专利名称：废气处理反应炉的进气装置的制作方法
技术领域：
本实用新型有关一种进气装置，旨在提供一种尤适用于废气处理反应炉的进气装置。
背景技术：
按，在半导体制程中所排出的废气(gas)中，因为含有未反应的SiH2Cl2、SiHCl3、 Si2H6, TEOS(四乙氧基硅炕，tetraethoxysilane)等对人体或环境有害的Si化合物，以及 SiH4、PH3、B2H6等具有可燃性、爆炸性的氢化物。故必需利用大量氮气予以稀释，使该排气浓 度在爆炸下限以下，以及使用半导体排气处理装置，至少将有毒气体的浓度降低至容许值 以下。就半导体排气的处理方法而言，目前大致分为湿式法、吸附法、加热分解法及燃烧 法等4种方法；其中，加热分解法尤其在反应炉内配设棒状的电热加热器，藉由该加热器所 发出的高热，将半导体排气导入形成在反应炉内的加热区域，且将该气体进行热分解的电 热加热分解法极为符合作业现场的需求，而在多数现场予以采用。再者，加热分解法的于进行热分解的过程中，必须提供反应炉内部足够的空气供 该处理气体进行热分解，传统的作法利用送风机持续输入反应炉中；惟，当反应炉停机时， 其进气系统亦随的停止对反应炉供应空气，而无法让积存于反应炉内部的排气完成分解反 应，故仍有造成环境污染的疑虑。
实用新型内容本实用新型所解决的技术问题在于提供一种送风机故障的状态下或维修的状态 下，仍然可持续对反应炉内部提供空气，以供积存于反应炉内部的排气继续完成分解反应 的进气装置。本实用新型的技术方案为一种废气处理反应炉的进气装置，包括有至少一对 反应炉内部提供干净压缩干空气的送风机，透过管路与反应炉连接，并与反应炉所属的供 电系统电性连接；至少一 CDA空气压缩机，透过管路与反应炉连接；至少一侦测系统，设于 各送风机与该反应炉所属的供电系统之间，用以构成各送风机与该反应炉所属的供电系统 的电性连接；以及当该反应炉所属的送风机停止运转时，由该至少一 CDA空气压缩机提供 反应炉所需的进气装置。其中，各CDA空气压缩机与反应炉之间的管路处设有调压阀。各送风机机与反应炉之间的管路处设有调压阀。该其中各CDA空气压缩机与反应炉之间的管路处，以及送风机机与反应炉之间的 管路处设有调压阀。本实用新型的有益效果为废气处理反应炉的进气装置包括有至少一送风机、至 少一 CDA空气压缩机；其中，各送风机及各CDA空气压缩机透过管路与反应炉连接，各送风 机与反应炉所属的供电系统电性连接，各CDA空气压缩机则透过侦测系统与不断电系统或发电机与反应炉所属的供电系统电性连接。据以，当供电系统因为电力中断或送风机故障及其它因素而停止供电时，各CDA 空气压缩机可利用侦测系统连结至另一供电系统所提供的电力运转，以持续对反应炉内部 提供空气，供积存于反应炉内部的排气继续完成分解反应，降低可能对环境造成污染的疑
虑 ο
图1为本实用新型进气装置的基本组成架构示意图。图号说明10CDA空气压缩机20送风机30侦测系统40管路41调压阀50反应炉
具体实施方式
本实用新型的特点，可参阅本案图式及实施例的详细说明而获得清楚地了解。如图1所示，本实用新型废气处理反应炉的进气装置，包括有至少一送风机20、 至少一 CDA空气压缩机10，以及至少一侦测系统30 ；其中各送风机20透过管路40与反应炉50连接，于各送风机20与反应炉50之间的管 路40处设有调压阀41供调整进入反应炉50的空气流量，各送风机20并与反应炉50所属 的供电系统(图略)电性连接，使当反应炉50运作时，可对反应炉内部提供干净的压缩干 空气(Compress Dry Air, CDA)供该反应炉50内部的处理气体进行热分解。各送风机20透过管路40与反应炉50连接，于各送风机20与反应炉50之间的管 路40处设有调压阀41供调整进入反应炉50的空气流量。至于，该至少一侦测系统30设于各CDA空气压缩机10与该反应炉50所属的供 电系统(图略)之间，用以构成各CDA空气压缩机10与该反应炉50所属的供电系统(图 略)的电性连接，以及当该反应炉50所属的供电系统因为电力中断或送风机故障而停止运 转时，可由该至少一侦测系统30启动另一供电系统提供各CDA空气压缩机10运转所需的 电力。据以，当反应炉50启动运转时，即由各送风机20对该反应炉50内部提供干净的 压缩干空气(Compress Dry Air, CDA)供该反应炉50内部的处理气体进行热分解。尤其，当该反应炉50所属的供电系统因为电力中断或送风机故障而停止运转时， 侦测系统30侦测异常状态进而启动另一供电系统提供各CDA空气压缩机10各CDA空气压 缩机10即运转，以持续对该反应炉50内部提供空气，供积存于反应炉50内部的排气继续 完成分解反应，降低可能对环境造成污染的疑虑。
权利要求一种废气处理反应炉的进气装置，其特征在于，包括有至少一对反应炉内部提供干净压缩干空气的送风机，透过管路与反应炉连接，并与反应炉所属的供电系统电性连接；至少一CDA空气压缩机，透过管路与反应炉连接；至少一侦测系统，设于各送风机与该反应炉所属的供电系统之间，用以构成各送风机与该反应炉所属的供电系统的电性连接。
2.如权利要求1所述废气处理反应炉的进气装置，其特征在于，各CDA空气压缩机与反 应炉之间的管路处设有调压阀。
3.如权利要求1所述废气处理反应炉的进气装置，其特征在于，各送风机机与反应炉 之间的管路处设有调压阀。
4.如权利要求1所述废气处理反应炉的进气装置，其特征在于，该其中各CDA空气压缩 机与反应炉之间的管路处，以及送风机机与反应炉之间的管路处设有调压阀。
专利摘要本实用新型废气处理反应炉的进气装置包括有至少一送风机、至少一CDA空气压缩机；其中，各送风机与反应炉所属的供电系统电性连接。而当送风机故障或其它因素而停止运转时，CDA空气压缩机仍可继续运转，以持续对反应炉内部提供空气，供积存于反应炉内部的排气继续完成分解反应，降低可能对环境造成污染的疑虑。
文档编号B01J4/00GK201658969SQ200920350378
公开日2010年12月1日 申请日期2009年12月25日 优先权日2009年12月25日
发明者田少郎 申请人:华宣科技股份有限公司