专利名称：粉尘过滤及收集装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能电池片制造设备，尤其涉及一种用于太阳能电池片制造设备上具有粉尘过滤及收集功能的装置。
背景技术：
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (简称 PECVD),即“等离子增强型化学气相沉积”，是一种化学气相沉积。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜，由于PECVD设备淀积的氮化硅薄膜，同时起到减反射膜和钝化的作用，可以极大地提高电池片转换效率，降低生产成本，是太阳能生产线中最为重要的设备之一。但由于在工艺过程中需要用到特殊气体，如SIH4 NH3，在其沉积过程中，会产生SiN和SI02粉尘，此类粉尘由泵浦组接口处吸入并通过尾排排出，此类粉尘在PECVD设备上会造成如下危害和损失一是过多的粉尘会造成泵浦组卡死，影响正常生产，造成返工；二是粉·尘会对无尘车间产生污染，导致片源污染，影响电池片的转换效率；三是粉尘排出不及时对PECVD腔体产生污染，影响正常工艺，造成电池片沉积不良。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种使用效果好的粉尘过滤及收集装置。为了解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案来实现的本实用新型包括主框架、设于主框架底部的底座，所述底座上方设有粉尘收集座，所述粉尘收集座上设有粉尘分离器，所述粉尘分离器呈倒置漏斗状。作为优选，所述粉尘分离器外周设有支撑耳板，所述支撑耳板与主框架固定连接。由于本实用新型中的粉尘分离器采用倒置漏斗状设计，使粉尘在粉尘分离器中得到良好沉降，并有效防止粉尘飞扬，避免给设备造成污染，提高使用效果。
附图是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图及具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的描述如附图所示本实用新型包括主框架I、设于主框架I底部的底座2，底座2上方设有粉尘收集座3，粉尘收集座3上设有粉尘分离器5，粉尘分离器5呈倒置漏斗状，粉尘分离器5外周设有支撑耳板6、7，支撑耳板6、7与主框架I固定连接。本实用新型在使用时，将本实用新型装于泵浦组吸入处，在设备做保养维护时，对本实用新型进行清理或对泵浦组进行吹扫，使粉尘能够得到处理和尾排能力增大，大大减少由于粉尘造成泵浦组的卡死，减少设备停机率，减少粉尘对腔体及片源的污染，对电池片效率提升有很大的帮助。/
权利要求1.一种粉尘过滤及收集装置，包括主框架、设于主框架底部的底座，其特征在于所述底座上方设有粉尘收集座，所述粉尘收集座上设有粉尘分离器，所述粉尘分离器呈倒置漏斗状。
2.根据权利要求I所述的粉尘过滤及收集装置，特征在于所述粉尘分离器外周设有支撑耳板，所述支撑耳板与主框架固定连接。
专利摘要本实用新型公开了一种使用效果好的粉尘过滤及收集装置。它包括主框架、设于主框架底部的底座，所述底座上方设有粉尘收集座，所述粉尘收集座上设有粉尘分离器，所述粉尘分离器呈倒置漏斗状。本实用新型适用于太阳能电池片制造设备上粉尘的过滤及收集。
文档编号B01D45/02GK202460304SQ20122003102
公开日2012年10月3日 申请日期2012年1月30日 优先权日2012年1月30日
发明者何智锋, 柴晓燕 申请人:浙江丰球光伏科技股份有限公司