专利名称：溶液浓缩装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种溶液浓缩装置。
背景技术：
从半导体密封材料提取的元素根据其种类存在对半导体装置的信赖性等产生影响的情况。制造该半导体密封材料时，作为该半导体密封材料的信赖性特性确认的指标而进行原子吸收光谱分析(以下也称“AAS”)。对于半导体密封材料，进行AAS时，为了得到测定样本需要将半导体密封材料作为适当的溶液吸引过滤不要的固体成分。吸引过滤后，有时要将所得到的滤液进行浓缩。在该浓缩中，使用热板等加热单元。因此，浓缩所花费的时间为每I个检测体大约5个小时。另外，进行AAS时，在I次的测定中可以使用80个以上的检测体。并且，I次AAS的测定时间为每一个样品不到30分钟。实用新型解决的课题然而，所述以往的浓缩方法中，由于相比于AAS的测定时间浓缩上还需要时间，故存在浓缩所需要的时间成为延迟AAS测定的主要原因等不利情况。
实用新型内容本实用新型要解决的课题是，鉴于上述问题而提供一种可以以较短的时间对大量的样本高效率地进行浓缩的溶液浓缩装置。根据本实用新型，提供一种溶液浓缩装置，其具有:分别对储存溶液的多个储存容器进行加热的加热部；以及位于所述加热部的上方，对由所述加热部加热的所述多个储存容器内的所述溶液的液面分别吹送气流的多个气流吹送部，所述多个气流吹送部分别设有流量调节阀。实用新型效果:根据本实用新型，可以提供一种以较短的时间对大量样本高效率地进行浓缩的溶液浓缩装置。
图1是表示本实施方式所涉及的溶液浓缩装置的截面图。图2是表示本实施方式所涉及的定位板的俯视图。符号说明:I…溶液浓缩装置2…溶液3…液面10…加热部[0017]12…气流吹送部[0018]14…储存容器18…载置面19…流量调节阀20…定位板21…定位用开口部22…开口部30…固定部31...支撑部32…上方支撑部具体实施方式
下面，采用附图说明本实施方式。另外，在全部的附图中，同样的构件加了同样的符号、适当省略说明。<溶液浓缩装置>图1是表示本实施方式所涉及的溶液浓缩装置I的截面图。如图1所示，本实施方式所涉及的溶液浓缩装置I具有:分别加热储存溶液2的多个储存容器14的加热部10 ;以及位于该加热部10的上方，对由所述加热部10加热的多个储存容器14内的溶液2的液面3吹送气流的气流吹送部12。从而，可以以较短的时间对大量的样本高效率地进行浓缩。此外，溶液浓缩装置I中的多个气流吹送部12分别具有流量调节阀19。由此，可以分别控制溶液2的浓缩所使用的气流量。从而，例如可以根据各储存容器14内的溶液2的种类、状态而分别调节气流的吹送量。由此，可以分别调节各储存容器14内的溶液2的浓缩速度。另外，如图1所示，本实施方式所涉及的溶液浓缩装置I除所述加热部10、气流吹送部12之外，还具有:用于固定气流吹送部12的上方支撑部32 ；以及支持上方支撑部32的支撑部31。另外，为了防止气流吹送部12从上方支撑部32脱落，设置有比气流吹送部12直径大的固定部30。另外，为了相对于储存容器14内的溶液2的液面3准确地吹送气流，气流吹送部12的设置高度优选为能根据距离储存容器14的底面的高度而进行变动。此时，可以使所述支撑部31上所固定的上方支撑部32的高度适当变动。因此，溶液浓缩装置I中，设置成固定气流吹送部12的高度能够变动。通过这样，可以根据储存容器14的上下尺寸使固定气流吹送部12的高度变动。另外，在储存容器14中形成有面对液面3的开口部22。气流吹送部12通过开口部22对储存容器14内的溶液2的液面3吹送气流。另外，开口部22可以列举例如在储存容器14的上端形成。这种情况下，气流吹送部12可以通过向下吹送气流而通过开口部22对储存容器14内的溶液2的液面3吹送气流。下面，关于本实施方式所涉及的溶液浓缩装置I进行详细的说明。<加热部>如图1所示，加热部10具有载置储存容器14的载置面18。通过这样，由于可以从储存容器14的底面侧向储存容器14加热，故可以有效加热储存容器14内的溶液2。从而，可以使储存容器14内的溶液2所包含的有机溶剂等有效地蒸发。另外，在加热部10上可以载置多个储存容器14。从而，通过本实施方式的溶液浓缩装置1，可以同时采用多个储存容器14进行溶液2的浓缩处理。另外，该载置面18上例如可以载置10个储存容器14。另外，虽然加热部10的加热能力没有特别限制，但是由于浓缩时将温度提高到沸点时在可燃性溶剂的情况下会带有危险，所以可以设定成:能够将储存容器14内的溶液2加热到在沸点以下且应该兼顾吹送条件地设定的温度。〈气流吹送部〉气流吹送部12如上述那样对储存容器14内溶液2的液面3吹送气流。通过这样，可以使通过所述加热部10加热的储存容器14内溶液2中所包含的有机溶剂等有效地蒸发。根据本实施方式的溶液浓缩装置1，由于除了加热部10之外还具有气流吹送部12，故相比以往可以促进储存容器14内的溶液2的浓缩速度。另外，根据本实施方式的溶液浓缩装置1，具有多个气流吹送部12。通过这样，同时采用多个储存容器14进行溶液2的浓缩处理时，可以从各气流吹送部12向各储存容器14内的溶液2吹送气流。通过这样，可以以较短的时间同时对更多的样本高效率地进行浓缩。另外，各气流吹送部12和各储存容器14也可以不必是I对I地对应配置。例如，可以是从2个气流吹送部向I个各储存容器14的溶液2吹送气流，也可以是从I个气流吹送部向2个各储存容器14的溶液2吹送气流。但是，储存容器14优选为和气流吹送部121对I地对应配置。由此，可以从气流吹送部12分别向每一个储存容器14吹送气流来浓缩各储存容器内的溶液2。从而，根据本实施方式的溶液浓缩装置1，例如可以同时进行多个种类的溶液2的浓缩。〈定位板〉根据本实施方式的溶液浓缩装置1，在和多个气流吹送部12分别对应的位置上具有使储存容器14定位的定位板20,在该定位板20上分别定位储存容器14的多个定位用开口部21形成在和各个气流吹送部12对应的位置上(图2)。通过这样，通过将储存容器14分别定位在定位用开口部21上地进行配置，由此，各储存容器14可以分别相对对应的气流吹送部12定位。从而，通过各储存容器的开口部22，可以将来自各气流吹送部12的气流吹送到储存容器14内的溶液2的液面3。另外，优选在气流吹送部12的下方位置上配置有定位用开口部21。由此，在定位用开口部21上载置有储存容器14时，储存容器14的开口部22位于气流吹送部12的下方。另外，还可以设置成:定位板20也固定在所述支撑部31，并且也可以根据储存容器14的种类适当地变动高度。实施例:<样本的制作>分别将10种半导体密封材料10g、IOg地溶解在200ml丙酮里，得到原子吸光用前处理液。该原子吸光用前处理液采用聚四氟乙烯膜滤过器(爱德克(日文:7 K > r 'y夕)株式会社制，孔径0.2 μ m)过滤而得到浓缩用样本。<溶液浓缩装置>[0051]使用图1所示装置。〈浓缩方法〉将装入有浓缩用样本50ml的储存容器载置在上述装置的载置面上。然后，通过加热部将浓缩样本加热到50°C，并且对于各储存容器每分钟I升地进行150分钟的干燥空气的导入。通过这样，得到成为原子吸光样品的浓缩液。< 结果 >根据实施例的溶液浓缩装置，按照10个检测体150分钟、即每I个检测体15分左右来调整AAS中使用的样品。
权利要求1.一种溶液浓缩装置，其特征在于， 具有: 分别对储存溶液的多个储存容器进行加热的加热部；以及 位于所述加热部的上方，对由所述加热部加热的所述多个储存容器内的所述溶液的液面分别吹送气流的多个气流吹送部， 所述多个气流吹送部分别设有流量调节阀。
2.根据权利要求1所述的溶液浓缩装置，其特征在于，所述加热部具有载置所述储存容器的载置面。
3.根据权利要求1或2所述的溶液浓缩装置，其特征在于， 在与所述多个气流吹送部分别对应的位置上具有使所述储存容器定位的定位板， 在所述定位板上，分别定位所述储存容器的多个定位用开口部形成在和所述气流吹送部分别对应的位置上。
4.根据权利要求1或2所述的溶液浓缩装置，其特征在于， 所述储存容器中形成有面对所述液面的开口部， 所述气流吹送部通过所述开口部向所述液面吹送气流。
5.根据权利要求4所述的溶液浓缩装置，其特征在于，所述开口部形成在所述储存容器的上端。
专利摘要一种溶液浓缩装置，具有分别对储存溶液(2)的多个储存容器(14)进行加热的加热部(10)；以及位于所述加热部的上方，对由所述加热部(10)加热的所述多个储存容器(14)内的所述溶液(2)的液面(3)分别吹送气流的多个气流吹送部(13)，所述多个气流吹送部(12)分别设有流量调节阀(19)。根据本实用新型的溶液浓缩装置，可以以较短的时间对大量样本高效率地进行浓缩。
文档编号B01D1/30GK203043573SQ20132002334
公开日2013年7月10日 申请日期2013年1月16日 优先权日2013年1月16日
发明者前田将克 申请人:苏州住友电木有限公司