技术特征：
技术总结
本发明提供一种废气收集装置及湿法清洗装置，其中废气收集装置包括：废气收集端和排气管路，所述排气管路包括气体通路和残液收集部。通过所述废气收集装置，湿法清洗过程中产生的废气可以由所述废气收集端收集后，通过所述排气管路排出，废气在所述排气管路中形成的残留液体由所述残液收集部收集，可以避免残液倒流，滴落在待清洗硅片上造成二次污染，从而提高硅片清洗的效率、提升硅片良率。
技术研发人员：崔亚东;陈章晏;颜超仁;卢思源;王永昌
受保护的技术使用者：德淮半导体有限公司
技术研发日：2019.06.19
技术公布日：2019.08.16