1.一种蓝宝石衬底片加工液的循环净化装置,其特征在于由加工液进料口接头、导流管(3)、横流池(4)、横流池隔离板(5)、沉淀池(6)、沉淀池隔离板(7)、纯液池(8)、漂浮物隔离罩(9)和加工液出口接头构成;进料口(1)位置距离净化装置顶部5cm,在导流管(3)的顶部安装一个直径为5mm的防回流孔(2);导流管(3)的出口距离净化装置底部10cm,横流池(4)的长度为40cm;沉淀池(6)的长度为100cm;横流池隔离板(5)固定于净化装置底部,其高度为30-40cm;沉淀池隔离板(7)固定于净化装置底部,其高度为50-80cm。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底片加工液的循环净化装置,其特征在于所述沉淀池隔离板(7)的高度比横流池隔离板(5)高20cm以上。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底片加工液的循环净化装置,其特征在于所述漂浮物隔离罩(9)安装在净化装置顶部,其底部距离净化装置底部5cm;加工液出口接头(10)距离净化装置底部15-25cm。