高球形度籽晶和流化床颗粒硅的制备方法与流程

文档序号:11996410阅读:来源:国知局
高球形度籽晶和流化床颗粒硅的制备方法与流程

技术特征:
1.一种用于流化床生产多晶硅工艺中的高球形度籽晶的制备方法,包括将具有一定粒度分布范围的颗粒硅产品作为原料,通过辊式装置对其进行辊式破碎的步骤,其特征在于所述辊式装置包括至少一组对辊,通过调节所述对辊的辊轮之间的空隙,使得尺寸大于所述辊轮空隙的颗粒硅被破碎,尺寸小于所述辊轮空隙的颗粒硅直接通过空隙,从而制备出高球形度的籽晶;其中,所述辊轮空隙尺寸x与原料颗粒硅的中位粒径d50以及目标籽晶的中位粒径D50满足以下关系:100μm<D50<d50<x<2400μm,其中颗粒硅尺寸分布dp的范围为100μm~2400μm;所述的颗粒硅产品按照如下方法制备得到:含硅原料气体和流态化气体在加有籽晶的流化床反应器内,于500℃~1200℃的反应温度下进行连续的热分解反应,并在籽晶表面沉积硅制备颗粒硅产品。2.根据权利要求1所述的高球形度籽晶的制备方法,其特征在于所述辊式装置包括两组对辊,所述两组对辊上下放置,作为原料的颗粒硅产品依次通过上下两组对辊。3.根据权利要求2所述的高球形度籽晶的制备方法,其特征在于所述上下两组对辊辊轮的空隙尺寸x1、x2满足关系式x1≥x2,其中x1为位于上方对辊的两个辊轮间的空隙尺寸,x2为位于下方对辊的两个辊轮间的空隙尺寸。4.一种流化床颗粒硅的制备方法,包括以下步骤:1)含硅原料气体和流态化气体在加有籽晶的流化床反应器内,于500℃~1200℃的反应温度下进行连续的热分解反应,并在籽晶表面沉积硅制备颗粒硅产品;2)所述制备的颗粒硅产品采出后一部分包装作为最终产品;3)所述采出的颗粒硅产品采出后一部分经权利要求1-3任一项所述的高球形度籽晶的制备方法制备得到高球形度的颗粒硅籽晶,并循环进入流化床反应器内部,维持流化床床层籽晶数量稳定。5.根据权利要求4所述的流化床颗粒硅的制备方法,其特征在于所述含硅原料气体选自SiHaXb,其中,X=F、Cl、Br、I,a、b各自独立选自a=0~4、b=0~4,且a+b=4。6.根据权利要求5所述的流化床颗粒硅的制备方法,其特征在于所述含硅原料气体为硅烷。7.根据权利要求5所述的流化床颗粒硅的制备方法,其特征在于所述含硅原料气体为氯硅烷。8.根据权利要求7所述的流化床颗粒硅的制备方法,其特征在于所述含硅原料气体为三氯氢硅。
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