1.一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置，其特征在于，该装置包括主换热器（1）、液氮洗涤塔（2）、低温分离器（3）、脱氩塔（4）、脱氩塔再沸器（5）、脱氩塔冷凝器（6）、脱氩塔回流罐（7）、脱氮塔（8）、脱氮塔冷凝器（9）、脱氮塔回流罐（10）、脱甲烷塔（11）、主冷凝蒸发器（12）、脱甲烷塔回流罐（13）、脱甲烷塔再沸器（14）、高纯甲烷塔（15）、高纯甲烷塔再沸器（16）、高纯甲烷塔冷凝器（17）、高纯一氧化碳塔（18）、高纯一氧化碳塔再沸器（19）、高纯一氧化碳塔冷凝器（20）、氮气压缩机系统（21）；所述的主换热器（1）内设置有高压氮气i通道（a1）、低压氮气i通道（a2）、原料气通道（a3）、低低压氮气通道（a4）、一氧化碳i通道（a5）、富氢气通道（a6）、富氮气i通道（a7）、高纯电子级co通道（a8）、高纯电子级甲烷通道（a9）、天然气通道（a10）、高压氮气ii通道（a11）、高压液氮i通道（a12）和贫氢液通道（a13）；所述的脱氩塔冷凝器（6）内设置有低压氮气ii通道（b1）和贫氩气通道（b2）；所述的脱氮塔冷凝器（9）内设置有低压氮气iii通道（c1）、一氧化碳ii通道（c2）和富氮气ii通道（c3）。
2.根据权利要求1所述的一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置，其特征在于，所述原料气通道（a3）入口与外界原料气管道相接，所述的原料气通道（a3）出口与液氮洗涤塔（2）底部进料口相接；所述的液氮洗涤塔（2）顶部出口与富氢气通道（a6）入口相接，所述的富氢气通道（a6）与外界的合成氨原料气管线相接，所述的液氮洗涤塔（2）底部液相出口与低温分离器（3）进料口相接；
3.根据权利要求1所述的一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置，其特征在于，所述的高压氮气ii通道（a11）出口与高压液氮i通道（a12）入口之间设置调节阀a（23）与控制系统电连接；
4.根据权利要求1所述的一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置，其特征在于：所述的液氮洗涤塔（2）底部设有液位监测仪i，所述的液氮洗涤塔（2）底部出口管道设置液位调节阀k（26），用于调节液氮洗涤塔（2）底部液位；
5.根据权利要求4所述的一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置，其特征在于：所述的液氮洗涤塔（2）顶部设有压力监测仪i，所述的液氮洗涤塔（2）顶部出口管道设置压力调节阀r（29），用于调节液氮洗涤塔（2）顶部压力；
6.根据权利要求1所述的一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置，其特征在于：所述的液氮洗涤塔（2）顶部进料口管线设有流量监测仪i，所述的液氮洗涤塔（2）顶部进料口管线设有流量调节阀y（28），用于调节液氮进入液氮洗涤塔（2）的流量；
7.根据权利要求1所述的一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置，其特征在于，所述的液氮洗涤塔（2）、脱氩塔（4）、脱氮塔（8）、脱甲烷塔（11）、高纯甲烷塔（15）、高纯一氧化碳塔（18）为填料塔或板式塔。
8.一种生产高纯度电子级一氧化碳和甲烷的深冷分离的方法，其特征在于：应用权利要求1-7中任意一项所述的一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置，具体包括以下步骤：