一种真空烧结炉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种磁性材料处理设备，用于磁性材料的真空烧结。
【背景技术】
[0002]钐钴等磁性材料的真空烧结，常用的的烧结方式是将磁性材料放置在一个真空室当中，通过真空机组抽真空的方式使得真空室当中单位体积内的空气分子数低于一定的个数，达到一定的真空度，在真空状态下对材料进行烧结处理。这种处理方式，由于真空室内部真空度非常低，使得外部大气压对真空室的压力非常大。工艺过程中，真空室在承受高温和巨大压力时，特别容易变形，碎裂。影响真空室寿命，增加生产成本。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型要解决的问题是提供一种防止烧结过程中因内外压差太大导致真空室变形的真空室烧结结构。
[0004]本实用新型的真空烧结炉，包括真空室，所述真空室外部设置一个抽真空的外腔，所述真空室外表面设置保温层，所述外腔外表面水冷层，所述外腔顶端设置上盖，真空室下方通过法兰连接下腔，所述真空室和外腔内分别设置压力探测装置，压力探测装置连接控制系统，控制系统连接抽真空装置。
[0005]采用这样的结构后，本实用新型的真空烧结炉可以用一套真空机组实现双腔高低真空的要求，提高真空腔的使用寿命。
【附图说明】
[0006]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细的说明。
[0007]图1是本实用新型真空烧结炉的结构示意图。
[0008]图2是图1中沿A -A线的剖视图。
【具体实施方式】
[0009]如图1和图2所示，本实用新型的真空烧结炉，包括真空室I，真空室I外部设置一个抽真空的外腔2，真空室I外表面设置保温层3，外腔2外表面水冷层4，外腔2顶端设置上盖5，真空室I下方通过法兰6连接下腔7，真空室I和外腔2内分别设置压力探测装置8，压力探测装置8连接控制系统10，控制系统连接抽真空装置9。
[0010]工艺过程中，首先对外腔2进行抽真空，达到一定的真空度之后再对内腔真空室I抽真空，使得真空腔I内外压差很小，减小了高温时的变形量，延长了使用寿命，提高了温区的稳定性。真空室I和外腔2内连接压力探测装置8，抽真空的时候可以实时监测真空室I和外腔2内的压力，压力信号经过控制装置比较，控制抽真空装置9的抽真空速度，可以确保真空室I和外腔2的压力差在一定范围内，可以更好的保护真空室I。
【主权项】
1.一种真空烧结炉，包括真空室，其特征在于:所述真空室外部设置一个抽真空的外腔，所述真空室外表面设置保温层，所述外腔外表面水冷层，所述外腔顶端设置上盖，真空室下方通过法兰连接下腔，所述真空室和外腔内分别设置压力探测装置，压力探测装置连接控制系统，控制系统连接抽真空装置。
【专利摘要】本实用新型涉及一种真空烧结炉，包括真空室，所述真空室外部设置一个抽真空的外腔，所述真空室外表面设置保温层，所述外腔外表面水冷层，所述外腔顶端设置上盖，真空室下方通过法兰连接下腔，所述真空室和外腔内分别设置压力探测装置，压力探测装置连接控制系统，控制系统连接抽真空装置。采用这样的结构后，本实用新型的真空烧结炉可以用一套真空机组实现双腔高低真空的要求，提高真空腔的使用寿命。
【IPC分类】F27B5-06
【公开号】CN204555645
【申请号】CN201520185094
【发明人】刘洋, 姜洪斌, 李强
【申请人】青岛华旗科技有限公司
【公开日】2015年8月12日
【申请日】2015年3月30日