一种研磨机研磨液搅拌桶的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种研磨机研磨液搅拌桶，所述研磨液搅拌桶上固有搅拌桶盖，并在搅拌桶盖上安装有支撑杆、搅拌电机与泵浦安装板；此支撑杆顶部安装有气缸安装座并在气缸安装座上安装气缸，气缸下部的活塞杆与支撑杆中部安装的滑块座连接，滑块座上安装有相配合使用的滑块，滑块座与泵浦安装板通过连接杆连接，泵浦安装板上安装有泵浦；所述搅拌电机下部安装有搅拌杆。本实用新型的有益效果为：通过将泵浦做成上下可调式，当研磨机器开始工作时，泵浦插入研磨液搅拌桶进行工作，当研磨机器停止工作时泵浦通过气缸将其提出研磨液搅拌桶，不仅能延长泵浦的寿命，而且能够降低泵浦的腐蚀磨损给研磨液带来的二次污染。
【专利说明】一种研磨机研磨液搅拌桶
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种研磨机研磨液搅拌桶。
【背景技术】
[0002]蓝宝石(AL203)为六方对称结构，它作为最硬的氧化物晶体，具备优良的光化学和物理性能。机械强度高，耐化学腐蚀，有较好的导热性、热稳定性，透光波段宽，是理想的窗口衬底基本材料，另外，它具有电绝缘性，化学性能稳定，漏电容和寄生电容小，是极好的半导体、超导衬底材料。
[0003]作为衬底用的蓝宝石晶体基片一般为2英寸，4英寸等。用作半导体衬底的光学蓝宝石晶体基片对其表面有很高的要求，包括平面度，平行度达到0.005mm，光洁度达到
0.5nm。
[0004]现有的研磨机原理是将蓝宝石平面研磨利用自由散粒磨料碳化硼在工件被加工面及磨盘基面上相对运动，使工件表面获得非常高的平整度及光滑度的技术。在实际磨抛过程中，工件固定无需强夹、真空、磁铁，只是自然地放置在磨盘上，因此，减少的了冲击及发热产生的次生变形，更用利于高精度和高光洁度的加工。即使一个没有经验的操作员也可以轻易获得最佳0.2um的平面度及Ra0.02um粗糙度。磨削液是碳化硼水溶液，加上些许防锈液，碳化硼比较昂贵，研磨过程一直需要均匀的添加研磨液，因此需要研磨液捅回收研磨液，并利用泵浦对磨盘添加稳定流量的研磨液。
[0005]现存在的主要缺点是碳化硼比较容易沉淀，因此需要长时间搅拌，即使是机器不工作也要搅拌，在机器停止工作时，泵浦也停止工作了。这样泵浦长时间与流动的碳化硼会有磨损，降低泵浦的寿命。
实用新型内容
[0006]针对上述问题中存在的不足之处，本实用新型提供一种研磨机研磨液搅拌桶。
[0007]为实现上述目的，本实用新型提供一种研磨机研磨液搅拌桶，所述研磨液搅拌桶上固有搅拌桶盖，并在搅拌桶盖上安装有支撑杆、搅拌电机与泵浦安装板；此支撑杆顶部安装有气缸安装座并在气缸安装座上安装气缸，气缸下部的活塞杆与支撑杆中部安装的滑块座连接，滑块座上安装有相配合使用的滑块，滑块座与泵浦安装板通过连接杆连接，泵浦安装板上安装有泵浦；所述搅拌电机下部安装有搅拌杆。
[0008]进一步的，所述支撑杆与气缸安装座通过螺纹连接。
[0009]优选的，所述连接杆与泵浦安装板、滑块座为焊接或螺纹连接。
[0010]进一步的，所述搅拌桶盖上开有与泵浦、搅拌杆相配合的圆孔。
[0011]本实用新型的有益效果为:通过将泵浦做成上下可调式，当研磨机器开始工作时，泵浦插入研磨液搅拌桶进行工作，当研磨机器停止工作时泵浦通过气缸将其提出研磨液搅拌桶，不仅能延长泵浦的寿命，而且能够降低泵浦的腐蚀磨损给研磨液带来的二次污染。【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型一种研磨机研磨液搅拌桶的结构示意图。
[0013]图中:1、气缸安装座；2、支撑杆；3、滑块座；4、滑块；5、连接杆；6、泵浦；7、搅拌桶盖；8、泵浦安装板；9、气缸；10、搅拌电机；11、搅拌杆。
【具体实施方式】
[0014]如图1所示，本实用新型实施例所述的一种研磨机研磨液搅拌桶，所述研磨液搅拌桶12上固有搅拌桶盖7，并在搅拌桶盖7上安装有支撑杆2、搅拌电机10与泵浦安装板8 ;此支撑杆2顶部安装有气缸安装座I并在气缸安装座I上安装有气缸9，气缸9下部的活塞杆与支撑杆2中部安装的滑块座3连接，滑块座3上安装有相配合使用的滑块4，滑块座3与泵浦安装板8通过连接杆5连接，泵浦安装板8上安装有泵浦6 ;所述搅拌电机10下部安装有搅拌杆11。通过将泵浦做成上下可调式，当研磨机器开始工作时，泵浦插入研磨液搅拌桶进行工作，当研磨机器停止工作时泵浦通过气缸将其提出研磨液搅拌桶，不仅能延长泵浦的寿命，而且能够降低泵浦的腐蚀磨损给研磨液带来的二次污染。
[0015]所述支撑杆2与气缸安装座I通过螺纹连接。支撑杆与气缸安装座也可以通过铆钉、螺栓或焊接连接，优选螺纹连接其拆卸方便。
[0016]所述连接杆5与泵浦安装板8、滑块座3为焊接或螺纹连接。通过使用连接杆将泵浦安装板与滑块座连接可将停止工作时的泵浦通过气缸将其提出研磨液搅拌桶，不仅能延长泵浦的寿命，而且能够降低泵浦的腐蚀磨损给研磨液带来的二次污染。
[0017]所述搅拌桶盖7上开有与泵浦6、搅拌杆11相配合的圆孔。在搅拌桶盖上开有圆孔方便泵浦与搅拌杆提出。
[0018]具体使用时:气缸9固定在气缸安装座I上，气缸安装座I与支撑杆2螺纹连接，支撑杆2连接到搅拌桶盖7上，搅拌桶盖7固定在研磨液搅拌桶12上，支撑杆2装有滑块4，滑块4安装在滑块座3上，滑块座3与泵浦安装板8通过连接杆5连接在一起。泵浦6安装在泵浦安装板8上，搅拌电机10安装在搅拌桶盖7上，搅拌电机10与搅拌杆11固接，并带动其实行对磨削液的搅拌。
[0019]当机器暂停工作时，气缸I下部的活塞杆上升后，带动滑块座3向上运动，因滑块座3与泵浦安装板8通过连接杆5连接在一起的，因此泵浦安装板8 一起向上运动，这样泵浦6就可以上升至研磨液搅拌桶12以外。当机器工作时气缸活塞杆下降，同原理使得泵浦6插入研磨液搅拌桶12以内进行研磨液输送。
[0020]惟以上所述者，仅为本实用新型的较佳实施例而已，举凡熟悉此项技艺的专业人士。在了解本实用新型的技术手段之后，自然能依据实际的需要，在本实用新型的教导下加以变化。因此凡依本实用新型申请专利范围所作的同等变化与修饰，曾应仍属本实用新型专利涵盖的范围内。
【权利要求】
1.一种研磨机研磨液搅拌桶，其特征在于:所述研磨液搅拌桶(12)上固有搅拌桶盖(7),并在搅拌桶盖(7)上安装有支撑杆(2)、搅拌电机(10)与泵浦安装板(8);此支撑杆(2)顶部安装有气缸安装座(I)并在气缸安装座(I)上安装有气缸(9)，气缸(9)下部的活塞杆与支撑杆(2 )中部安装的滑块座(3 )连接，滑块座(3 )上安装有相配合使用的滑块(4 )，滑块座(3 )与泵浦安装板(8 )通过连接杆(5 )连接，泵浦安装板(8 )上安装有泵浦(6 );所述搅拌电机(10 )下部安装有搅拌杆(11)。
2.根据权利要求1所述的研磨机研磨液搅拌桶，其特征在于:所述支撑杆(2)与气缸安装座(I)通过螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的研磨机研磨液搅拌桶，其特征在于:所述连接杆(5)与泵浦安装板(8)、滑块座(3)为焊接或螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的研磨机研磨液搅拌桶，其特征在于:所述搅拌桶盖(7)上开有与泵浦(6)、搅拌杆(11)相配合的圆孔。
【文档编号】B01F7/18GK203663755SQ201420002567
【公开日】2014年6月25日 申请日期:2014年1月3日 优先权日:2014年1月3日
【发明者】岳伟, 陈志嵩, 殷华林, 戴安娜, 伊莲娟, 毛可勇, 李海宁 申请人:常州贝斯塔德机械科技有限公司