本实用新型涉及超声波清洗技术领域，具体为一种硅片超声波清洗装置。
背景技术：
在硅片的加工过程中，每一道工序都涉及到清洗，由于很多半导体分立器件是在硅研磨片表面直接制造或衬底扩散而成，因此，硅研磨片清洗质量的好坏将直接影响下一道工序，甚至影响器件的成品率和可靠性。目前，常规的半导体硅研磨片的清洗方法有两种：手洗和超声波清洗。手洗硅板时，需要浪费大量的人力，洗涤用的清洁液有毒性，对工人的身体也会造成影响，而且手洗的硅板容易造成残渣的残留，和边角内的残渣不宜清理出来，使用超声波清理时虽然不需要工人直接接触硅板，但是在清理后排出污水时容易使清理出的残渣附着在硅板上，造成清理不完整。
技术实现要素：
本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种硅片超声波清洗装置，可以节约大量的人力，防止清洁液对工人身体造成不良影响，流动的水可以及时将清理出来的残渣带走，防止在清理完成后附着在硅板上，可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片超声波清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱的顶部设有总水管，所述清洗箱的内侧顶部设有贯穿清洗箱的内侧顶部并延伸至外部的出水管，位于清洗箱外部的出水管与总水管的连接，所述清洗箱的一侧设有蓄水箱，所述蓄水箱的顶部一侧设有水泵，所述水泵的进水端与蓄水箱的出水端连接，所述蓄水箱的顶部另一侧设有PLC控制器，所述清洗箱的另一侧设有排水口，所述清洗箱的内侧左右侧壁中部设有角铁，所述角铁的顶部设有隔板，所述隔板的顶部设有贯穿隔板顶部并延伸至底部的通槽，所述清洗箱的左右侧面之间设有横向齿条，所述横向齿条的侧面设有滑块一，所述滑块一的侧面设竖向齿条，所述滑块一的侧面设有定位板，所述定位板的两端均设有电机一，所述电机一的输出轴设有齿轮一，所述齿轮一与横向齿条相互啮合，所述竖向齿条的侧面设有滑块二，所述滑块二的侧面设有固定板，所述固定板的前侧设有电机二，所述电机二的输出轴设有齿轮二，所述齿轮二与竖向齿条相互啮合，所述固定板的前侧设有超声波清洗装置，PLC控制器的输入端电连接外部电源的输出端，PLC控制器的输出端电连接水泵、电机一、电机二和超声波清洗装置的输入端。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述出水管以矩阵方式均匀分布于清洗箱的顶部，所述通槽以矩阵方式平均分布于隔板的顶部，出水管的出水端与通槽相对应。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述排水口的进水端设有电磁阀，电磁阀的输入端电连接PLC控制器的输出端。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述角铁与隔板滑动连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述滑块一的内侧设有通孔一，横向齿条贯穿通孔一与滑块一滑动连接，所述滑块二的内侧设有通孔二，竖向齿条贯穿通孔二与滑块二滑动连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该硅片超声波清洗装置，可以节约大量的人力，防止清洁液对工人身体造成不良影响，流动的水可以及时将清理出来的残渣带走，防止在清理完成后附着在硅板上。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型结构后视图；
图3为本实用新型结构A部放大图。
图中：1清洗箱、2总水管、3出水管、4蓄水箱、5水泵、6PLC控制器、7排水口、8角铁、9隔板、10通槽、11横向齿条、12滑块一、13竖向齿条、14定位板、15电机一、16齿轮一、17滑块二、18固定板、19电机二、20齿轮二、21超声波清洗装置。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种硅片超声波清洗装置，包括清洗箱1，清洗箱1的顶部设有总水管2，清洗箱1的内侧顶部设有贯穿清洗箱1的内侧顶部并延伸至外部的出水管3，位于清洗箱1外部的出水管3与总水管2的连接，出水管3以矩阵方式均匀分布于清洗箱1的顶部，清洗箱1的一侧设有蓄水箱4，蓄水箱4的顶部一侧设有水泵5，水泵5的进水端与蓄水箱4的出水端连接，蓄水箱4的顶部另一侧设有PLC控制器6，清洗箱1的另一侧设有排水口7，排水口7的进水端设有电磁阀，用于控制出水量减少资源浪费，电磁阀的输入端电连接PLC控制器6的输出端，清洗箱1的内侧左右侧壁中部设有角铁8，角铁8的顶部设有隔板9，角铁8与隔板9滑动连接，隔板9的顶部设有贯穿隔板9顶部并延伸至底部的通槽10，通槽10以矩阵方式平均分布于隔板9的顶部，出水管3的出水端与通槽10相对应，清洗箱1的左右侧面之间设有横向齿条11，横向齿条11的侧面设有滑块一12，滑块一12的内侧设有通孔一，横向齿条11贯穿通孔一与滑块一12滑动连接，用于超声波清洗装置的横向移动，滑块一12的侧面设竖向齿条13，滑块一12的侧面设有定位板14，定位板14的两端均设有电机一15，电机一15的输出轴设有齿轮一16，齿轮一16与横向齿条11相互啮合，竖向齿条13的侧面设有滑块二17，滑块二17的内侧设有通孔二，竖向齿条13贯穿通孔二与滑块二17滑动连接，用于超声波清洗装置的竖向移动，滑块二17的侧面设有固定板18，固定板18的前侧设有电机二19，电机二19的输出轴设有齿轮二20，齿轮二20与竖向齿条13相互啮合，固定板18的前侧设有超声波清洗装置21，PLC控制器6的输入端电连接外部电源的输出端，PLC控制器6的输出端电连接水泵5、电机一15、电机二19和超声波清洗装置21的输入端。
在使用时：把隔板9拿出，将需要清理的硅板一一插入通槽10内后把隔板重新插入清洗箱1内的角铁8的顶部，合上门，打开PLC控制器，控制水泵5将蓄水箱4内的洗涤液抽出经过总水管2输送至出水管3喷出，喷出的洗涤液将硅板表面浮游的杂质清理掉，打开排水口7的电磁阀，待污水与杂质排出后关闭电磁阀，水泵5继续工作，使清洗箱1内的液面刚好淹没硅板后关闭水泵5，控制超声波清洗装置21开始运行，控制电机一15和电机二19来移动超声波清洗装置21的位置，对硅板进行仔细的清理杂质，清理完毕后控制排水口7的电磁阀打开，排出污水，将清洗完成的硅板随着隔板9拿出，并放置于无尘环境下等待下一道工序。
本实用新型可以节约大量的人力，防止清洁液对工人身体造成不良影响，流动的水可以及时将清理出来的残渣带走，防止在清理完成后附着在硅板上。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。