出气口，集气盘的进气口通过管道连接热风机的出风口。

作为本实用新型的进一步方案：所述筒体分为左右对称设置的两部分，其中右半部分筒体与端盖固连，左半部分筒体通过螺丝与端盖连接。

作为本实用新型的进一步方案：所述筒体的左右两侧分别设有一个窗口，窗口上设有窗门。

作为本实用新型的进一步方案：所述集气盘为中空结构，设于盖板的上方。

作为本实用新型的进一步方案：所述壳体的底部设有排水口，并设有阀门。

作为本实用新型的进一步方案：所述壳体整体呈圆筒形。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该单晶硅片甩干装置利用筒体装夹单晶硅片并且通过旋转产生离心力分离水分的同时通过热风进行烘干，效率高，值得大力推广。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的筒体的结构示意图；

图3为本实用新型的盖板的仰视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型实施例中，一种单晶硅片甩干装置，包括壳体1，所述壳体1内设有数个筒体2，均匀环形阵列分布，筒体2表面开有数个均匀分布的小通孔(图中未示出)，筒体2的内部设有数个隔板3，等距分布，隔板3之间设有间隙，隔板3整体呈环形，筒体2的两端设有端盖4，端盖4设于筒体2内部，筒体2两端的端盖4的外侧中心均固连一个旋转轴5；筒体2顶部的旋转轴5通过轴承连接盖板6，筒体2底部的旋转轴5通过轴承连接壳体1的底部，并且向下延伸到壳体1的下方，筒体2底部的旋转轴5的底部安装从动齿轮7，数个旋转轴5上的从动齿轮7与同一个主动齿轮啮合，该主动齿轮安装于电机8的输出轴上；

盖板6上设有数个喷气嘴9，喷气嘴9通过管道连接集气盘10的出气口，集气盘10的进气口通过管道连接热风机的出风口。通过供气管的供气向集气盘10内供气，然后再从喷气嘴9中喷出。

筒体2分为左右对称设置的两部分，其中右半部分筒体2与端盖4固连，左半部分筒体2通过螺丝与端盖4连接，以实现可拆卸式的连接，装载单晶硅片时先将左半部分筒体2拆卸下来然后再将隔板3之间插入单晶硅片；必要的，为了提供操作的空间，需要在筒体2的左右两侧分别设有一个窗口，窗口上设有窗门，窗门与窗口之间设有密封垫和门锁，窗门应该是适应于筒体2的弧形。

进一步，电机8通过电机8座安装于壳体1上，电机8为现有成熟电机8设备，其结构和原理为现有技术，在此不做赘述，必要的需要通过开关连接电源，主动齿轮应位于数个从动齿轮7的中心。

进一步，集气盘10为中空结构，设于盖板6的上方。

进一步，壳体1的底部设有排水口，并设有阀门。

进一步，壳体1整体呈圆筒形。

本实用新型的结构特点及其工作原理：首先通过筒体2内部的隔板3对多个单晶硅片分隔放置，然后通过电机8带动主动齿轮，主动齿轮通过齿轮传动带动从动齿轮7转动，从动齿轮7带动旋转轴5转动，旋转轴5转动的同时带动筒体2转动，产生离心力对筒体2内部的单晶硅片上的水分进行离心分离，与此同时上方喷气嘴9向下喷射热气流，一方面将分离的水吹到壳体1底部，另一方面能够进入筒体2内部对单晶硅片进行烘干，气流和水流从壳体1底部的排水口排出。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。