冷却装置的制作方法

本实用新型与一种冷却装置有关，特别是指一种防止冷却液泄漏的冷却装置。

背景技术：

按，具有空调的大楼、半导体厂房、冷藏库等，都必须透过冷却系统，以对内部进行致冷，尤其半导体工业的集成电路生产制程中，不论是薄膜沉积、蚀刻或热处理等制程，为求制造产品良率稳定，均须将温度维持在一特定范围内。

目前业界提供冷却的装置多采用冰水机，现有冰水机结构主要是由蒸发器、水箱及泵浦等组件所构成，并由管路依序相互串连而形成一冷却循环系统。

当水箱将冷水经管路供给泵浦，泵浦经管路将冷水输送至欲冷却物体，以使冷水与欲冷却物体进行热交换，而将欲冷却物体的热能带走，此时，管路内的冷水因吸收欲冷却物体的热能而变成热水，继之，所述热水经管路输送至蒸发器，以由蒸发器与冰水机内部的冷源进行热交换，将管路内的热水的热能带走后，管路内的水成为冷水，而再流回水箱中，依此，往复循环冷却便可达到使半导体厂房等环境温度维持在所需范围效果。

然而，上述冰水机往往使用直立式泵，其主要的构件由马达座、管体、叶轮与前盖组成，而泵于运转时是将液体向上抽，由一侧的出口送出，但于停止运转时会产生负压将液体灌回管体中，且会快速的往上溢出，而泵排泄溢流的能力不足，往往造成泵的损伤。

另外，直立式泵因长久使用，泵内的冷却液容易从叶轮的轴承之间泄漏，而冷却液(例如，氟氯烃(CFC)、氢氟氯烃(HCFC)或氢氟烃(HFC))于泄漏后，还会蒸发使空气中布有氟离子，而氟离子还有可能与空中的水分子(H₂O)反应，从而生成氢氟酸(HF)，所述氢氟酸(HF)还有可能侵蚀于半导体制程中的芯片。

再者，由于上述直立式泵轴封处易产生泄露，因而造成生产过程中的损失；若冷却液为具剧毒性化学物质，则对环境、产品及工作人员而言，将造成无法弥补的伤害。

是以，本案创作人在观察到上述缺失，遂而有本实用新型的产生。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的是提供一种冷却装置，其主要是于内部冷却液循环回路中设置磁力泵，借以防止因摩擦损耗，从而造成冷却液体外泄的问题，同时，更能使生产设备的产品良率保持一定水平以上。

本实用新型的次要目的是提供一种冷却装置，其应用半导体工业的集成电路生产制程中，并使其制造产品良率稳定，且能防止冷却液泄露而与空中的水分子(H₂O)反应生成氢氟酸(HF)的问题，以及免除造成生产过程中因冷却液泄漏，所对环境、产品及工作人员造成的伤害。

为达上述目的，本实用新型所提供的冷却装置，其包含有：一机壳，其内部具有一容置空间，并具有至少一供应口及至少一回流口；多个连接管件，其设于所述容置空间内；一冷却循环模块，其设于所述容置空间内，且所述冷却循环模块具有一蒸发器，所述蒸发器透过至少一连接管件连接一加热器，所述加热器透过至少一连接管件连接一储存箱，所述储存箱透过至少一连接管件连接一磁力泵，所述磁力泵透过至少一连接管件连接一压力计，而所述压力计透过至少一连接管件连接一流量计，又，一冷却液流动于所述等连接管件中；及一冷煤循环模块，其连接所述冷却循环模块，所述冷却循环模块内的一冷煤与所述冷却液于所述蒸发器内进行热交换。

较佳地，其中所述冷却循环模块利用磁力泵输送冷却液经过流量计后至供应口，令所述供应口连接一欲温度控制的生产设备，而后所述冷却液由所述回流口直接进入储存箱。

较佳地，其中所述冷却循环模块与所述生产设备构成一冷却液循环回路。

较佳地，其中还包括有一控制模块，其电性连接所述冷却循环模块及冷煤循环模块。

较佳地，其中所述控制模块具有一控制面板及多个处理单元，所述控制面板设于所述机壳的外侧，而所述多个处理单元设于所述容置空间，并用以控制及监测所述冷却循环模块及冷煤循环模块的运作。

较佳地，其中所述冷煤循环模块具有一压缩机，所述压缩机透过至少一连接管件连接一冷凝器，所述冷凝器透过至少一连接管件连接一膨胀阀，所述膨胀阀透过至少一连接管件连接所述蒸发器，所述蒸发器透过至少一连接管件连接所述压缩机。

较佳地，其中所述冷煤循环模块内构成一冷煤循环回路。

较佳地，其中所述储存箱位于所述磁力泵的上侧。

本实用新型所提供的冷却装置，其主要是于冷却循环模块中设置有所述磁力泵，并通过所述磁力泵利用通过内部结构设计来免除摩擦损耗的问题，借以改善先前冷却装置(如，冰水机)因直立式泵因长久使用造成冷却液容易从轴承磨损处泄漏，使得制冷效果降低的问题；重要的是，本实用新型冷却装置透过所述磁力泵的设置，所以于半导体工业的集成电路生产制程中，能防止冷却液泄露而与空中的水分子(H₂O)反应生成氢氟酸(HF)的问题，以及免除造成生产过程中因冷却液泄漏，所对环境、产品及工作人员造成的伤害，同时，更能使生产设备制造的产品良率稳定。

附图说明

图1为本实用新型一较佳实施例的立体图。

图2为本实用新型一较佳实施例的循环架构示意图。

图3为本实用新型一较佳实施例的分解立体图。

图4为本实用新型一较佳实施例的分解立体图。

附图标记说明：

100-冷却装置；10-机壳；12-容置空间；13-供应口；14-回流口；20-连接管件；30-冷却循环模块；31-蒸发器；32-加热器；33-储存箱；34-磁力泵；35-压力计；36-流量计；40-冷煤循环模块；41-压缩机；42-冷凝器；43-膨胀阀；50-控制模块；51-控制面板；52-处理单元；200-生产设备。

具体实施方式

请参阅图1及图2，并配合图3及图4所示，为本实用新型一较佳实施例的立体图、循环架构示意图及分解立体图，其揭露有一种冷却装置100，所述冷却装置100包含有：

一机壳10，其内部具有一容置空间12，并具有至少一供应口13及至少一回流口14。

多个连接管件20，其设于所述容置空间12内。

一冷却循环模块30，其设于所述容置空间12内，且所述冷却循环模块30具有一蒸发器31，所述蒸发器31透过至少一连接管件20连接一加热器32，所述加热器32透过至少一连接管件20连接一储存箱33，所述储存箱33透过至少一连接管件20连接一磁力泵34，且所述储存箱33位于所述磁力泵34的上侧；另，所述磁力泵34透过至少一连接管件20连接一压力计35，而所述压力计35透过至少一连接管件20连接一流量计36，又，一冷却液流动于所述多个连接管件20中。

于本实施例中，请配合参阅图2所示，所述冷却循环模块30利用磁力泵34输送冷却液经过流量计36后至供应口13，令所述供应口13连接一欲温度控制的生产设备200，而后所述冷却液由所述回流口14直接进入储存箱33；另，所述冷却循环模块30与所述生产设备200构成一冷却液循环回路。

一冷煤循环模块40，其连接所述冷却循环模块30，所述冷却循环模块30内的一冷煤与所述冷却液于所述蒸发器31内进行热交换；于本实施例中，所述冷煤循环模块40具有一压缩机41，所述压缩机41透过至少一连接管件20连接一冷凝器42，所述冷凝器42透过至少一连接管件20连接一膨胀阀43，所述膨胀阀43透过至少一连接管件20连接所述蒸发器31，所述蒸发器31透过至少一连接管件20连接所述压缩机41；且如图2所示，所述冷煤循环模块40内构成一冷煤循环回路。

一控制模块50，其电性连接所述冷却循环模块30及冷煤循环模块40，所述控制模块50具有一控制面板51及多个处理单元52，所述控制面板51设于所述机壳10的外侧，而所述多个处理单元52设于所述容置空间12，并用以控制及监测所述冷却循环模块30及冷煤循环模块40的运作。于本实施例中，所述多个处理单元52能为控制电路、变频器、传感器等提供运算、控制、感测及转换的电子组件。

为供进一步了解本实用新型构造特征、运用技术手段及所预期达成的功效，兹将本实用新型使用方式加以叙述，相信当可由此而对本实用新型有更深入且具体的了解，如下所述：

请参阅图1及图2，并配合图3及图4所示，为本实用新型一较佳实施例的立体图、循环架构示意图及分解立体图。于使用状态时，所述冷却循环模块30主要利用磁力泵34使冷却液经过所述蒸发器31、所述加热器32、所述储存箱33、所述压力计35、所述流量计36及所述生产设备200，使形成冷却液循环回路。而所述冷煤循环模块40使冷媒由所述压缩机41流经所述冷凝器42，并利用冷却水冷却冷媒，且所述冷凝器42连接膨胀阀43及蒸发器31相连接，借以形成一冷媒循环回路。

重要的是，本实用新型是于冷却循环模块30中设置有所述磁力泵34，并通过所述磁力泵34利用通过内部的内转子与外转子无相接触的结构来免除摩擦损耗的问题，借以改善现有技术中的冷却装置(如，冰水机)，因直立式泵因长久使用造成冷却液容易从轴承磨损处泄漏，使得制冷效果降低的问题。

值得一提的是，由于本实用新型冷却装置100透过所述磁力泵34的设置，所以于半导体工业的集成电路生产制程中，能防止冷却液泄露而与空中的水分子(H₂O)反应生成氢氟酸(HF)的问题，以及免除造成生产过程中因冷却液泄漏，所对环境、产品及工作人员造成的伤害，同时，更能使生产设备200制造的产品良率稳定。

值得再提的是，本实用新型的磁力泵34为横卧式，且所述磁力泵34设于所述储存箱33的下侧，因此，相对现有技术的直立式泵需立设于所述储存箱33的上侧，并请参阅图4所示，由于所述机壳10的容置空间12有限，所以相较之下，可知本实用新型具有较佳空间灵活运用的优点。

兹，再将本实用新型的特征及其可达成的预期功效陈述如下：

其一，本实用新型的冷却装置100于内部冷却液循环回路中设置磁力泵34，借以防止因摩擦损耗，从而造成冷却液体外泄的问题，同时，更能使生产设备200的产品良率保持一定水平以上。

其二，当本实用新型的冷却装置100应用半导体工业的集成电路生产制程中，能使半导体工业制造的产品良率稳定，且能防止泵体内的冷却液泄漏，而与空中的水分子(H₂O)反应生成氢氟酸(HF)的问题，以及免除造成生产过程中因冷却液泄漏，所对环境、产品及工作人员造成的伤害。

其三，本实用新型的冷却装置100能迅速维持生产设备200的恒温状态，避免因制程机台温度过高导致制程无法进行的状况发生，并能让产品良率保持一定水平以上。

综上所述，本实用新型在同类产品中实有其极佳的进步实用性，同时遍查国内外关于此类结构的技术数据，文献中也未发现有相同的构造存在在先，是以，本实用新型实已具备新型专利要件，爰依法提出申请。

惟，以上所述者，仅是本实用新型的较佳可行实施例而已，故举凡应用本实用新型说明书及权利要求所为的等效结构变化，理应包含在本实用新型的专利范围内。