基板干燥装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种可防止基板的干燥不良的基板干燥装置。
【背景技术】
[0002]通常，在制造显示装置时在基板上形成薄膜元件，并执行表面处理工序。在表面处理工序中，必须要有洗净作业和干燥作业。
[0003]在洗净工序中贴附于基板的表面或薄膜元件的杂质被洗净液除去。洗净工序过后残留在基板的洗净液被风刀之类的基板干燥装置除去。基板干燥装置将高压的空气喷射于基板上而除去残留在基板的洗净液。
[0004]在将高压的空气提供到基板上的情况下，洗净液的一部分可能会作为碎状的水汽残留在工艺室内。在将高压的空气提供到基板上的情况下，水汽可随高压的空气所形成的气流而在工艺室内移动并相互结合。
[0005]相互结合的水汽可能形成为大小更大的水珠而掉落在基板上。因此，可能会发生基板的干燥不良。
【发明内容】
[0006]本发明的目的在于提供一种可防止基板的干燥不良的基板干燥装置。
[0007]根据本发明的实施例的基板干燥装置包括:第一基板干燥部，布置于基板的上部而将高压的空气喷射于所述基板的上表面；第二基板干燥部，布置于所述基板的下部而将所述高压的空气喷射于所述基板的下表面，其中，所述第一基板干燥部包括:第一壳体；第一喷嘴，连接于所述第一壳体的下部而将所述高压的空气喷射于所述基板的所述上表面；蒸发部，布置于面向所述基板的移送方向的所述第一壳体的正面的下部的预定区域而向与所述基板的移送方向相反的方向突出；加热部，加热所述蒸发部。
[0008]所述蒸发部的一侧连接于所述第一壳体的所述正面，所述蒸发部的另一侧具有倾斜面，所述蒸发部的上表面的长度比所述蒸发部的下表面的长度更长。
[0009]所述第一喷嘴朝面向所述基板的移送方向的方向弯折为具有预定的角度，从而布置为使所述第一喷嘴的下部朝向所述基板的所述上表面。
[0010]所述第一基板干燥部还包括:第一气体供应管，布置为与作为所述第一壳体的所述正面的相反侧面的所述第一壳体的背面相面对而产生所述高压的空气；第一气体移送部，沿第一方向延伸并连接于所述第一气体供应管而获得所述高压的空气；第二气体移送部，朝与所述第一方向交叉的第二方向延伸而被所述第一壳体收容，并连接于所述第一气体移送部而从所述第一气体移送部获得所述高压的空气而提供给所述第一喷嘴。
[0011]所述第一喷嘴连接于所述第二气体移送部的下部而将通过所述第二气体移送部获得的所述高压的空气喷射于所述基板的所述上表面。
[0012]所述第一喷嘴包括第一孔，所述第一孔布置为连接于所述第二气体移送部的所述下部而朝向所述基板的所述上表面，且所述第一孔将通过所述第二气体移送部获得的所述高压的空气喷射于所述基板的所述上表面。
[0013]所述基板沿所述第一方向具有长边，且沿与所述第一方向和所述第二方向交叉的第三方向具有短边，并朝所述第一方向得到移送，而所述第一壳体、所述第一喷嘴以及所述蒸发部沿所述第三方向延伸。
[0014]所述基板干燥装置还包括:工艺室，用于布置并移送所述基板，并收容所述第一基板干燥部和第二基板干燥部；虚设蒸发部，布置于所述工艺室的上部的内侧面的预定区域；虚设加热部，加热所述虚设蒸发部。
[0015]所述虚设蒸发部布置为重影于所述高压的空气与所述基板的所述上表面之间的接触点，且布置为避免与所述蒸发部重影。
[0016]所述虚设蒸发部的一侧布置为以投影方式接触于未连接于所述第一壳体的所述正面的所述蒸发部的侧面，且相邻于朝上部和下部方向延伸的延伸轴，且所述虚设蒸发部从所述延伸轴朝没有布置所述蒸发部的方向延伸预定区域。
[0017]所述蒸发部突出为具有小于从所述第一壳体的所述正面到所述高压的空气与所述基板的所述上表面之间的接触点为止的距离的大小，从而布置为避免重影于所述高压的空气与所述基板的所述上表面之间的接触点。
[0018]所述加热部和所述虚设加热部将所述蒸发部和所述虚设蒸发部加热至能够使所述基板的所述上表面上残留的洗净液被所述高压的空气除去时产生的水汽蒸发的温度。
[0019]本发明的基板干燥装置可防止基板的干燥不良。
【附图说明】
[0020]图1为概略地表示根据本发明的实施例的基板干燥装置的图。
[0021]图2为概略地表示通过第一基板干燥部和第二基板干燥部执行的基板干燥工序的图。
[0022]图3为示例性表示当通过第一基板干燥部执行基板干燥工序时水汽的移动流向的图。
[0023]图4A至图4F为表示第一基板干燥部的蒸发部的多种多样的实施例的图。
[0024]符号说明:
[0025]100:基板干燥装置110:第一基板干燥部
[0026]120:第二基板干燥部 111:第一气体供应管
[0027]112:第一气体移送部 113:第二气体移送部
[0028]114:第一壳体115:第一喷嘴
[0029]116:加热部117:蒸发部
[0030]121:第二气体供应管 122:第三气体移送部
[0031]123:第四气体移送部 124:第二壳体
[0032]125:第二喷嘴10:工艺室
[0033]21:虚设加热部22:虚设蒸发部
[0034]30:洗净液R0L:棍子
[0035]SUB:基板H1:第一孔H2:第二孔
【具体实施方式】
[0036]如果参照结合附图而在后面详述的实施例，则本发明的优点、特征以及用于达到目的的方法将会变得明确。然而本发明并不局限于以下公开的实施例而可以实现为不同的多种形态，本发明的实施例是为了彻底公开本发明并将本发明的范围完整地介绍给本发明所属技术领域中具有普通知识的人员而提供的，本发明只由权利要求的范围来定义。贯穿整个说明书，相同的附图标记指相同的构成要素。
[0037]所谓的元件(elements)或层位于其他元件或层的“上面”或者“上方”，不仅包括紧邻其他元件或层的情形，而且连中间夹设有其他层或其他元件的情形也都包括。相反，如果说是元件在“直接的上面(directly on) ”或“紧邻的上面”，则表示中间没有夹设其他元件或层。“和/或”包括涉及的项目中的单个以及一个以上的项目的所有组合。
[0038]作为空间上的相对性术语的“下面(below) ”、“下方(beneath) ”、“下部(lower) ”、“上面(above) ”、“上部(upper) ”等可以为了便于阐述一个元件或构成要素与其他元件或构成要素之间的如图中所示的相关关系而使用。空间上具有相对性的术语不仅应该理解为包括图中所示的方向的术语，而且还应该理解为包括在使用或者操作时的元件的不同方向的术语。贯穿整个说明书，相同的附图标记指相同的构成要素。
[0039]虽然为了阐述多种多样的元件、构成要素和/或部分而使用“第一”、“第二”等，然而这些元件、构成要素和/或部分自然不会局限于这些术语。这些术语只是为了将一个元件、构成要素或部分与其他元件、构成要素或部分区别开而使用。因此，以下涉及的第一元件、第一构成要素或第一部分在本发明的技术思想内当然也可能是第二元件、第二构成要素或第二部分。
[0040]在本说明书中记载的实施例将会参考作为本发明的理想化的概略图的平面图和剖面图而进行说明。于是，因制造技术和/或允许误差等而可能引起示例图的形态的变形。因此，本发明的实施例并不局限于图示的特定形态，而是还包括伴随制造工艺而发生的形态变化。因此，在附图中举例示出的区域具有概略性的属性，在图中所示的区域的形状只是为了举例表示元件的区域的特定形态，而不是用于限制本发明的范围。
[0041]以下，参照附图而更加详细地说明本发明的优选实施例。
[0042]图1为概略地图示出根据本发明的实施例的基板干燥装置的图。
[0043]参照图1，基板干燥装置100包括工艺室10、基板干燥部(或风刀)110、120、虚设加热部21、虚设蒸发部22以及辊子R0L。
[0044]基板干燥部110、120和虚设蒸发部22以及辊子R0L布置于工艺室10内。虚设加热部21可布置于工艺室10的外部。然而并不局限于此，虚设加热部21可布置于工艺室10的内部。
[0045]工艺室10包括基板运入部11、基板运出部12以及排气管13。作为示例性的实施例，基板运入部11可布置于工艺室10的左侧而基板运出部12可布置于工艺室10的右侧。而且，排气管13可布置于工艺室10的下部。已执行洗净工序的基板SUB通过基板运入部11而运入到工艺室10。
[0046]运入到工艺室10的基板SUB通过工艺室10内布置的辊子R0L而得到移送。辊子R0L可沿预定的方向旋转并将基板SUB朝第一方向D1移送。作为示例性的实施例，基板SUB可通过沿顺时针方向旋转的辊子R0L而从第一方向D1的左侧朝右侧方向移动。
[0047]基板干燥部110、120为固定状态，通过辊子R0L而将